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[发明专利]一种具有防离子反馈膜的微通道板的制备方法-CN201910275811.5有效
发明人：刘欢;刘卫国;白民宇;安妍;韩军;刘蓉;王卓曼;蔡长龙 -专利权人：西安工业大学
申请日： 2019-04-08 - 公布日： 2020-07-03 - 主分类号： H01J9/00 文献下载
摘要：一种具有防离子反馈膜的微通道板的制备方法，包括以下步骤：对微通道板基体进行预处理；在微通道板基体的上端面用原子层沉积法制备防离子反馈膜；从微通道板基体的下端面采用刻蚀工艺制备微通道孔；在微通道孔的内壁上依次制备绝缘层、导电层和二次电子发射层；去除刻蚀所用掩蔽层，得到具有防离子反馈膜的微通道板；本发明在微通道板基体的上端面上沉积制备防离子反馈膜，在下端面刻蚀微通道孔，在微通道孔刻蚀贯穿前制备防离子反馈膜，所制备的防离子反馈膜厚度在原子层尺度精确控制，可实现防离子反馈膜对电子的透射性能和对阳离子的阻隔性能的良好匹配；本发明方法可以避免微通道板受到污染，并且其端面的防离子反馈膜质量高，整体工艺简单，成品率高。
一种具有离子反馈通道制备方法

[实用新型]除静电离子风机在线监控装置-CN202123153972.9有效
发明人：周冉 -专利权人：深圳市宇浩静电科技有限公司
申请日： 2021-12-15 - 公布日： 2022-08-19 - 主分类号： H05F3/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种除静电离子风机在线监控装置，其特征在于：包括采集机构、反馈机构、交互机构；所述采集机构包括信号放大器、电压传感器；当输出的离子从离子风机内吹出时，先经过电压传感器监测出实时离子群的电压值并将该电压值传送到信号放大器上，所述信号放大器将电压值信号放大并传送到MCU上，所述MCU将放大后的电压值信号解析并反馈到反馈机构和交互机构上，所述反馈机构将实时离子风机运作情况显示于离子风机上，所述交互机构将实时离子风机运作情况反馈显示到电脑终端本实用新型可自动检测离子风机内部的运行状况并及时反馈显示，实现对离子风机的有效监控。
静电离子风机在线监控装置

[发明专利]刻蚀量监控方法及监控模块-CN202011355737.7在审
发明人：钱凯;陆连;李全波 -专利权人：上海华力集成电路制造有限公司
申请日： 2020-11-27 - 公布日： 2021-03-12 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明公开了一种刻蚀量监控方法，包括：在被刻蚀对象中加入反馈离子，反馈离子深度与计划刻蚀深度一致；执行刻蚀，同时持续检测反馈离子信号；当反馈离子信号衰减为零，则到达计划刻蚀深度。
刻蚀监控方法模块

[实用新型]负离子发生器-CN201620602541.6有效
发明人：黄伟军 -专利权人：台州新立模塑科技股份有限公司
申请日： 2016-06-17 - 公布日： 2016-11-16 - 主分类号： H01T23/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种负离子发生器，驱动电源、负离子控制模块和发射头；驱动电源和负离子控制模块集成在一起；驱动电源上设有高频滤波电路；负离子控制模块包括控制电路、开关控制模块、振荡起振电路、升压变压器、电压反馈电路、输出回路监视电路、浓度反馈电路；控制电路分别与驱动电源、开关控制模块、振荡起振电路、电压反馈电路相连；升压变压器分别与振荡起振电路、电压反馈电路、输出电压监视回路相连；输出电压监视回路与浓度反馈电路相连本方案具有以下优点：1、驱动电源和负离子发生模块集成在一起，缩小了产品体积。2、电路设计简单。3、高频滤波电路配合浓度反馈电路保证了负离子发生器能够持续高效地产生负离子。
负离子发生器

[发明专利]一种高探测效率、低噪声微通道板及其制备方法-CN201711399274.2有效
发明人：贾金升;孙勇;侯伟杰;张兵强;张洋;徐滔 -专利权人：中国建筑材料科学研究总院有限公司
申请日： 2017-12-21 - 公布日： 2019-11-12 - 主分类号： H01J43/24 文献下载
摘要：其中，所述的微通道板包括，石英玻璃微孔阵列、输入电极、输出电极和防离子反馈膜，其中，所述的石英玻璃微孔阵列的孔壁上依次沉积有导电层和发射层；所述的防离子反馈膜位于输入电极一侧，所述的防离子反馈膜为石墨烯膜本发明以石墨烯膜层作为防离子反馈膜，其中，石墨烯膜层可做到埃米级，在防止离子反馈现象的同时，提高微通道板的探测效率，同时，提高了微通道板的增益性能。
微通道板防离子反馈膜高探测效率石墨烯膜层石英玻璃输入电极微孔阵列低噪声制备离子反馈石墨烯膜输出电极探测效率增益性能导电层发射层孔壁沉积

[实用新型]离子注入均匀性调整装置以及离子注入装置-CN201420684644.2有效
发明人：陈策 -专利权人：昆山国显光电有限公司
申请日： 2014-11-14 - 公布日： 2015-02-18 - 主分类号： H01J37/21 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种离子注入均匀性调整装置以及离子注入装置，所述离子注入均匀性调整装置包括反馈控制系统、与所述反馈控制系统电连接的驱动装置、及由所述驱动装置根据所述反馈控制系统的反馈信息驱动从而使得基板相对离子束发生倾斜的基板夹持装置；若检测离子束上部分的剂量小于离子束下部分的剂量，所述驱动装置控制所述基板夹持装置带动基板上部分向靠近离子束方向倾斜；若检测离子束上部分的剂量大于离子束下部分的剂量，所述驱动装置控制所述基板夹持装置带动基板上部分向远离离子束方向倾斜，从而调节到达基板表面的离子密度，提高基板竖直方向上的注入均匀性。
离子注入均匀调整装置以及

[实用新型]自适应燃气灶-CN201620254208.0有效
发明人： -专利权人：
申请日： 2016-03-30 - 公布日： 2017-01-11 - 主分类号： F24C3/12 文献下载
摘要：一种自适应燃气灶，包括燃烧器1、控制电路模块5、燃气比例阀3，燃烧器1上设有出火孔2，燃气比例阀3与控制电路模块5电连接，还包括液化气离子电流反馈针11、天然气离子电流反馈针12、火焰离子电流检测单元51，液化气离子电流反馈针11、天然气离子电流反馈针12安装在燃烧器上且其公共连接端通过火焰离子电流检测单元51与控制电路模块5电连接，控制电路模块5根据液化气离子电流反馈针11、天然气离子电流反馈针12检测到的离子电流值的总和调节燃气比例阀
自适应燃气灶

[实用新型]一种大功率离子源弧电源反馈控制系统-CN201620896986.X有效
发明人：蒋才超;谢亚红;胡纯栋;陈世勇;梁立振;刘智民;刘胜;许永建;谢远来 -专利权人：中国科学院等离子体物理研究所
申请日： 2016-08-17 - 公布日： 2017-03-15 - 主分类号： H01J37/08 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种大功率离子源弧电源反馈控制系统，其主要目的是满足大功率热阴极离子源在不同时期对弧电源的不同控制的需求。本系统主要通过不同变量的反馈控制模式来实现，包括由弧电源输出电压反馈、输出电流反馈和探针反馈三路独立的闭环反馈控制回路，其反馈值分别与由总控发出的电压设置、电流设置和探针设置进行比较放大，产生误差信号进入PID组成的运算调节单元形成控制信号，送入弧电源控制器，控制调节弧电源输出，从而达到控制离子源等离子体放电的目的。
一种大功率离子源电源反馈控制系统

[发明专利]一种PEM电解槽制氢水循环离子量控制系统及方法-CN202210894204.9在审
发明人：刘丽华;高鹏云;安东宇;魏少青 -专利权人：大连擎研科技有限公司
申请日： 2022-07-27 - 公布日： 2022-11-11 - 主分类号： C25B1/04 文献下载
摘要：本发明提供了一种PEM电解槽制氢水循环离子量控制系统及方法，系统包括：循环储水容器、开关单元、去离子单元、混水控制单元、第一电导率反馈单元、第一流量反馈单元、电解池单元、第二电导率反馈单元、第二流量反馈单元和循环单元；其中：在由循环储水容器向电解池单元流动的第一循环主路上设置有循环单元、第二流量反馈单元和第二电导率反馈单元；在由电解池单元向循环储水容器流动的第二循环主路上设置有开关单元、去离子单元、混水控制单元、第一电导率反馈单元和第一流量反馈单元本发明通过比较两个电导率反馈单元反馈的电导率进行电解水过程中的离子控制。
一种 pem 电解槽水循环离子控制系统方法

[发明专利]微光像增强器组件反馈离子测试装置及方法-CN201210405060.2无效
发明人：李野;秦旭磊;付申成;端木庆铎 -专利权人：长春理工大学
申请日： 2012-10-22 - 公布日： 2013-01-16 - 主分类号： G01N15/08 文献下载
摘要：微光像增强器组件反馈离子测试装置及方法，属于光电成像器件领域，包括聚焦紫外光源、真空室、无阴极微光像增强器组件、离子导管、离子探测器、屏蔽盒；方法是：聚焦紫外光源通过紫外窗口入射到微通道板表面，激发出的电子使微光像增强器组件工作，微光像增强器组件中产生的反馈离子经加速后，经离子导管、隔离栅网进入离子探测器，输出信号经电荷放大器放大后输入到多道脉冲幅度分析器，通过脉冲幅度分析将离子脉冲信号与噪声信号进行分离，得到反馈离子脉冲信号幅度值，然后将信号幅值做为阈值输入到单道谱仪中，实现离子脉冲计数。该装置能够实现复杂电磁环境下的极微弱离子流检测，用于微光像增强器中防离子反馈膜离子阻透特性的测量。
微光增强组件反馈离子测试装置方法

[实用新型]一种脱硫石膏氯离子在线监测反馈调节装置-CN202020608316.X有效
发明人：李晓峰;张国柱;陈正强;张钧泰;谷小兵;白玉勇;吴静 -专利权人：大唐环境产业集团股份有限公司;清华大学
申请日： 2020-04-21 - 公布日： 2020-11-20 - 主分类号： G01N33/38 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种脱硫石膏氯离子在线监测反馈调节装置，包括脱水机、喷淋头、取样机械手、溶解装置、过滤装置、氯离子测定仪和反馈控制器；所述喷淋头位于所述脱水机的上方，所述取样机械手设置在脱水机与所述溶解装置之间本实用新型在使用时，脱硫石膏浆液进入脱水机进行冲洗并脱水后，通过取样机械手进行定时定量取样，然后将取出的脱硫石膏样品放入溶解装置，在溶解装置中将取到的脱硫石膏样品加入定量水后充分搅拌，然后经过滤装置过滤后得到含氯离子的待测液，采用氯离子测定仪测试氯离子的含量，反馈到反馈控制器，反馈控制器根据测试得到的氯离子的含量控制喷淋头调节冲洗水量，从而实现脱硫石膏氯离子在线监测和反馈调节的作用。
一种脱硫石膏氯离子在线监测反馈调节装置

[发明专利]自适应燃气灶及其控制方法-CN201610190349.5在审
发明人：叶远璋;周亮;张煜圣 -专利权人：广东万和电气有限公司
申请日： 2016-03-30 - 公布日： 2016-06-08 - 主分类号： F24C3/12 文献下载
摘要：一种自适应燃气灶，包括燃烧器1、控制电路模块5、燃气比例阀3，燃烧器1上设有出火孔2，燃气比例阀3与控制电路模块5电连接，还包括液化气离子电流反馈针11、天然气离子电流反馈针12、火焰离子电流检测单元51，液化气离子电流反馈针11、天然气离子电流反馈针12安装在燃烧器上且其公共连接端通过火焰离子电流检测单元51与控制电路模块5电连接，控制电路模块5根据液化气离子电流反馈针11、天然气离子电流反馈针12检测到的离子电流值的总和调节燃气比例阀
自适应燃气灶及其控制方法

[发明专利]阻抗自适应的等离子体手术系统-CN202011148364.6在审
发明人：李政;肖国庆;尹辉;唐宇豪 -专利权人：成都盛世慧通医疗科技有限公司
申请日： 2020-10-23 - 公布日： 2021-01-01 - 主分类号： A61B18/12 文献下载
摘要：本发明涉及等离子体手术领域，其实施方式公开了一种阻抗自适应的等离子体手术系统，包括：等离子体刀头部件，用于将生成的等离子体作用于目标；所述手术系统还包括：反馈部件，用于基于所述等离子体刀头部件的工况生成反馈量；能量控制部件，被配置为基于所述反馈量确定输出至所述等离子体刀头部件的能量。本发明的实施方式能够及时根据刀头部件的工况调节发射功率，并保持等离子体的持续激发。
阻抗自适应等离子体手术系统

[实用新型]阻抗自适应的等离子体手术系统-CN202022395026.4有效
发明人：李政;肖国庆;尹辉;唐宇豪 -专利权人：成都盛世慧通医疗科技有限公司
申请日： 2020-10-23 - 公布日： 2021-02-09 - 主分类号： A61B18/12 文献下载
摘要：本实用新型涉及等离子体手术领域，其实施方式公开了一种阻抗自适应的等离子体手术系统，包括：等离子体刀头部件，用于将生成的等离子体作用于目标；所述手术系统还包括：反馈部件，用于基于所述等离子体刀头部件的工况生成反馈量；能量控制部件，被配置为基于所述反馈量确定输出至所述等离子体刀头部件的能量。本实用新型的实施方式能够及时根据刀头部件的工况调节发射功率，并保持等离子体的持续激发。
阻抗自适应等离子体手术系统

[实用新型]一种抑制瞬间电流的负离子发生器的电路-CN201922180889.7有效
发明人：何明金 -专利权人：超准电子（广州）有限公司
申请日： 2019-12-09 - 公布日： 2020-07-28 - 主分类号： H02M3/335 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种抑制瞬间电流的负离子发生器的电路，包括直流电供电端、负反馈震荡放大模块，二倍压模块与负离子发生仓；所述负反馈震荡放大模块耦接于直流电供电端，用于放大电压；二倍压模块分别耦接于负反馈震荡放大模块和负离子发生仓，用于输出两倍负反馈震荡放大模块放大后的电压；其中，所述负反馈震荡放大模块包括初级负反馈绕组与初级主绕组。本实用新型的有益效果在于：本实用新型的负离子发生电路可以直接接入市电供电，同时具有抑制瞬间电流的功能，实现保护电路的电气效率，电子元器件选型更加容易，使得电路更加稳定。
一种抑制瞬间电流负离子发生器电路

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