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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

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B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[实用新型]一种真空镀膜装置-CN202222005579.3有效
发明人：张永胜;邓天泽;郝跃;李伟;梁得刚 -专利权人：苏州迈为科技股份有限公司
申请日： 2022-08-01 - 公布日： 2022-11-22 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本实用新型属于真空镀膜技术领域，公开了一种真空镀膜装置。该真空镀膜装置包括真空镀膜室、前过渡室、后过渡室、放卷机构和收卷机构。真空镀膜室用于向待加工件镀膜；前过渡室和后过渡室分别设置于所述真空镀膜室的两侧，所述前过渡室和所述后过渡室均能与所述真空镀膜室连通，所述前过渡室和所述后过渡室均包括依次连通的多个过渡腔，多个所述过渡腔的真空度沿靠近所述真空镀膜室的方向逐渐升高；放卷机构和收卷机构均设置于所述真空镀膜室外，所述放卷机构用于提供所述待加工件，所述待加工件依次经过所述前过渡室、所述真空镀膜室和所述后过渡室后能够被所述收卷机构收卷，实现连续送卷镀膜，避免影响真空镀膜室内的真空度
一种真空镀膜装置

[实用新型]一种真空镀膜装置-CN201821393521.8有效
发明人：梅艳慧 -专利权人：君泰创新(北京)科技有限公司
申请日： 2018-08-28 - 公布日： 2019-05-24 - 主分类号： C23C14/52 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种真空镀膜装置，包括真空镀膜室、观察窗、真空隔离件和传感器，所述真空镀膜室的室壁和所述观察窗之间设置有连接管路，所述连接管路上设置有所述真空隔离件，所述传感器能够透过所述观察窗检测真空镀膜室内的基片通过在观察窗和真空镀膜室之间加设真空隔离件，利用真空隔离件调节观察窗和真空镀膜室之间的连通与断开，实现无需对真空镀膜室充大气，即可快速更换观察室玻璃，极大提高装置运行时间，并保护真空镀膜室内的真空环境。
真空镀膜室观察窗真空隔离真空镀膜装置连接管路真空镀膜传感器室内本实用新型快速更换提高装置真空环境观察室室壁断开连通玻璃检测

[实用新型]一种真空镀膜机-CN201620075227.7有效
发明人：邱海峰 -专利权人：邱海峰
申请日： 2016-01-27 - 公布日： 2016-06-15 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种真空镀膜机，包括真空镀膜室、用于对真空镀膜室进行抽真空的抽真空装置、用于将薄膜材料加热蒸发的蒸发加热装置、用于夹持待真空镀膜样品的样品夹具；所述抽真空装置通过真空管道与真空镀膜室连通，所述蒸发加热装置设置在真空镀膜室的底部，所述样品夹具设置在真空镀膜室的顶部；该真空镀膜机还包括用于提高抽真空效率的电磁加热机构，所述电磁加热机构设置在抽真空装置与真空镀膜室之间的真空管道上。通过在抽真空装置的真空管道上设置一个电磁加热机构，使抽真空装置的进口室与出口室的温度升高，使抽真空放大气过程中所排出的水气不会冷冻抽真空装置抽气管道端部的进口室与出口室，从而提高了抽真空效率。
一种真空镀膜

[实用新型]真空镀膜装置-CN201921985842.1有效
发明人：蒋贵霞;贾建国 -专利权人：昆山英利悦电子有限公司
申请日： 2019-11-18 - 公布日： 2020-06-26 - 主分类号： C23C14/22 文献下载
摘要：本实用新型公开了真空镀膜装置，包括真空镀膜室、固定台，真空镀膜室由腔室隔板分隔为多个镀膜空间，真空镀膜室中部固定有固定架，固定架通过转动轴与电机传动连接；固定台设置在真空镀膜室底部，固定台顶部开设环形凹槽，环形凹槽内嵌入镀膜台，镀膜台上放置基材。本实用新型的真空镀膜装置能同时对多个基材进行镀膜、还可在不同镀膜空间内设定不同的镀膜参数，对基材镀膜进行对比实验，镀膜效率较高。
真空镀膜装置

[实用新型]真空镀膜腔室及真空镀膜设备-CN201821557980.5有效
发明人：徐悦 -专利权人：君泰创新(北京)科技有限公司
申请日： 2018-09-25 - 公布日： 2019-06-28 - 主分类号： C23C14/02 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种真空镀膜腔室及真空镀膜设备，涉及真空镀膜的技术领域，该真空镀膜腔室包括腔室本体，腔室本体中由上至下设置有第一加热组件、隔离保护组件和第二加热组件。其中，第一加热组件与隔离保护组件之间用于容置载板及载板运载的待镀膜基体，隔离保护组件用于隔开第二加热组件与载板。该真空镀膜设备包括上述真空镀膜腔室。该真空镀膜腔室及真空镀膜设备缓解了现有技术中待镀膜基体或者载板本身因高温发生碎裂时，残片掉落存在打碎灯管的风险的技术问题。
真空镀膜腔室真空镀膜设备加热组件载板隔离保护镀膜基体腔室本体本实用新型碎裂真空镀膜灯管掉落隔开容置打碎运载缓解

[发明专利]一种ITO镀膜生产线及生产工艺-CN201310665255.5在审
发明人：郭卫军 -专利权人：湖北优泰显示技术有限公司
申请日： 2013-12-11 - 公布日： 2014-03-26 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明涉及ITO镀膜技术领域，尤其涉及一种ITO镀膜生产线及生产工艺。ITO镀膜生产线包括玻璃基片输送线、基片夹具、夹具机械手和真空镀膜机，真空镀膜机设置于玻璃基片输送线的右端；基片夹具用于装夹玻璃基片，基基片夹具放置在玻璃基片输送线上进行输送，夹具机械手夹持基片夹具并将基片夹具放置于真空镀膜机内；真空镀膜机包括有从左至右依次设置的SiO2膜真空镀膜室、ITO膜真空镀膜室、穿透率检验室和阻抗特性检验室，真空镀膜机还设置有穿设所述SiO2膜真空镀膜室、ITO膜真空镀膜室、穿透率检验室和阻抗特性检验室的输送带，可大大提高ITO镀膜生产效率，使得产品穿透率和阻抗特性更理想。
一种 ito 镀膜生产线生产工艺

[实用新型]内壁镀膜介电管的真空镀膜设备-CN200420088146.8无效
发明人：宋伟民;孙庆仁;王化民;宋恩兆 -专利权人：中冶京诚工程技术有限公司
申请日： 2004-09-09 - 公布日： 2005-09-28 - 主分类号： C23C14/26 文献下载
摘要：本实用新型是关于一种内壁镀膜介电管的真空镀膜设备，其包括一真空镀膜台，其台面下为设备层部分，其台面以上为介电管的内壁镀膜部件，该介电管内壁镀膜部件包括：固设在真空镀膜台台面上的真空镀膜座；直接以电插座方式固定插接在真空镀膜座上的真空镀膜杆；以及由介电管构成的真空室。本实用新型内壁真空镀膜设备在传统设备的基础上，增设了真空镀膜座、真空镀膜杆和利用介电管本身构成的真空室，从而实现了对介电管内壁进行镀膜的目的；这样便无需大型昂贵的真空镀膜设备，而且最大限度地缩小真空镀膜室体积，并能够大幅度降低获取高真空度的能耗。
内壁镀膜介电管真空镀膜设备

[实用新型]一种真空镀膜机-CN202221970340.3有效
发明人：戴晓东;余海春;杨启忠 -专利权人：光驰科技（上海）有限公司
申请日： 2022-07-28 - 公布日： 2022-11-15 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种真空镀膜机，涉及真空镀膜技术领域。该真空镀膜机包括真空镀膜室、进料室、出料室和搬送机构，真空镀膜室包括进料口和出料口；进料室通过第一分隔门封闭进料口；出料室通过第二分隔门封闭出料口；搬送机构包括第一搬送机构和第二搬送机构，第一搬送机构设置于进料室，对应第一分隔门设置，用于将进料室的待镀膜的基板搬送至真空镀膜室；第二搬送机构设置于出料室，对应第二分隔门设置，用于将真空镀膜室的已镀膜的基板搬送至出料室。该真空镀膜机提高了生产良品率和搬送效率。
一种真空镀膜

[发明专利]一种真空镀膜系统-CN201510581546.5在审
发明人：陈学兵;王光辉 -专利权人：苏州普京真空技术有限公司
申请日： 2015-09-15 - 公布日： 2015-12-02 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本发明公开了一种真空镀膜系统，包括控制器、真空镀膜机、镀膜室、冷却室、排气阀以及人机界面，所述的控制器与真空镀膜机相连接，所述的镀膜室和冷却室分别与真空镀膜机相连接，所述的排气阀与镀膜室相连接，所述的人机界面与控制器相连接通过上述方式，本发明提供的真空镀膜系统，设置有镀膜室和冷却室，可省时、省力、减少动力消耗和大气对镀膜室污染的镀膜装置，提供一种可使多个镀膜室保持一定真空度的节拍式连续工作的真空镀膜系统。
一种真空镀膜系统

[发明专利]一种连续自动真空镀膜设备-CN201410108189.6有效
发明人：毛昌海 -专利权人：艾瑞森表面技术（苏州）股份有限公司
申请日： 2014-03-21 - 公布日： 2017-03-15 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本发明涉及一种连续自动真空镀膜设备，包括真空镀膜室，真空镀膜室的内部上设有靶材，真空镀膜室上设有工件进口以及工件出口，工件进口处设有进口阀门，工件出口处设有出口阀门，工件进口处设有工件真空预热室，工件真空预热室上设有预热室进口阀，工件真空预热室内设有加热装置，工件出口处设有工件真空冷却室，工件真空冷却室上设有冷却室出口阀，工件真空冷却室内设有冷却装置，真空镀膜室、工件真空预热室以及工件真空冷却室内贯穿着用于传送工件的输送链条，保证真空镀膜室始终处于真空状态，能够连续进行镀膜，提高工作效率，提高产品的镀膜质量。
一种连续自动真空镀膜设备

[实用新型]一种ITO镀膜生产线-CN201320807172.0有效
发明人：郭卫军 -专利权人：湖北优泰显示技术有限公司
申请日： 2013-12-11 - 公布日： 2014-07-09 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型涉及ITO镀膜技术领域，尤其涉及一种ITO镀膜生产线，包括玻璃基片输送线、基片夹具、夹具机械手和真空镀膜机，真空镀膜机设置于玻璃基片输送线的右端；基片夹具用于装夹玻璃基片，基基片夹具放置在玻璃基片输送线上进行输送，夹具机械手夹持基片夹具并将基片夹具放置于真空镀膜机内；真空镀膜机包括有从左至右依次设置的SiO₂膜真空镀膜室、ITO膜真空镀膜室、穿透率检验室和阻抗特性检验室，真空镀膜机还设置有穿设所述SiO₂膜真空镀膜室、ITO膜真空镀膜室、穿透率检验室和阻抗特性检验室的输送带，可大大提高ITO镀膜生产效率，使得产品穿透率和阻抗特性更理想。
一种 ito 镀膜生产线

[实用新型]一种多室连续真空镀膜装置-CN201120216053.9有效
发明人：刘晓波;翟玉涛;王珂;李绪波;文磊 -专利权人：核工业西南物理研究院
申请日： 2011-06-24 - 公布日： 2012-01-25 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种多室连续真空镀膜装置，旨在提供一种能够将大真空室分割为若干个气氛独立的小真空镀膜室，能够实现多室连续真空镀膜的装置。它包括一个大真空室、若干个真空泵，大真空室中均匀设置若干个气室隔离墙，气室隔离墙之间形成小真空镀膜室，大真空室与小真空镀膜室各自与至少一台真空泵相连。本实用新型适用于真空环境下的连续多层镀膜。
一种连续真空镀膜装置

[发明专利]一种真空镀膜设备-CN201910400704.0有效
发明人：孙启敬;孙剑;高裕弟;洪耀;朱松山;张民井 -专利权人：枣庄睿诺电子科技有限公司
申请日： 2019-05-14 - 公布日： 2020-12-29 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：一种真空镀膜设备，其包括：真空镀膜腔室，包括腔室门和对所述基板进行真空镀膜的至少一个真空制程腔，所述真空制程腔设于所述腔室门内；大气传输腔室，包括至少一个对镀膜后的所述基板进行散热的大气腔；以及移动装置，将所述基板移动至所述真空镀膜腔室或者所述大气传输腔室的输入端；其中所述大气传输腔室的数量少于所述真空镀膜腔室的数量。通过设置镀膜真空室的数量大于大气传输腔室的数量，使得同一大气传输腔室可输入不同真空镀膜腔室内的基板，由此提高了大气传输腔室的利用率，从而提高了镀膜设备的生产效率。
一种真空镀膜设备

[实用新型]靶材升降装置及真空镀膜设备-CN202222170941.2有效
发明人：王君 -专利权人：沈阳爱科斯科技有限公司
申请日： 2022-08-17 - 公布日： 2022-11-29 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型提供的一种靶材升降装置及真空镀膜设备，其中靶材升降装置包括驱动机构、移动板以及靶材机构；驱动机构的一端与真空镀膜设备中的真空镀膜室相连接，另一端为伸缩端，且伸缩端与移动板相连接；靶材机构的一端与移动板相连接，另一端穿过真空镀膜室的外壁面进入真空镀膜室内，驱动机构能够驱动移动板向接近或远离真空镀膜室的方向移动，以使靶材机构能够进入或脱离真空镀膜室。通过驱动机构驱动移动板向接近或远离真空镀膜室的方向移动，从而能够带动靶材机构运动，使磁控溅射靶远离移动板的一端能够进入或脱离真空镀膜室，进而能够避免在非作业过程中靶材位于真空镀膜室内受到污染的问题。
升降装置真空镀膜设备

[发明专利]一种用于工件表面镀膜的高效率直线型真空镀膜流水线-CN201910142182.9有效
发明人：武文全 -专利权人：佛山市佛欣真空技术有限公司
申请日： 2019-02-26 - 公布日： 2021-04-09 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于工件表面镀膜的高效率直线型真空镀膜流水线，包括放卷室以及均通过螺栓和密封垫依次固定串接在放卷室后侧的清洗室、真空镀膜室、冷却室和收卷室。该用于工件表面镀膜的高效率直线型真空镀膜流水线，在实际使用时，让工件依次经过放卷、高压冲洗、真空镀膜、冷却降温以及收卷处理，其中真空镀膜环节的真空镀膜室通过隔板分成三个等大的小型真空镀膜室，并且这三个小型的真空度镀膜室分别对应设置抽真空系统和蒸汽发热源，将工件表面镀膜的区段分为三段或更多段，有利于镀膜处理时的效率和质量的保证，大大节约了工件表面镀膜的时间，降低了镀膜的成本，有利于中小型企业的推广使用。
一种用于工件表面镀膜高效率直线型真空镀膜流水线

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