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[发明专利]真空测量装置控制系统及半导体加工装置-CN200910078368.9无效
发明人：武小娟 -专利权人：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
申请日： 2009-02-26 - 公布日： 2010-09-01 - 主分类号： G05B23/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种真空测量装置控制系统及半导体加工装置，真空测量装置控制系统包括真空测量装置、真空获得装置，真空测量装置通过电源供电，真空测量装置与电源之间连接有监控复位电路；当真空测量装置向真空获得装置发出的开关信号失效时，监控复位电路对真空测量装置进行一次断电、上电的复位过程，对于真空规由于环境因素波动引起的瞬间故障，能够通过复位过程排除，避免造成分子泵的频繁起停，增强了机台的可靠性和在线故障诊断性能。
真空测量装置控制系统半导体加工

[实用新型]真空测量系统及其排水装置-CN202320244463.7有效
发明人：颜绍霖;杨光茂;钟传兵;颜江叡;王跃飞;王家沛 -专利权人：贵州西电电力股份有限公司黔北发电厂
申请日： 2023-02-17 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： F17D3/01 文献下载
摘要：提供了一种用于真空测量系统的排水装置，其包括：第一管道，用于连通真空测量系统和测量变送器；第二管道，用于连通所述第一管道和积水罐；第三管道，用于连通所述积水罐和收集池；第一阀门，安装在所述第一管道上，且位于所述真空测量系统和所述第二管道之间；第二阀门，安装在所述第一管道上，且位于所述第二管道和所述测量变送器之间；第三阀门，安装在所述第二管道上；第四阀门，安装在所述第三管道上。真空测量系统使用本实用新型的排水装置之后，真空测量系统不停运，不做安全措施，安全可靠，并且操作简单。
真空测量系统及其排水装置

[实用新型]基于静态法的手提式饱和蒸气压测量仪器-CN201620111635.3有效
发明人：杨遂军;叶树亮;徐颖达 -专利权人：中国计量学院
申请日： 2016-02-03 - 公布日： 2016-08-24 - 主分类号： G01N25/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种基于静态法的手提式饱和蒸气压测量仪器，主要用于对测量获得样品的饱和蒸气压与温度的关系曲线。本实用新型包括真空测量室、温度控制系统、真空发生系统、真空测量系统，其利用真空发生系统获得真空环境，使用温度控制系统对测量腔体进行控温，配合真空测量系统获得饱和蒸气压，通过控制不同温度，测得真空环境下液体或固体样品的饱和蒸气压并拟合本实用新型用帕尔贴元件控温替代了传统水浴控温方法，使得仪器便于携带；并设计了宽范围真空测量系统，可以实现0.1Pa~100kPa宽范围、高精度的测量，能准确测量获得液体或固体样品饱和蒸气压与温度的关系曲线
基于静态手提式饱和蒸气测量仪器

[实用新型]一种放射性气溶胶采样及测量装置-CN201621004643.4有效
发明人：刘涛;张斌;杨彬华;邓云跃;赵锋涛;曾国强 -专利权人：中广核久源（成都）科技有限公司
申请日： 2016-08-30 - 公布日： 2017-03-15 - 主分类号： G01N33/00 文献下载
摘要：一种放射性气溶胶采样及测量装置，包括常规采样测量室及其下部腔体、直线运动机构、真空测量室及其下部腔体、滤纸走纸部件、采样泵和真空泵，常规采样测量室内安装有气体切割器、α探测器及测量系统，真空测量室内安装有α探测器及测量系统，常规采样测量室和真空测量室分别与直线运动机构固定连接，滤纸走纸部件由主动轮、从动轮、导向轮和计数轮组成，采样泵和真空泵分别安装在相对应的常规采样测量室下部腔体和真空测量室下部腔体的下方该装置向上移动可实现滤纸走纸，向下移动形成密闭环境实现气溶胶采集通路；真空测量室在真空泵的作用下产生真空环境，减小对α射线的衰减和拖尾、提高测量效率，降低本底干扰，并且能够给出精确的测量值。
一种放射性气溶胶采样测量装置

[发明专利]一种离子束刻蚀系统的真空测量工具的保护装置-CN201910469599.6有效
发明人：李娜;冯伟群;胡冬冬;程实然;陈兆超;侯永刚;王铖熠;许开东 -专利权人：江苏鲁汶仪器有限公司
申请日： 2019-05-31 - 公布日： 2021-07-27 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明公开了一种离子束刻蚀系统的真空测量工具的保护装置，所述离子束刻蚀系统包括反应腔体和用于测量反应腔体的内部真空度的真空测量工具，所述反应腔体壁上设置有通气接口，所述真空测量工具连接在通气接口上；所述保护装置包括塞在通气接口内的金属颗粒吸附块本发明通过金属颗粒吸附块和卡环，阻隔了固体颗粒和离子束经通气接口进入真空测量工具；卡环上设置有若干通气孔，保证真空测量工具和反应腔体通气。
一种离子束刻蚀系统真空测量工具保护装置

[实用新型]一种真空测量系统的吹扫装置-CN202120932641.6有效
发明人：吕奇;张兵;张作品 -专利权人：首钢京唐钢铁联合有限责任公司
申请日： 2021-04-30 - 公布日： 2021-12-17 - 主分类号： G01L21/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及冶金设备技术领域，尤其涉及一种真空测量系统的吹扫装置，包括：连接于真空主阀前端的第一真空管路，真空主阀设置于真空罐与真空泵之间的第一连接管路上，且真空主阀前端为靠近真空罐的一端，第一真空管路末端连接真空测量系统，第一连接管路上位于真空主阀前端设置有破空阀；第二连接管路，第二连接管路一端经过真空测量系统内部与第一真空管路末端连接；第二连接管路另一端设置有第一气动球阀和第一进气口，且第一进气口位于第二连接管路的外端，进而在同时开启破空阀和第一气动球阀时，能够在使真空罐破空的同时，使得真空测量系统内部管路的积灰沿着该第一真空管路吹回至真空罐内，达到对真空测量系统内部管路吹扫的目的。
一种真空测量系统装置

[实用新型]一种真空测量系统及晶体炉-CN202320986448.X有效
发明人：刘景峰 -专利权人：北京奇峰蓝达光学科技发展有限公司
申请日： 2023-04-27 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： G01L21/30 文献下载
摘要：本实用新型涉及晶体生产设备技术领域，公开了一种真空测量系统及晶体炉，所述真空测量系统包括电阻规管、电离规管以及抽真空管路，所述抽真空管路与炉体连通，还包括检测管路和第三阀门，所述电阻规管和电离规管均设置于检测管路上，所述检测管路与炉体之间设置有第三阀门，解决了现有的真空测量系统中更换电阻规管或电离规管的步骤复杂，会导致设备停机处理，不但耽误正常的晶体生长周期，同时造成经济损失的问题。本实用新型将真空测量系统与炉体隔离开来，从而使得更换电阻规管或电离规管时不需要降温停机处理，大大缩短了更换操作的时间，保证设备的稳定运行。
一种真空测量系统晶体

[发明专利]一种高温真空微动腐蚀磨损试验台-CN201510934494.5有效
发明人：肖华;程俊;朱家锋 -专利权人：济南益华摩擦学测试技术有限公司
申请日： 2015-12-15 - 公布日： 2016-03-02 - 主分类号： G01N3/56 文献下载
摘要：本发明公开了一种高温真空微动腐蚀磨损试验台，包括机架、伺服电机、位移调整装置、位移执行机构、摩擦力测量机构、摩擦副系统、试验力加载机构、铅铋合金腔体、循环水路、真空系统，所述的真空系统设置在位移执行机构、摩擦力测量机构及试验力加载装置的内部，真空系统包括熔融腔体和真空测试腔体，真空测试腔体外壁焊接有循环水路，真空测试腔腔体上还设置有可向真空测试腔腔体内充入保护气体的充气阀门，熔炉腔体和真空测试腔体共用一套真空抽气装置且连接有附带加热装置的管道系统
一种高温真空微动腐蚀磨损试验台

[实用新型]一种高温真空微动腐蚀磨损试验台-CN201521047438.1有效
发明人：肖华;程俊;朱家锋 -专利权人：济南益华摩擦学测试技术有限公司
申请日： 2015-12-15 - 公布日： 2016-06-01 - 主分类号： G01N3/56 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种高温真空微动腐蚀磨损试验台，包括机架、伺服电机、位移调整装置、位移执行机构、摩擦力测量机构、摩擦副系统、试验力加载机构、铅铋合金腔体、循环水路、真空系统，所述的真空系统设置在位移执行机构、摩擦力测量机构及试验力加载装置的内部，真空系统包括熔融腔体和真空测试腔体，真空测试腔体腔体外壁焊接有循环水路，真空测试腔腔体上还设置有可向真空测试腔腔体内充入保护气体的充气阀门，熔炉腔体和真空测试腔体共用一套真空抽气装置且连接有附带加热装置的管道系统
一种高温真空微动腐蚀磨损试验台

[发明专利]真空测量装置及深冷液体储运系统-CN201810373373.1在审
发明人：黄政贤;费锦华;卢海;熊珍艳;胡海滨;何远新;吕长乐;黄春雨 -专利权人：中车长江车辆有限公司
申请日： 2018-04-24 - 公布日： 2018-09-21 - 主分类号： F17C1/12 文献下载
摘要：本发明涉及真空测量装置及深冷液体储运系统，包括：组合真空规管、真空阀、过渡接头及真空测量仪，组合真空规管内部设置有热偶规及热阴极电离规；真空阀的一端与组合真空规管密封连接，另一端与过渡接头的一端密封连接；过渡接头的另一端伸入待测设备的真空腔室，并与待测设备密封固定，使真空腔室与真空阀及组合真空规管能形成通路；真空测量仪与组合真空规管连通，并与热偶规及热阴极电离规电性连接。该深冷液体储运系统包括真空测量装置及深冷液体储运设备，过渡接头的另一端伸入深冷液体储运设备的真空腔室，能进行高真空度区段的测量，能对深冷液体储运设备的真空度进行全程测量及真空失效预判。
深冷液体真空规管过渡接头真空测量装置储运设备储运系统真空腔室真空阀热阴极电离规真空测量仪待测设备热偶规伸入测量电性连接高真空度密封固定密封连接内部设置一端密封预判连通全程

[实用新型]真空测量装置及深冷液体储运系统-CN201820591825.9有效
发明人：黄政贤;费锦华;卢海;熊珍艳;胡海滨;何远新;吕长乐;黄春雨 -专利权人：中车长江车辆有限公司
申请日： 2018-04-24 - 公布日： 2018-12-25 - 主分类号： F17C1/12 文献下载
摘要：本实用新型涉及真空测量装置及深冷液体储运系统，包括：组合真空规管、真空阀、过渡接头及真空测量仪，组合真空规管内部设置有热偶规及热阴极电离规；真空阀的一端与组合真空规管密封连接，另一端与过渡接头的一端密封连接；过渡接头的另一端伸入待测设备的真空腔室，并与待测设备密封固定，使真空腔室与真空阀及组合真空规管能形成通路；真空测量仪与组合真空规管连通，并与热偶规及热阴极电离规电性连接。该深冷液体储运系统包括真空测量装置及深冷液体储运设备，过渡接头的另一端伸入深冷液体储运设备的真空腔室，能进行高真空度区段的测量，能对深冷液体储运设备的真空度进行全程测量及真空失效预判。
深冷液体真空规管过渡接头真空测量装置储运设备储运系统真空腔室真空阀热阴极电离规真空测量仪待测设备热偶规伸入测量本实用新型电性连接高真空度密封固定密封连接内部设置一端密封预判连通全程

[发明专利]一种火星表面环境模拟试验装置及方法-CN201810107763.4在审
发明人：王亚军;赛建刚;赵燕;高斌;赵建科;周艳;高博;张海民;段炯;韩磊;贾琦;赵越;孟宁飞;于攀龙;延星星 -专利权人：中国科学院西安光学精密机械研究所
申请日： 2018-02-02 - 公布日： 2018-06-22 - 主分类号： G01M99/00 文献下载
摘要：火星表面环境模拟试验装置，包括真空罐体、抽真空系统、真空测量系统、温度调节系统和二氧化碳注入系统；抽真空系统、真空测量系统和温度调节系统分别与真空罐体连接；真空罐体内设有热沉；温度调节系统包括加热系统和降温系统；抽真空系统用于降低或升高真空罐体内的压力；真空测量系统用于测量真空罐体内部压力；降温系统用于对真空罐体内部进行降温，加热系统位于真空罐体内，用于对被测产品进行加热。
火星表面环境模拟试验装置真空罐体温度调节系统真空测量系统抽真空系统加热系统降温系统真空罐体内测试技术领域二氧化碳环境罐体内部压力被测产品测量真空航天设备性能测试注入系统二氧化碳热沉加热火星升高

[实用新型]一种火星表面环境模拟试验装置-CN201820191672.9有效
发明人：王亚军;赛建刚;赵燕;高斌;赵建科;周艳;高博;张海民;段炯;韩磊;贾琦;赵越;孟宁飞;于攀龙;延星星 -专利权人：中国科学院西安光学精密机械研究所
申请日： 2018-02-02 - 公布日： 2018-09-21 - 主分类号： G01M99/00 文献下载
摘要：火星表面环境模拟试验装置，包括真空罐体、抽真空系统、真空测量系统、温度调节系统和二氧化碳注入系统；抽真空系统、真空测量系统和温度调节系统分别与真空罐体连接；真空罐体内设有热沉；温度调节系统包括加热系统和降温系统；抽真空系统用于降低或升高真空罐体内的压力；真空测量系统用于测量真空罐体内部压力；降温系统用于对真空罐体内部进行降温，加热系统位于真空罐体内，用于对被测产品进行加热。
火星表面环境模拟试验装置真空罐体温度调节系统真空测量系统抽真空系统本实用新型加热系统降温系统真空罐体内测试技术领域二氧化碳环境罐体内部压力被测产品测量真空航天设备性能测试注入系统二氧化碳热沉加热火星升高

[实用新型]一种低真空压力测试平台-CN202020277408.4有效
发明人：刘飞翔 -专利权人：湖南博云新材料股份有限公司
申请日： 2020-03-09 - 公布日： 2020-10-02 - 主分类号： G01L21/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种低真空压力测试平台，包括真空测量腔体、设于所述真空测量腔体的真空压力表和连接于所述真空测量腔体的测量管道，所述测量管道设有用以连接待检测真空动力源的第一连接口，还包括连通所述真空测量腔体、用以向所述真空测量腔体输送气体的气体流量检测装置。本实用新型所提供的低真空压力测试平台能够提高真空动力源性能检测的效率和便利性，同时不影响生产设备的正常运行。
一种真空压力测试平台

[实用新型]一种秸秆真空传递性能测试装置及系统-CN201621363252.1有效
发明人：徐桂中;王圣萍;曹玉鹏 -专利权人：盐城工学院
申请日： 2016-12-12 - 公布日： 2017-08-04 - 主分类号： G01N9/36 文献下载
摘要：一种秸秆真空传递性能测试装置及系统，涉及材料性能测试领域。测试装置包括壳体、秸秆排水体、抽真空系统和第一真空测量系统。壳体中的第一底座和第二底座分别与侧板连接，构成密闭的秸秆室。第一真空测量系统的第一管道的一端伸入到容置腔内，另一端设置第一真空测量装置。抽真空系统的第二管道的一端伸入到容置腔内，另一端设置抽真空装置和第二真空测量装置，且设置有第一阀门。通过该装置可以测试秸秆在真空负压状态下的真空传递性能。秸秆真空传递性能测试系统包括真空传递性能测试装置，其能够实现自动化测试秸秆的真空传递性能。
一种秸秆真空传递性能测试装置系统

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