专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种DR空间分辨自动检测计算方法-CN202110726809.2在审
  • 刘景鑫 - 吉林大学
  • 2021-06-29 - 2021-09-17 - G01N23/04
  • 本发明属于设备检测技术领域,具体为一种DR空间分辨自动检测计算方法,包括步骤一:使用DR空间分辨测试卡;步骤二:使用图像处理软件对测试卡检测图像进行分析,以线对中心区域60%范围内的图像作为分析对象;步骤三:按公式1计算每组线对的调制度值;步骤四:通过曲线拟合获得调制度值与线径间的关系曲线,当调制度值为20%时所对应的线径值为空间分辨线径值;步骤五:按公式2计算空间分辨线对数,其设计合理,获得多项式回归方程,方便地自动计算不同识别率所对应的线径和系统率,可获得准确的DR空间分辨测量值,为DR检测提供了一个客观、便捷的分析计算工具,大大提高了DR空间分辨的计算精度和检测效率。
  • 一种dr空间分辨力自动检测计算方法
  • [发明专利]一种基于亚像素调制提高数字光刻分辨的方法-CN201510265423.0有效
  • 张志敏;罗宁宁;李淑静 - 南昌航空大学
  • 2015-05-23 - 2017-03-22 - G03F7/20
  • 一种基于亚像素调制提高数字光刻分辨的方法,其特征是在一个多SLM数字光刻系统中,通过五自由度精密调节系统来调整相应SLM投影的相对位置,控制其中任意两个SLM,使其投影到基底的两幅图形在平行于基底平面的两个方向上产生错位,并且错位距离不大于SLM一个像素对应的尺寸,使基于SLM的数字光刻系统制作出小于单像素尺寸的线条,从而基于亚像素调制实现提高SLM数字光刻横向制作分辨。本发明所述的方法采用多个SLM的投影同时错位叠加曝光的方式,突破由单个SLM像素尺寸限制的最小曝光分辨,可有效解决数字光刻系统低的问题,实现高精度数字化光刻制作,大大降低高精度光刻制作成本。
  • 一种基于像素调制提高数字光刻分辨力方法
  • [实用新型]光电测距仪的分辨校准装置-CN201720576026.X有效
  • 王章朋;童富康 - 上海宝冶集团有限公司
  • 2017-05-23 - 2017-12-26 - G01C25/00
  • 本实用新型公开了一种光电测距仪的分辨校准装置,本装置包括棱镜连接器、基座、精密移动滑台和测微器,所述精密移动滑台设于所述基座顶面并且沿基座顶面滑移,所述棱镜连接器设于所述精密移动滑台顶面,所述测微器连接所述精密移动滑台并且驱动精密移动滑台滑动本装置克服传统分检验台的缺陷,具有体积小、安装简单、操作使用方便、后期保养简单等优点,解决了光电测距仪分辨校准问题,完全满足检定规程的技术要求。
  • 光电测距仪分辨力校准装置
  • [发明专利]一种微光夜视仪测量系统-CN202310747995.7在审
  • 李明超;魏青芳;张艳丽;何波;高向民;张存武;李金映;王小波;李亮;李存建;郑坤;段成成;田继伟 - 河南平原光电有限公司
  • 2023-06-25 - 2023-09-19 - G01M11/02
  • 本发明涉及一种微光夜视仪测量系统,属于微光测量领域,解决了现有技术中微光光源的稳定性、均匀性直接影响微光夜视仪分辨测量准确率的问题。包括电源滤波腔、分辨测量腔、视场角测量腔、控制显示腔;电源滤波腔安装有电源模块,电源模块用于为主控板提供所需供电电压;分辨测量腔和视场角测量腔平行设置,内部隔断,相互独立;分辨测量腔和视场角测量腔分别设置有分辨测量模块和视场角测量模块;控制显示腔设置有主控板和触摸显示屏;主控板用于控制分辨测量模块和视场角测量模块实现对微光夜视仪分辨和视场角的测量;触摸显示屏用于接收测量参数并显示测量结果。用于微光夜视仪分辨测量的微光光源达到3%精度照度。
  • 一种微光夜视仪测量系统
  • [发明专利]紫外像增强器分辨测试装置-CN201010606529.X有效
  • 富容国;常本康;钱芸生;邱亚峰;魏殿修;徐登高;詹启海 - 南京理工大学
  • 2010-12-27 - 2012-07-11 - G01M11/02
  • 本发明公开了一种紫外像增强器分辨测试装置,两个球面反射镜和两个平面反射镜成一条直线放置在底座上,两个平面反射镜分别放置在两个球面反射镜的焦点处,构成同轴反射式光学系统分辨靶标放置在该同轴反射式光学系统的焦点处,光源放置在分辨靶标的后方,毛玻璃位于分辨靶标和紫外光源之间,像增强器放置在多维调节台上,多维调节台上装有显微镜,可以观察分辨靶标的荧光屏像;根据测试需要,选择好分辨靶标,将像增强器移至光学系统的焦面处,即可得到紫外像增强器的分辨
  • 紫外增强分辨力测试装置
  • [发明专利]一种超分辨i线光刻装置-CN200810246604.9有效
  • 罗先刚;王长涛;陈旭南;甘大春;刘尧;赵泽宇;方亮;邢卉;崔建华 - 中国科学院光电技术研究所
  • 2008-12-30 - 2009-06-03 - G03F7/20
  • 一种超分辨i线光刻装置,包含分离式曝光系统、自净化空气过滤系统以及气控弹性掩膜变形系统;曝光系统采用i线汞灯光源,且光源与匀光照明系统离,两部分间光能传输通过光纤实现;气控弹性掩膜变形系统中,通过微气泵来改变气压大小使弹性掩膜发生变形,掩膜与芯片的紧密贴合通过控制弹性掩膜变形量的大小得以实现,从而可以得到超分辨光刻分辨;自净化空气过滤系统,通过装置壳体顶部的空气过滤器循环过滤实现装置内部工作环境达到超净要求;通过包含上述系统的装置,实现在汞灯光源i线紫外光波长下突破一百纳米的超分辨近场光刻功能;该装置光刻分辨高,结构简单,成本低,操作方便,对环境要求较低,适用于多种纳米结构加工领域。
  • 一种分辨光刻装置

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