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- [发明专利]等离子体光源-CN201180034427.8有效
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B·普雷斯顿
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塞拉维申有限公司
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2011-07-12
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2013-06-12
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H01J65/04
- 具有内部孔(21)的熔融石英的外部圆柱体(20)例如与内部套管滑动安装,内部套管滑动安装在中央主体上。穿孔金属的外部套管(22)包围外部圆柱体并且具有跨越石英主体和圆柱体(12,20)的齐平中空端部延伸的端部(23)。外部套管具有在铝托架(26)上超出石英元件的另一齐平端延伸的裙边(25),裙边(25)被夹住,以保持石英元件抵接托架。由此,套管与其端部(22)和托架(26)形成围绕石英和等离子体中空(14)的法拉第罩。来自等离子体的光传播通过石英并且传播通过套管和端部(19)中的穿孔,由此从光源发射。
- 等离子体光源
- [实用新型]一种石英锅专用的喷涂治具-CN202123299526.9有效
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许杰
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合肥升滕半导体技术有限公司
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2021-12-23
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2022-08-30
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C03C17/00
- 本实用新型涉及石英锅加工领域,具体公开了一种石英锅专用的喷涂治具,包括石英锅套圈,所述石英锅套圈的下方设置有旋转底座,所述支撑柱的外侧位于所述旋转底座的上表面安装有限位导杆,所述限位导杆的外侧套接有升降套管,所述升降套管的内侧壁开设有卡板收纳槽,所述卡板收纳槽的内部安装有圆弧卡板,所述圆弧卡板与所述卡板收纳槽之间连接有弹簧,所述升降套管位于远离所述石英锅套圈的一侧安装有限位挡块。通过设置的石英锅套圈,在石英锅套圈的上表面开设的在锅底卡槽的棱边处均经过倒圆角处理,锅底卡槽的内部设置有扶圈,利用将石英锅放置在锅底卡槽的内部,在石英锅的自身的重力作用下会使得和锅底卡槽的卡接紧密。
- 一种石英专用喷涂
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