专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]硅片输送-CN201520358229.2有效
  • 韩俊国 - 中建材浚鑫科技股份有限公司
  • 2015-05-29 - 2015-11-18 - H01L31/18
  • 本实用新型提供一种硅片输送,包括硅片存储架、横移机构输送以及硅片堆叠架,横移机构包括横移导轨、滑动设置于横移导轨上的滑动架、沿着上下方向滑动设置的吸盘、驱动吸盘滑动的气缸,输送包括转动设置的两个转辊、呈环形设置且绕设于两个转辊上的两根输送绳,输送的上方设置有用于检测硅片质量的检测机构,检测机构包括L形支撑架、设置于L形支撑架上的摄像头,摄像头与显示屏相连接,通过自动化的方式将硅片输送堆叠,生产效率高
  • 硅片输送机构
  • [发明专利]硅片输送-CN202211477764.0在审
  • 张贝贝 - 龙威微电子装备(龙泉)有限公司
  • 2022-11-23 - 2023-01-06 - B65G59/06
  • 本发明提供了一种硅片输送,包括硅片堆垛机构硅片取出机构、气压悬浮输送组件、滚盘输送组件以及龙门吸盘转移组件等,改变现有采用吸盘取出的方式,而是逐层将硅片从层架中推出并通过调整层架的位置来自动适应取出机构的操作,并且实现硅片从气压悬浮输送组件精确的转移至滚盘输送组件的载板上并保持硅片表面的洁净度。
  • 硅片输送机构
  • [实用新型]一种硅片上料装置及硅片检测设备-CN202320976987.5有效
  • 徐飞;李昶;顾晓奕 - 无锡奥特维科技股份有限公司
  • 2023-04-26 - 2023-10-27 - H01L21/677
  • 本实用新型提供了一种硅片上料装置及硅片检测设备,包括第一输送、第二输送、第三输送、第四输送、分流搬运机构、汇流搬运机构硅片上料机构,其中:第二输送、第二输送设置在第一输送和第四输送的两侧上料机构为第一输送提供硅片;分流搬运机构用于将第一输送上的硅片搬运至第二输送和第三输送上,以及用于对硅片实施旋转;汇流搬运机构用于将第二输送及第三输送上的硅片搬运至第四输送上;第四输送用于将硅片输送上料至后道的硅片处理工位。本实用新型能够在上料过程中实施对硅片的角度调整,在对硅片实施角度调整过程中无需暂停输送,从而保证硅片上料速度。
  • 一种硅片装置检测设备
  • [实用新型]硅片插片输送装置-CN202122325610.7有效
  • 卞海峰;李昶;薛冬冬;韩杰 - 无锡奥特维科技股份有限公司
  • 2021-09-24 - 2022-04-26 - B65H5/02
  • 本实用新型涉及一种硅片插片输送装置,包括沿着输送方向依次布置的第一输送及第二输送,以及滑动机构;第一输送靠近第二输送的一端形成有容纳空间,第二输送安装在滑动机构上,第二输送在滑动机构的带动下进入或者移出容纳空间;第一输送与第二输送输送面处于同一个平面,并且第一输送与第二输送分别各自独立运转;第一输送被配置为暂存接收到的硅片,并且将硅片向第二输送运输;第二输送被配置为接收第一输送上的硅片,并且将硅片输送硅片料篮。通过滑动机构带动第二输送移动篮,可将第二输送上的硅片直接插入硅片料篮中,提高了生产效率,保证了硅片的质量。
  • 硅片输送装置
  • [实用新型]盒装硅片循环取出装置-CN201120348900.7有效
  • 王燕清 - 无锡先导自动化设备股份有限公司
  • 2011-09-17 - 2012-05-30 - B65G49/07
  • 本实用新型涉及一种盒装硅片循环取出装置,包括在机架上安装的硅片盒上下料机构、两升降平台机构、中间输送、三轴输送与推硅片机构,所述的硅片盒上下料机构与两升降平台机构配合,两升降平台机构与中间输送配合,中间输送与三轴输送配合,三轴输送与推硅片机构配合,推硅片机构硅片盒上下料机构配合。本实用新型通过设计两道对称的上料输送、下料输送,通过两升降平台,循环交替输送两升降平台上的满硅片盒里的硅片,从而提高传送硅片效率,增加生产效率,克服了人工取片的缺点,同时降低人工劳动强度。
  • 盒装硅片循环取出装置
  • [实用新型]硅片收片装置-CN202122277815.2有效
  • 卞海峰;李昶;薛冬冬 - 无锡奥特维科技股份有限公司
  • 2021-09-18 - 2022-03-01 - B65H29/16
  • 本实用新型涉及一种硅片收片装置,包括主输送输送过渡机构、吸盘横移机构、支线输送硅片收片机构;主输送被配置为将多片硅片依次输送输送过渡机构输送过渡机构与吸盘横移机构被配置为将输送过渡机构上接收的硅片交替输送至支线输送;支线输送被配置为将接收到的硅片输送硅片收片机构。本实用新型通过输送过渡机构与吸盘横移机构硅片从主输送交替输送至支线输送,可充分利用输送过渡机构与吸盘横移机构的空载返程时间,提高支线输送输送频率,进而提高硅片的收片效率。
  • 硅片装置
  • [发明专利]一种硅片循环收料系统及收料方法-CN202110650058.0在审
  • 李文;李昶;王美;徐飞;李泽通;薛冬冬;韩杰;卞海峰 - 无锡奥特维科技股份有限公司
  • 2021-06-10 - 2021-09-24 - B65G37/00
  • 本发明提供了一种硅片循环收料系统及收料方法,包括硅片输送、收料输送及回流输送,其中:硅片输送输送路径上设置有若干硅片收片工位,硅片输送被配置为将硅片输送至位于硅片收片工位处的料盒内;收满硅片的满料盒从硅片收片工位处被换向至收料输送上,收料输送被配置为将满料盒输送至位于收料输送的出料端的收料工位处;收料工位处的被搬空的空料盒被换向至位于回流输送的进料端的回流工位处,回流输送被配置为将位于回流工位处的空料盒朝向硅片收片工位输送以使得空料盒回流至硅片收片工位处。本发明实现了对硅片的自动收料,并实现了料盒在收片工位和收料工位之间的循环回流,提升了收料效率。
  • 一种硅片循环系统方法
  • [实用新型]一种硅片循环收料系统-CN202121298151.1有效
  • 李文;李昶;王美;徐飞;李泽通;薛冬冬;韩杰;卞海峰 - 无锡奥特维科技股份有限公司
  • 2021-06-10 - 2022-01-11 - B65G37/00
  • 本实用新型提供了一种硅片循环收料系统,包括硅片输送、收料输送及回流输送,其中:硅片输送输送路径上设置有若干硅片收片工位,硅片输送被配置为将硅片输送至位于硅片收片工位处的料盒内;收满硅片的满料盒从硅片收片工位处被换向至收料输送上,收料输送被配置为将满料盒输送至位于收料输送的出料端的收料工位处;收料工位处的被搬空的空料盒被换向至位于回流输送的进料端的回流工位处,回流输送被配置为将位于回流工位处的空料盒朝向硅片收片工位输送以使得空料盒回流至硅片收片工位处本实用新型实现了对硅片的自动收料,并实现了料盒在收片工位和收料工位之间的循环回流,提升了收料效率。
  • 一种硅片循环系统
  • [实用新型]一种硅片上料装置-CN202020991866.4有效
  • 李文;徐飞;李昶;李泽通;黄莉莉 - 无锡奥特维科技股份有限公司
  • 2020-06-03 - 2021-03-30 - B65G47/52
  • 本实用新型提供了一种硅片上料装置,包括第一输送和第二输送,其中:第一输送的出料端靠近第二输送的上料端,第一输送被配置获取待上料的硅片并沿第一水平方向将硅片朝向第二输送的上料端输送;第二输送承接自第一输送的出料端输出的硅片并将硅片输送至下道工位,第二输送的上料端被配置为能够沿第一水平方向移动以靠近或远离所述第一输送的下料端。通过将第二输送的上料端配置为可移动结构,本实用新型能够实现对第一输送的上料端和第二输送的下料端之间的距离的灵活调整,以实现对不同尺寸的硅片的上料。
  • 一种硅片装置
  • [实用新型]硅片下片机-CN202022229930.8有效
  • 闫善韵 - 苏州林赛自动化科技有限公司
  • 2020-10-09 - 2021-05-11 - B65G49/07
  • 本实用新型涉及硅片下片设备领域,尤其是硅片下片机。该下片机包括机架、初段水平直线输送、中间段水平直线输送、水平直线输送、末段上层水平直线输送、末段下层水平直线输送硅片翻面机构、升降机构、花篮定位机构,所述机架上安装有初段水平直线输送、中间段水平直线输送、末段上层水平直线输送、末段下层水平直线输送。本实用新型通过初段水平直线输送及中间段水平直线输送,将硅片往前传送。通过升降机构来驱使花篮的上下移动,从而选择将填装了硅片的花篮送入末段上层水平直线输送或是末段下层水平直线输送上进行传送。本申请提高了硅片入篮传送的效率。
  • 硅片下片
  • [发明专利]硅片插片机用供片装置-CN201510079996.4有效
  • 邱文良 - 苏州博阳能源设备有限公司
  • 2015-02-13 - 2015-06-03 - H01L31/18
  • 硅片插片机用供片装置,包括硅片分片机构硅片输送硅片位置校正装置;所述硅片分片机构包括第一输送带、第二输送带、储片盒和吹气口;所述硅片输送包括至少一个第三输送带和至少一个第四输送带;所述第三输送带和第四输送带串连设置;所述硅片分片机构的第二输送带与所述硅片输送对接;所述硅片输送的两侧设有硅片位置校正装置。本发明采用硅片分片机构连续分片和取片,采用硅片输送硅片进行连续运输,具有插片效率高的优点。硅片位置校正装置可以保证硅片精确对准硅片承载盒。
  • 硅片插片机用供片装置
  • [实用新型]硅片插片机用供片装置-CN201520108823.6有效
  • 邱文良 - 苏州博阳能源设备有限公司
  • 2015-02-13 - 2015-06-10 - H01L31/18
  • 硅片插片机用供片装置,包括硅片分片机构硅片输送硅片位置校正装置;所述硅片分片机构包括第一输送带、第二输送带、储片盒和吹气口;所述硅片输送包括至少一个第三输送带和至少一个第四输送带;所述第三输送带和第四输送带串连设置;所述硅片分片机构的第二输送带与所述硅片输送对接;所述硅片输送的两侧设有硅片位置校正装置。本实用新型采用硅片分片机构连续分片和取片,采用硅片输送硅片进行连续运输,具有插片效率高的优点。硅片位置校正装置可以保证硅片精确对准硅片承载盒。
  • 硅片插片机用供片装置
  • [实用新型]硅片升降传送装置-CN202022248189.X有效
  • 闫善韵 - 苏州璞智自动化科技有限公司
  • 2020-10-12 - 2021-05-25 - B65G23/44
  • 本实用新型涉及硅片传送设备领域,尤其是硅片升降传送装置。该传送装置包括机台、升降水平输送、升降机构、上层水平直线皮带输送、下层水平直线皮带输送、出料水平直线皮带输送、暂存箱、出入箱水平直线皮带输送、皮带张紧机构、暂存箱升降机构硅片定位机构。本实用新型通过升降水平输送进行硅片上料。通过出入箱水平直线皮带输送硅片移入或移出暂存箱。通过升降机构来驱使出料水平直线皮带输送上下移动。通过上层水平直线皮带输送与下层水平直线皮带输送进行不同高度的传送。本申请提高了硅片传送的效率。
  • 硅片升降传送装置

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