专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]用于借助微波生成等离子体的装置-CN201080061090.5有效
  • H.米格;K-M.鲍姆格特纳;M.凯泽;L.阿尔贝茨 - 米格有限责任公司
  • 2010-11-05 - 2013-03-27 - H01J37/32
  • 用于借助微波生成等离子体用来对衬底进行CVD涂层的装置(1)具有反应气体可被输送到的真空箱(2)和布置在其中的电导体(3),所述电导体在其两个端部处分别与用于耦合输入微波的装置(6)以及与电压源(7)相连接,用该电压源(7)可在电导体(3)和周围的真空箱(2)之间生成电位差,其中,电导体(3)相对于用于耦合输入微波的装置(6)是电绝缘的。用于耦合输入微波的装置(6)朝向电导体(3)漏斗状地展开,并且部分地或完全地用介电材料(11)充填。用于耦合输入微波的装置(6)具有沿着周边伸展的槽形的凹口。
  • 用于借助微波生成等离子体装置

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