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[实用新型]一种带激光对焦测距且可精调的镜头组件-CN201920218521.2有效
发明人：王景龙 -专利权人：宁波怡信光电科技有限公司
申请日： 2019-02-21 - 公布日： 2019-10-01 - 主分类号： G02B7/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种带激光对焦测距且可精调的镜头组件，包括底座，安装在底座上的套筒，套筒配套有镜筒，所述镜筒包括镜筒本体，镜筒本体的一端开口，另一端设有镜片，镜筒本体的周面上设有精调外螺纹，套筒的内壁上设有内螺纹，套筒和镜筒本体之间设有精调套筒，精调套筒的外壁上设有外螺纹，精调套筒的内壁上设有精调内螺纹；精调套筒伸入到套筒内，镜筒本体的开口端伸入到精调套筒内，精调套筒外壁上的外螺纹与套筒的内螺纹啮合，镜筒本体上的精调外螺纹与精调套筒内壁上的精调内螺纹啮合；精调套筒配合镜筒本体可以调节镜片与影像感测组件之间的距离，从而达到对焦的目的。
精调套筒镜筒本体内螺纹外螺纹激光对焦测距啮合镜头组件镜片底座镜筒内壁伸入影像感测组件本实用新型套筒内壁套筒配合套筒外壁一端开口开口端对焦外壁配套

[发明专利]用于光刻机的调焦调平装置及测量方法-CN200810037245.6有效
发明人：廖飞红;陈飞彪;李小平;程吉水;李志科 -专利权人：上海微电子装备有限公司;华中科技大学
申请日： 2008-05-09 - 公布日： 2008-10-01 - 主分类号： G03F9/00 文献下载
摘要：一种用于光刻机的调焦调平装置及方法，所述装置的测量光路分布于投影物镜光轴两侧，由照明单元、投影单元、成像单元及探测单元构成，照明单元由光源、透镜组及光纤组成；投影单元由反射镜组、狭缝阵列及透镜组组成；成像单元由反射镜组、透镜组及平行偏转补偿板组成，特点是：探测单元包括分光器、精测光路和粗测光路，分光器将成像单元发射出的光束按光强分束，光束分别进入精测单元和粗测单元。所述方法，根据粗测结果和精测结果来判定调焦调平装置所测得的结果是否在精测范围内，若是，则精测结果有效；反之，则粗测结果有效。本发明由于采用多点检测硅片表面高度，探测单元采用分光器将光斑分成两路，实现了大范围高精度的调焦调平测量。
用于光刻调焦平装测量方法

[实用新型]一种测微量角器-CN201520564651.3有效
发明人：王欢;李宁;马宏扬;牛猛 -专利权人：王欢
申请日： 2015-07-28 - 公布日： 2015-11-18 - 主分类号： G01B3/56 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种测微量角器，属于测量工具技术领域。本实用新型的一种测微量角器，其透明塑料外壳外表面一端设置有0到180°刻度盘，在该透明塑料外壳内部，从设置刻度盘的一端起依次设置有指针齿轮、第一中间齿轮、精调齿轮、第二中间齿轮和粗调齿轮，相邻两齿轮啮合传动，指针齿轮与刻度盘同心；在透明塑料外壳外部，精调旋钮与精调齿轮的转轴固定连接，所述的透明塑料外壳外表面上，沿精调旋钮外沿刻有圆周等分线，粗调旋钮与粗调齿轮的转轴固定连接。本实用新型通过精调齿轮和指针齿轮的配合调节和精调旋钮旁刻度密度的改变，解决了普通量角器测量精度不高的弊病，另外，该量角器具有成本低，方便实用的特点。
一种微量

[发明专利]一种零位自动可调的调焦调平测量装置及其使用方法-CN200810035900.4有效
发明人：陈飞彪;李志丹;徐兵;田湍;肖可云;潘炼东 -专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日： 2008-04-10 - 公布日： 2008-09-10 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供了一种零位自动可调的调焦调平测量装置及其使用方法，在调焦调平精测测量装置中增加一组自动可调机构，该可调机构用于对调焦调平测量装置进行零位调整。当该可调机构位于其初始位置时，调焦调平测量处于精测模式，而当该可调机构不位于其初始位置时，调焦调平测量处于粗测模式。
一种零位自动可调调焦测量装置及其使用方法

[发明专利]一种压力控制器及其控制方法-CN202210434381.9在审
发明人：王华春;毛旭 -专利权人：西安启华自动控制系统有限公司
申请日： 2022-04-24 - 公布日： 2022-07-08 - 主分类号： G05D16/20 文献下载
摘要：所述压力控制器包括控制单元以及与所述控制单元均连接的压力粗调单元、压力精调单元和测压单元；所述压力粗调单元和所述压力精调单元并联设置，且连接在输气管道中；所述测压单元设置在所述输气管道的出口端，用于实时测量所述输气管道的出口端压力；所述控制单元用于根据所述出口端压力与目标压力的差异程度，控制所述压力粗调单元和所述压力精调单元同时工作或控制所述压力精调单元单独工作。
一种压力控制器及其控制方法

[发明专利]角位移电位器转轴径向间隙测量用高精度测量设备-CN202211707093.2在审
发明人：吴永胜;胡佑朴;鲍红军;唐飞;杜长春;于四辉;刘靖宇 -专利权人：成都宏明电子股份有限公司
申请日： 2022-12-29 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： G01B5/14 文献下载
摘要：本发明公开了一种角位移电位器转轴径向间隙测量用高精度测量设备，属于角位移电位器的生产技术领域，包括底座、千分表、电位器定位机构、加压砝码、千分表粗定位机构、千分表精定位机构，千分表粗定位机构包括横向移动杆，千分表精定位机构包括第一“Z”形板、第二“Z”形板、精调手柄和精调螺杆，精调螺杆上端的定位凸柱穿过第一“Z”形板的定位通孔，精调螺杆下端的定位凸柱置于横向移动杆的定位盲孔内，精调手柄的一端与精调螺杆上端的定位凸柱连接本发明能够实现角位移电位器转轴在自然状态和受压状态时与千分表测头的相对位置精细调节功能，最终实现角位移电位器转轴径向间隙的高精度测量功能，且操作简单可靠，利于推广普及。
位移电位器转轴径向间隙测量高精度设备

[发明专利]可适应超高地段的高程精调机构、轨排精调车和精调方法-CN202211339818.7在审
发明人：李秋义;朱彬;黄伟利;张超永;张政;叶松;张世杰;李路遥;韦合导;刘慧芳;林超;张泽 -专利权人：中铁第四勘察设计院集团有限公司;中国铁建股份有限公司
申请日： 2022-10-28 - 公布日： 2023-01-13 - 主分类号： E01B29/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种可适应超高地段的高程精调机构，高程精调机构包括高程精调臂、适于与轨排上的高程调节螺杆螺接的高程精调螺套、用于驱动高程精调臂绕一竖直转轴旋转的第一高程驱动单元以及用于驱动高程精调螺套转动的第二高程驱动单元，第二高程驱动单元安设于高程精调臂上；高程精调螺套的竖向位置可调。另外还涉及采用该高程精调机构的轨排精调车以及基于该轨排精调车实施的轨排精调方法。设计高程精调螺套的竖向位置可调，通过使高程精调螺套的竖向位置动态适应轨排的位置，可以使高程精调机构适应不同高度位置的轨排精调操作、还能适应曲线地段的轨排精调操作，可以提高轨排精调效率和调节精度。
适应超高地段高程机构轨排精调车方法

[发明专利]预制道床板多维度精调机构-CN201711446948.X在审
发明人：王汉军;成砚;张辉;富坚;张燕;孙巍;吴正中;胡超凡 -专利权人：北京城建设计发展集团股份有限公司
申请日： 2017-12-27 - 公布日： 2019-07-05 - 主分类号： E01B29/00 文献下载
摘要：本公开涉及一种预制道床板多维度精调机构，该预制道床板多维度精调机构包括车架(1)、平行设置的两条横向精调轨道梁(2)、横向精调机构(3)、纵向精调机构(4)、垂向精调机构(5)、水平摆动精调机构(6)以及自动抓取吊具(7)；所述横向精调轨道梁安装于所述车架上，所述横向精调机构能够沿所述横向精调轨道梁移动，所述纵向精调机构设置于所述横向精调机构上，所述垂向精调机构沿垂向设置在所述纵向精调机构和所述自动抓取吊具之间，所述水平摆动精调机构设置于所述自动抓取吊具上本公开提供的精调机构可精确实现道床板多维度的精确调整，大大提高了调整效率，降低了施工成本。
精调机构道床板多维度自动抓取轨道梁吊具精调预制水平摆动车架垂向垂向设置平行设置施工成本移动

[实用新型]预制道床板多维度精调机构-CN201721874346.X有效
发明人：王汉军;成砚;张辉;富坚;张燕;孙巍;吴正中;胡超凡 -专利权人：北京城建设计发展集团股份有限公司
申请日： 2017-12-27 - 公布日： 2018-09-28 - 主分类号： E01B29/00 文献下载
摘要：本公开涉及一种预制道床板多维度精调机构，该预制道床板多维度精调机构包括车架(1)、平行设置的两条横向精调轨道梁(2)、横向精调机构(3)、纵向精调机构(4)、垂向精调机构(5)、水平摆动精调机构(6)以及自动抓取吊具(7)；所述横向精调轨道梁安装于所述车架上，所述横向精调机构能够沿所述横向精调轨道梁移动，所述纵向精调机构设置于所述横向精调机构上，所述垂向精调机构沿垂向设置在所述纵向精调机构和所述自动抓取吊具之间，所述水平摆动精调机构设置于所述自动抓取吊具上本公开提供的精调机构可精确实现道床板多维度的精确调整，大大提高了调整效率，降低了施工成本。
精调机构道床板多维度自动抓取轨道梁吊具精调预制水平摆动车架垂向垂向设置平行设置施工成本移动

[实用新型]一种平行度检测装置-CN202221437075.2有效
发明人：叶华涛;周瑞平;林伟强 -专利权人：东莞市宇瞳光学科技股份有限公司
申请日： 2022-06-09 - 公布日： 2022-10-14 - 主分类号： G01B11/26 文献下载
摘要：本实用新型属于准直设备技术领域，公开了一种平行度检测装置，平行度检测装置包括底座调节组件、棱镜和反光镜，调节组件包括设置于底座上的粗调机构以及设置于粗调机构上的精调机构，精调机构上设置有自准直仪，棱镜设置于自准直仪的光束投射部处，反光镜能放置于待测物上。本实用新型提供的平行度检测装置，通过粗调机构粗调自准直仪的位姿以及精调机构精调自准直仪的位姿，使自准直仪投射的光束能精确的投射到放置于待测物上的反光镜上，反光镜反射的光束能经光束投射部返回自准直仪，以得到待测物的平行度倾斜值
一种平行检测装置

[发明专利]轨排调节结构、轨排精调装置、轨排精调车及轨排精调方法-CN202211337609.9在审
发明人：李秋义;黄伟利;李路遥;朱彬;张超永;孙立;张政;叶松;张世杰;韦合导;刘慧芳 -专利权人：中铁第四勘察设计院集团有限公司;中国铁建股份有限公司
申请日： 2022-10-28 - 公布日： 2022-12-27 - 主分类号： E01B35/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种轨排调节结构、包括该轨排调节结构的轨排精调装置、包括该轨排精调装置的轨排精调车以及基于该轨排精调车的轨排精调方法，该轨排调节结构包括精调螺套以及用于驱动精调螺套旋转的精调驱动电机，精调驱动电机采用伺服电机并且配置有电流检测模块，电流检测模块用于监测精调驱动电机的电流模拟量并反馈给控制器，控制器用于根据获得的电流模拟量数据判断精调螺套与轨排精调螺杆之间的配合间隙是否在允许范围内、并指导精调驱动电机进行相应的操作。通过监测伺服电机的电流模拟量的变化，可以自动检测精调螺套与轨排精调螺杆的密接程度，能够自动消除高程精调螺套与高程调节螺杆之间的连接间隙，相应地提高轨排高程调节精度。
调节结构轨排精调装置轨排精调车方法

[实用新型]轨排精调车及轨排精调设备-CN202222861603.3有效
发明人：李秋义;朱彬;张鹏;张超永;孙立;张政;李路遥;叶松;张世杰;韦合导;刘慧芳;张泽 -专利权人：中铁第四勘察设计院集团有限公司;中国铁建股份有限公司
申请日： 2022-10-28 - 公布日： 2023-03-21 - 主分类号： E01B35/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种轨排精调车及轨排精调设备，包括车体，在车体底部设有行走机构，车体上设有高程精调模块，高程精调模块包括分设于车体的左右两侧的两组高程精调机构，高程精调机构包括高程精调臂、适于与轨排上的高程调节螺杆螺接的高程精调螺套、用于驱动高程精调臂绕一竖直转轴旋转的第一高程驱动单元以及用于驱动高程精调螺套转动的第二高程驱动单元，第一高程驱动单元安装于车体上，第二高程驱动单元安设于高程精调臂上；高程精调螺套相对于竖直转轴的旋转半径可调本实用新型中，设置高程精调螺套相对于竖直转轴的旋转半径可调，可以使高程精调机构适应不同结构/不同轨距的轨排的高程调节，扩展轨排精调车的适用范围。
轨排精调车轨排精调设备

[发明专利]轨向精调装置、工作可靠的轨排精调车以及轨排精调方法-CN202211338883.8在审
发明人：李秋义;李路遥;黄伟利;张超永;朱彬;张政;叶松;张世杰;韦合导;刘慧芳;刘杰 -专利权人：中铁第四勘察设计院集团有限公司;中国铁建股份有限公司
申请日： 2022-10-28 - 公布日： 2023-01-13 - 主分类号： E01B35/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种轨向精调装置，包括轨向精调臂、轨向精调螺套以及用于驱动轨向精调螺套转动的轨向精调螺套驱动单元，轨向精调臂的底端设有轨向精调座，轨向精调座上设有螺套自适应机构，螺套自适应机构包括基板，轨向精调螺套驱动单元安装在基板上；螺套自适应机构还包括用于使基板在轨排轨向精调过程中自适应活动的轨向自适应结构，和/或还包括用于使基板在轨排高程精调过程中自适应随动的竖向自适应结构。另外还涉及配置有该轨向精调装置的工作可靠的轨排精调车以及轨排精调方法。通过设置螺套自适应机构，能够使轨向精调螺套自适应轨排轨向精调进程和/或轨排高程精调进程，保证轨排精调的操作顺畅性和可靠性，避免设备之间发生不必要干涉。
装置工作可靠轨排精调车以及轨排精调方法

[发明专利]优化硅片面型垂向控制的测量系统、方法和光刻设备-CN202110744357.0在审
发明人：赵宇安;张建新;杨志勇 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2021-07-01 - 公布日： 2023-01-03 - 主分类号： G03F9/00 文献下载
摘要：在本发明实施例中，调焦调平传感器提供精测光斑和至少一组外延光斑，以通过增加的外延光斑对工件台上的硅片面型进行测量，以使工件台根据外延光斑的测量结果进行垂向控制，保证精测光斑在测量时，所述硅片的上表面处于调焦调平传感器的精测范围之内本发明的方案可适用于所有的调焦调平传感器的测量方案，提高了调焦调平传感器测量的鲁棒性，以及本发明中的外延光斑可以对当前的粗测光斑技术进行有效的复用和替代，提高了现有技术的复用率，并且去除了量产流程中的全局调平方式
优化硅片面型垂控制测量系统方法光刻设备

[实用新型]一种可循环使用的隧道锚索股预埋管精调装置-CN201922248348.3有效
发明人：赵伟;肖根旺;王佳;张露;兰其平;赵家仁;曾斓;陈健;李华;陈杰然;石沈阳;岳如意;沈查;张燕昆;叶绍其 -专利权人：中铁大桥局集团第五工程有限公司
申请日： 2019-12-16 - 公布日： 2020-11-13 - 主分类号： E01D21/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种可循环使用的隧道锚索股预埋管精调装置，包括整体框架、精调结构和固定结构，其中：整体框架由左竖框架、右竖框架和横框架构成，精调结构由螺杆和螺帽构成，固定结构由月牙板和定位分配梁构成。本实用新型具有如下优点：（1）、可以对所有待测的索股预埋管循环使用，这样大大节省了索股预埋管精调的时间，有效地提高了索股预埋管轴心定位效率和测量效率，还节省了材料成本以及人工成本；（2）、结构简单，制作方便，整体稳定性好，通过精调结构和固定结构能精确调整索股预埋管的轴心，在悬索桥锚固系统施工中能够确保轴心定位的精度和准确性。
一种循环使用隧道锚索股预埋管精调装置

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