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[实用新型]一种新型籽晶旋转装置-CN202122066907.6有效
发明人：杨雷 -专利权人：浙江晶阳机电股份有限公司
申请日： 2021-08-30 - 公布日： 2022-04-12 - 主分类号： C30B29/06 文献下载
摘要：本实用新型涉及硅晶生产设备领域，涉及一种新型籽晶旋转装置，本实用新型包括籽晶腔体、滑线环固定块、滑线环、滑线环支架和籽晶腔体固定板，籽晶腔体设于籽晶腔体固定板，滑线环固定块设于籽晶腔体上端，滑线环设于滑线环固定块上，滑线环支架连接滑线环；旋转机构，设置于籽晶腔体固定板下端；升降机构，设置于籽晶腔体固定板右端；绳轮组件，设置于籽晶腔体内部，包括花键轴、花键轴螺母、绳轮、特氟龙螺母、不锈钢螺母和固定板，花键轴螺母连接花键轴，绳轮固设于绳轮花键轴螺母，不锈钢螺母通过轴承固定于固定板上，带动绳轮运动的螺牙采用内嵌式，使整个绳轮结构尺寸更小，同时减小了腔体尺寸，降低了整个结构的成本。
一种新型籽晶旋转装置

[实用新型]等离子体籽晶清洗设备-CN202223507220.2有效
发明人：袁刚俊;苏兆鸣 -专利权人：通威微电子有限公司
申请日： 2022-12-27 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： B08B7/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种等离子体籽晶清洗设备，涉及籽晶清洗设备技术领域。等离子体籽晶清洗设备包括真空腔体、进气管、筒形电极、石英舟和等离子体发生器，进气管从真空腔体的外部插入真空腔体内部，进气管用于向真空腔体内输入气体；筒形电极安装在真空腔体内，筒形电极的内部形成电离清洗区；石英舟安装在筒形电极内，石英舟用于承载籽晶，使籽晶处于电离清洗区内；等离子体发生器位于真空腔体外部、且连接到筒形电极，使筒形电极将电离清洗区内的气体电离成等离子体，以清洗籽晶。等离子体籽晶清洗设备不仅结构简单，而且清洗效率高。
等离子体籽晶清洗设备

[实用新型]拉晶籽晶绳防脱槽装置-CN202023068500.9有效
发明人：丁亚国;顾燕滨;梁万亮;马国忠 -专利权人：宁夏银和新能源科技有限公司
申请日： 2020-12-18 - 公布日： 2021-08-31 - 主分类号： C30B15/30 文献下载
摘要：本实用新型的拉晶籽晶绳防脱槽装置包括籽晶绳牵引机构、防脱护套，所述籽晶绳牵引机构与防脱护套卡合连接，所述籽晶绳牵引机构为柱状，籽晶绳牵引机构的轴心处为中空腔体，籽晶绳位于中空腔体中，籽晶绳牵引机构的上端的侧壁上设有连接籽晶绳的连接孔，连接孔的上端设有卡槽，卡槽的宽度与籽晶绳的直径相同，相应的防脱护套的内壁上设有塞板，卡槽与塞板卡合连接。使用时，籽晶绳的一端从连接孔的侧边进入到中空腔体中，然后籽晶绳向下延伸而出。然后将防脱护套卡在籽晶绳牵引机构上，在防脱护套的作用下，籽晶绳的一端被卡在连接孔与防脱护套之间，从而防止籽晶绳脱槽。
籽晶绳防脱槽装置

[实用新型]单晶炉绳轮同步装置-CN201120121261.0有效
发明人：吴学军 -专利权人：宁夏日晶新能源装备股份有限公司
申请日： 2011-04-22 - 公布日： 2011-11-16 - 主分类号： C30B15/30 文献下载
摘要：一种单晶炉绳轮同步装置，包括输入动力、滚动花键轴、螺母、籽晶腔体、绳轮和磁流体，所述的螺母固定安装在籽晶腔体内，所述滚动花键轴一端安装在籽晶腔体内，滚动花键轴另一端伸出籽晶腔体与输入动力相连，所述磁流体密封连接滚动花键轴和籽晶腔体，所述绳轮设置在籽晶腔体内固定套装在滚动花键轴上，绳轮上设有与螺母的螺纹相配合的绳槽，绳轮与螺母构成移动副，螺纹的螺距和绳槽的间距相同。本实用新型确保了传动精度，保证了在籽晶绳升降过程中，籽晶绳的中心保持不动，有效的提高了作业的简单化，减少维修的复杂程度，提高了单晶硅晶棒的精度和成棒效率。
单晶炉绳轮同步装置

[实用新型]一种拉晶炉用籽晶绳调整装置-CN201821722821.6有效
发明人：张建新 -专利权人：宁夏旭樱新能源科技有限公司
申请日： 2018-10-23 - 公布日： 2019-05-31 - 主分类号： C30B15/32 文献下载
摘要：一种拉晶炉用籽晶绳调整装置，包括籽晶绳提拉装置、固定密封装置、籽晶绳调整装置，所述籽晶绳提拉装置包括籽晶腔体、安装平台、晶转大转轮、绳轮、籽晶绳、压轮，所述固定密封装置包括晶转磁流体、静止安装底座，所述籽晶绳调整装置包括阻尼套、固定套、调整套，本实用新型在籽晶绳提拉腔体顶端设置有籽晶绳入口，用于对拉晶过程中的籽晶绳进行第一次限位，籽晶绳提拉腔体底端设置有调整套的绳孔，用于对拉晶过程中的籽晶绳进行第二次限位，籽晶绳受到籽晶绳入口和调整套的绳孔的双重限位作用，实现了将籽晶绳晃动程度降低到最低的水平，有效提高了拉晶作业的效率，降低了劳动强度和成本，彻底解决了现有技术作业籽晶绳容易晃动的难题。
籽晶绳调整装置调整套固定密封装置提拉装置拉晶炉对拉绳孔提拉限位晃动本实用新型安装底座安装平台技术作业腔体底端腔体顶端限位作用籽晶腔体大转轮固定套阻尼套拉晶流体绳轮压轮转磁静止

[发明专利]一种碳化硅炉腔内用导电结构-CN202210978100.6在审
发明人：徐淑文;贺贤汉;夏孝平 -专利权人：上海汉虹精密机械有限公司
申请日： 2022-08-15 - 公布日： 2022-12-13 - 主分类号： C30B29/36 文献下载
摘要：本发明提供一种碳化硅炉腔内用导电结构，包括结构主体，结构主体用于向密封腔体内接出一电路回路，结构主体包括籽晶杆组件、坩埚轴组件、密封腔体、石墨坩埚组件、籽晶和溶液，籽晶杆组件的上部位于密封腔体的上侧，籽晶杆组件的下部位于密封腔体内部，坩埚轴组件的下部分位于密封腔体的下侧，坩埚轴组件的上部分位于密封腔体的内部，坩埚轴组件在密封腔体内沿轴心方向升降及绕轴心方向旋转；密封腔体上开通用于电流进出的接口，进出接口形式相同。在不影响籽晶和坩埚升降及旋转运动的前提下，对黑盒内的长晶情况进行监测或控制，以配合长晶工艺所需，更好实现碳化硅晶体生长。
一种碳化硅炉腔内用导电结构

[实用新型]坩埚结构和晶体生长设备-CN202223163944.X有效
发明人：杜致远;张洁 -专利权人：湖南三安半导体有限责任公司
申请日： 2022-11-28 - 公布日： 2023-03-14 - 主分类号： C30B23/00 文献下载
摘要：坩埚结构包括坩埚体；坩埚盖，坩埚盖的中央具有用于布置籽晶的籽晶台，坩埚盖盖设于坩埚体；以及环状装置，环状装置包括沿轴线方向连接的筒状腔体和延伸腔体；筒状腔体贴合在坩埚体的内壁上，筒状腔体从坩埚体底壁延伸至靠近籽晶台的位置；延伸腔体设置在筒状腔体的顶部，且径向延伸至籽晶台。其至少能够改善晶体生产初期因为坩埚体受到侵蚀而使得坩埚体上的碳脱落，在温度梯度和气氛对流作用下，碳颗粒会传输到籽晶表面而造成晶体初期缺陷的技术问题。
坩埚结构晶体生长设备

[实用新型]一种碳化硅晶体生长装置-CN201420832198.5有效
发明人：朱灿;宗艳民;王希杰;张志海 -专利权人：山东天岳晶体材料有限公司
申请日： 2014-12-24 - 公布日： 2015-05-13 - 主分类号： C30B29/36 文献下载
摘要：本实用新型属于新材料技术领域，具体涉及一种新型碳化硅晶体生长装置可适用于溶液法生长SiC晶体，该装置包括生长腔体，腔体内设置有保温桶，保温桶外侧设置有感应线圈，保温桶内设置有坩埚，生长腔体上侧设置有籽晶轴升降旋转装置，该装置下端设置有伸入坩埚内的籽晶轴，籽晶轴下端连接有籽晶托架；采用这种结构的生长装置在整个生长过程中不使用任何的粘合剂固定籽晶，只通过籽晶托架来承载籽晶，籽晶在晶体生长过程中，在溶液流动的作用下，籽晶不受籽晶托架的束缚通过使用籽晶托架，可以生长出高质量的SiC晶体。
一种碳化硅晶体生长装置

[发明专利]一种多次籽晶可替换的导膜法蓝宝石晶体生长炉-CN201911066888.8有效
发明人：徐军;赵衡煜;王东海;李东振;王庆国 -专利权人：南京同溧晶体材料研究院有限公司
申请日： 2019-11-04 - 公布日： 2021-09-28 - 主分类号： C30B15/34 文献下载
摘要：本发明提供了一种多次籽晶可替换的导膜法蓝宝石晶体生长炉，从下到上依次设置有基座、晶体生长炉腔体、坩埚、籽晶杆、密封阀、籽晶备用舱腔体、籽晶替换盘、升降机，通过改进坩埚供料系统、籽晶替换盘、籽晶杆及备用籽晶仓的一系列结构，能够进行一锅晶体生长完成后设备不降温，采用机械传动方式取出晶体并更换籽晶，再次下种，重复晶体生长过程，与早前的籽晶替换方案相比，本发明不受籽晶备用舱中籽晶数量的限制，可多次开启籽晶备用舱取出晶体并替换备用籽晶
一种多次籽晶替换导膜法蓝宝石晶体生长

[实用新型]高低速电机二合一籽晶头-CN201020238653.0有效
发明人：赖章田;胜又大祐;中村胜;吴志豪;贺贤汉 -专利权人：上海汉虹精密机械有限公司;上海申和热磁电子有限公司
申请日： 2010-06-25 - 公布日： 2011-01-19 - 主分类号： C30B15/32 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种高低速二合一籽晶头，包括底板、基座，设置在底板上的圆柱形滑线环，位于所述基座上的籽晶腔体，连接在基座底部的旋转电机，其特点是，还包括均位于所述基座上的高低速电机、双联蜗轮蜗杆减速器和内置离合器的一体化行星齿轮变速器，所述高低速电机通过联轴器连接所述变速器，所述双联蜗轮蜗杆减速器通过滚珠花键轴连接主VF磁流体，主VF磁流体安装在所述籽晶腔体上，所述籽晶腔体内设有卷线轮机构，使籽晶绳能收放以便实现籽晶升降，其内部还设有籽晶称重机构本实用新型操作简单，提高了籽晶转速，通过一个电机可实现高低速籽晶升降两个功能，相比以前减少一组直流电机和控制模块，有效降低了成本。
低速电机二合一籽晶

[实用新型]一种碳化硅晶体生长装置-CN201520047326.X有效
发明人：朱灿;王希杰;宗艳民;刘莹;张志海 -专利权人：山东天岳晶体材料有限公司
申请日： 2015-01-23 - 公布日： 2015-06-24 - 主分类号： C30B27/00 文献下载
摘要：本实用新型属于新材料技术领域，具体涉及一种新型碳化硅晶体生长装置，该装置包括生长腔体，腔体内设置有保温桶，保温桶外侧设置有感应线圈，保温桶内设置有坩埚，生长腔体上侧设置有籽晶轴升降旋转装置，该装置下端设置有伸入坩埚内的籽晶轴，所述籽晶轴侧面设置有惰性气体管道；采用这种结构的生长装置，在整个生长过程中，惰性气体通过惰性气体管道通入腔体内，且直接对籽晶轴进行冷却，促使籽晶轴周围产生更大的温度梯度，提高晶体生长速度同时实现了惰性气体作为保护气体起到保护晶体的目的
一种碳化硅晶体生长装置

[发明专利]一种提拉法生长氧化镓晶体的双腔结构与方法-CN202111306205.9有效
发明人：张辉;王嘉斌;夏宁;马可可;刘莹莹;杨德仁 -专利权人：杭州镓仁半导体有限公司
申请日： 2021-11-05 - 公布日： 2023-05-12 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种提拉法生长氧化镓晶体的双腔结构与方法，包括主腔体、第二腔体、加热线圈、保温材料组件以及提拉旋转装置，所述第二腔体设置于主腔体的顶端并与主腔体相通，所述主腔体中心处设有坩埚托与加热坩埚，所述坩埚托下方设有坩埚升降装置；其中，所述第二腔体与主腔体之间设有推拉式挡块装置，用于将第二腔体与主腔体隔绝；所述提拉旋转装置上设有籽晶更换装置；在晶体原料熔融引晶生长前，将籽晶下降至主腔体接触熔体，通过快速放肩，包覆漂浮物生长，然后控制籽晶杆提升至本发明设计中提及的第二腔体内，通过设计的中间隔板装置密封主腔体，更换新的籽晶后重新引晶生长，从而避免熔体表面漂浮物对后续晶体生长产生影响。
一种提拉法生长氧化晶体结构方法

[发明专利]一种晶体制备装置-CN202010626511.X有效
发明人：王宇;杨田;梁振兴;李敏 -专利权人：眉山博雅新材料有限公司
申请日： 2020-07-02 - 公布日： 2020-11-10 - 主分类号： C30B23/00 文献下载
摘要：所述晶体制备装置包括：生长腔体，用于放置籽晶和源材料，其中，所述籽晶置于所述生长腔体的顶部，所述源材料置于所述生长腔体的底部；加热组件，用于加热所述生长腔体，所述加热组件位于所述生长腔体的外部，所述加热组件包括电阻式发热体
一种晶体制备装置

[发明专利]一种用于碳化硅籽晶粘接的涂胶装置-CN202110323704.2在审
发明人：李留臣;程绪高;周洁;周正星 -专利权人：江苏星特亮科技有限公司
申请日： 2021-03-26 - 公布日： 2021-07-30 - 主分类号： B05C11/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于碳化硅籽晶粘接的涂胶装置，包括机架、转动的设于机架上的且内部设有第一腔体的转轴、连接在转轴顶端的且内部设有与第一腔体连通的第二腔体的吸盘、设于吸盘上方的石墨籽晶座、设于机架上的且用于驱动转轴转动的第一驱动机构、与第一腔体连通的抽气机构；吸盘中设有连通在第二腔体上方的真空吸孔，真空吸孔的上端穿出吸盘且位于石墨籽晶座下方；装置还包括设于石墨籽晶座上方的注胶机构和刮胶机构、设于机架上的且用于驱动注胶机构和刮胶机构同步沿竖直方向和本发明装置能够提高碳化硅籽晶与石墨籽晶座之间的粘接质量。
一种用于碳化硅籽晶涂胶装置

[实用新型]一种用于碳化硅籽晶粘接的涂胶装置-CN202120615894.0有效
发明人：李留臣;程绪高;周洁;周正星 -专利权人：江苏星特亮科技有限公司
申请日： 2021-03-26 - 公布日： 2021-12-10 - 主分类号： B05C11/10 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于碳化硅籽晶粘接的涂胶装置，包括机架、转动的设于机架上的且内部设有第一腔体的转轴、连接在转轴顶端的且内部设有与第一腔体连通的第二腔体的吸盘、设于吸盘上方的石墨籽晶座、设于机架上的且用于驱动转轴转动的第一驱动机构、与第一腔体连通的抽气机构；吸盘中设有连通在第二腔体上方的真空吸孔，真空吸孔的上端穿出吸盘且位于石墨籽晶座下方；装置还包括设于石墨籽晶座上方的注胶机构和刮胶机构、设于机架上的且用于驱动注胶机构和刮胶机构同步沿竖直方向和本实用新型装置能够提高碳化硅籽晶与石墨籽晶座之间的粘接质量。
一种用于碳化硅籽晶涂胶装置

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