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[实用新型]一种大直径金属波纹管组件用氦质谱检漏试验装置-CN202021092597.4有效
发明人：于翔麟;王涛;宋林红;张秀华;张文良;张大林;冯峰;关长江;王雪;杨志新;赫斌;李敏;刘满;黄伟昌;李世春;赵健 -专利权人：沈阳仪表科学研究院有限公司
申请日： 2020-06-15 - 公布日： 2021-03-23 - 主分类号： G01M3/22 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种大直径金属波纹管组件用氦质谱检漏试验装置，包括波纹管，波纹管上下两侧分别焊接有接管法兰和槽型法兰，波纹管一侧依次设置有支撑板和真空橡胶，支撑板下端与槽型法兰上端点焊接，真空橡胶上端紧贴接管法兰内壁，下端紧贴槽型法兰内壁，中部贴靠在支撑板表面，真空橡胶与接管法兰接触的顶部及真空橡胶与槽型法兰接触的底部均涂抹有真空酯，接管法兰上端设置有槽型聚氨酯环，槽型法兰内部固定有聚氨酯环；优点是可根据不同的波纹管组件规格，只需要增加真空橡胶的长度即可完成氦质谱检漏试验，同样适用于更大直径波纹管组件的氦质谱检漏试验，从而满足第四代核电用大直径金属波纹管组件氦质谱检漏试验的检测要求。
一种直径金属波纹管组件用氦质谱检漏试验装置

[发明专利]一种用于飞机大部件机器人自动铣削的柔性夹持机构-CN201710056547.7有效
发明人：万禧福;高金刚;汤统国;张军辉 -专利权人：上海昂恒航空自动化装备有限公司
申请日： 2017-01-25 - 公布日： 2018-07-24 - 主分类号： B23Q3/00 文献下载
摘要：本发明为一种用于飞机大部件机器人自动铣削的柔性夹持机构，其特征在于：所述的自动铣削柔性夹持机构直接与机器人机械臂上的法兰盘连接，其结构包括连接法兰板、直线引动器、伺服电机、移动连接板、真空吸盘、真空发生器和真空度检测仪；所述的连接法兰板由两连接面组成，一连接面设有与机器人机械臂上的法兰盘直接连接的法兰盘，另一连接面设有六套可伸缩式真空吸附装置，所述连接法兰板的两连接面呈45度夹角，避免夹持时与工件发生干涉，所述的可伸缩式真空吸附装置包括直线引动器、伺服电机、移动连接板和真空吸盘，所述的六套可伸缩式真空吸附装置均布在连接法兰板上，所述的真空吸盘为专用吸盘，真空吸盘周围带有八个弹性杆。
一种用于飞机部件机器人自动铣削柔性夹持机构

[发明专利]真空室高压电源引入装置-CN201910738230.0在审
发明人：张宇蔚;陈龙飞 -专利权人：无锡爱邦辐射技术有限公司
申请日： 2019-08-23 - 公布日： 2019-11-29 - 主分类号： H05H7/14 文献下载
摘要：本发明涉及一种真空室高压电源引入装置。它包括真空室，真空室的墙壁上有安装孔，安装孔内有第一绝缘法兰，第一绝缘法兰内有高压套管。高压套管的两端分别伸入真空室和真空室之外，高压套管两端内分别有第二绝缘法兰和定位法兰。第二绝缘法兰和定位法兰上均有两个通孔，高压套管内有两个电极。两个电极的里端分别穿过第二绝缘法兰上的两个通孔后伸出在第二绝缘法兰内侧，两个电极的外端分别穿过定位法兰上的两个通孔后伸出在定位法兰的外侧.其特点是第一绝缘法兰的两面均为波浪形，第一绝缘法兰两侧的高压套管上均套有屏蔽环适用于真空室的高压电源引入。
绝缘法兰真空室高压套管定位法兰电极通孔电子加速器高压电源安装孔穿过伸出引入装置波浪形屏蔽环里端伸入外端墙壁引入

[实用新型]真空室高压电源引入装置-CN201921376378.6有效
发明人：张宇蔚;陈龙飞 -专利权人：无锡爱邦辐射技术有限公司
申请日： 2019-08-23 - 公布日： 2020-06-30 - 主分类号： H05H7/14 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种真空室高压电源引入装置。它包括真空室，真空室的墙壁上有安装孔，安装孔内有第一绝缘法兰，第一绝缘法兰内有高压套管。高压套管的两端分别伸入真空室和真空室之外，高压套管两端内分别有第二绝缘法兰和定位法兰。第二绝缘法兰和定位法兰上均有两个通孔，高压套管内有两个电极。两个电极的里端分别穿过第二绝缘法兰上的两个通孔后伸出在第二绝缘法兰内侧，两个电极的外端分别穿过定位法兰上的两个通孔后伸出在定位法兰的外侧.其特点是第一绝缘法兰的两面均为波浪形，第一绝缘法兰两侧的高压套管上均套有屏蔽环适用于真空室的高压电源引入。
真空高压电源引入装置

[发明专利]一种新型真空专用引线插头-CN201410369390.X在审
发明人：陈生贩;江裕捺;陈生镇;田晓东 -专利权人：上海宝镀真空设备科技有限公司
申请日： 2014-07-31 - 公布日： 2014-10-08 - 主分类号： H01R24/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种新型真空专用引线插头，包括细铜轴、上接头电缆、上接头真空法兰、下接头真空法兰、细铜轴连接套、下接头电缆、下连接紧固件、卡箍和上连接紧固件，所述细铜轴上套有细铜轴连接套，所述上接头电缆设置在上接头的上端，所述上接头真空法兰上固定有上连接紧固件，所述下接头电缆固定在下接头上，所述下连接紧固件一端固定在下接头真空法兰上，所述卡箍固定在上连接紧固件上。本发明真空接头用防高温固体胶将导电细铜轴固定，端面做成密封法兰，运用真空快卸法兰进行紧定，接头外壳采用抗干扰金属壳，达到了抗干扰的目的。提高了电信号引入真空舱体的可靠性。
一种新型真空专用引线插头

[发明专利]一种原位形貌和光学性能监控蒸发源及真空沉积设备-CN201410070043.7有效
发明人：迟力峰;王文冲 -专利权人：苏州大学
申请日： 2014-02-27 - 公布日： 2014-05-21 - 主分类号： C23C14/52 文献下载
摘要：本发明涉及一种原位形貌和光学性能监控蒸发源，它包括真空法兰、支撑于所述真空法兰任一侧面上的热屏蔽组件、嵌设于所述热屏蔽组件远离真空法兰一端的加热组件、内置于所述加热组件内的材料容器、安装于所述材料容器附近用于测量其温度的温度测量组件、分别与所述加热组件和温度测量组件相电连接且安装于真空法兰上的真空电连接器、与所述真空电连接器相连接的控制电源，所述的蒸发源还包括安装于热屏蔽组件内的显微镜，所述的真空法兰上设有与显微镜位置相对的观察窗口通过在热屏蔽组件内设置显微镜并且真空法兰上设有与显微镜位置相对的观察窗口，能够在沉积蒸发材料的同时实时监控沉积材料在衬底表面形貌和光学性能。
一种原位形貌光学性能监控蒸发真空沉积设备

[发明专利]一种真空断路本体-CN201110188069.8无效
发明人：陈敏杰;巨豆方;徐超 -专利权人：江苏省如高高压电器有限公司
申请日： 2011-07-06 - 公布日： 2011-12-21 - 主分类号： H01H33/66 文献下载
摘要：本发明涉及一种真空断路本体，包括绝缘套管，分别设在绝缘套管上端和下部的上法兰和下法兰，以及内置于绝缘套管顶部的真空灭弧室，真空灭弧室的动触杆向下伸出真空灭弧室壳体，其创新点在于：所述真空灭弧室下方的设置有一穿过下法兰的拉杆，该拉杆有上部导电拉杆和下部绝缘拉杆组成，所述导电拉杆的顶端与真空灭弧室的动触杆连接固定，导电拉杆的杆体与下法兰滑动配合，绝缘拉杆下端与操动机构连接。导电拉杆的顶端与真空灭弧室的动触杆连接固定，中部杆体与下法兰滑动配合，来实现真空灭弧室分、合闸时的上、下法兰电流导通，可取消原有的铜质导电套管，降低了制作成本。
一种真空断路本体

[实用新型]高真空高低温环境真空隔振平台-CN201721898137.9有效
发明人：戴建新;戴科晨;沈丽娟;王燕 -专利权人：常熟市虞华真空设备科技有限公司
申请日： 2017-12-29 - 公布日： 2018-09-28 - 主分类号： B01L1/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种高真空高低温环境真空隔振平台，包括真空实验箱体和工件平台，所述真空实验箱体设有支撑法兰，所述工件平台设置在真空实验箱体内由平台立柱支撑，所述平台立柱穿过支撑法兰与隔振地基连接，所述平台立柱通过隔振组件与所述支撑法兰固定连接，所述隔振组件包括波纹管，所述波纹管上端与所述支撑法兰固定密封连接，所述波纹管下端与平台立柱固定密封连接。该真空隔振平台可有效减少由真空室引起的工件平台振动，并减少真空室的漏热问题。
平台立柱支撑法兰隔振平台工件平台真空实验波纹管隔振固定密封连接高低温环境高真空真空室本实用新型有效减少组件包括上端漏热下端地基穿过支撑

[发明专利]一种超高真空束源炉坩埚除气装置-CN202010448802.4在审
发明人：陈建新;金博睿;徐志成 -专利权人：中国科学院上海技术物理研究所
申请日： 2020-05-25 - 公布日： 2020-08-14 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种超高真空束源炉坩埚除气装置，该装置包括：在真空腔室上通过第一刀口法兰与真空规管上的第五刀口法兰连接，通过第二刀口法兰与闸板阀上的第六刀口法兰连接，通过第三和第四刀口法兰分别安装2台束源炉上的第九刀口法兰连接在闸板阀上通过第七刀口法兰与真空泵上的第八刀口法兰连接。该装置结构简单，在暴露大气后能快速恢复到超高真空度，束源炉装卸简单，极大地提高了束源炉坩埚除气的工作效率。
一种超高真空束源炉坩埚装置

[实用新型]用于生产海绵钛的补偿器-CN201420644436.X有效
发明人：李保金;何艳华;吴志勇;陈天红;车跃;杨易邦 -专利权人：云南新立有色金属有限公司
申请日： 2014-10-31 - 公布日： 2015-03-18 - 主分类号： C22B34/12 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于生产海绵钛的补偿器，包括波纹管、端面连接板、第一法兰及第二法兰。端面连接板固定连接在波纹管的一端。第一法兰活动套设在波纹管与端面连接板之间，第一法兰用于与蒸馏装置的蒸馏法兰连接。第二法兰固定连接在波纹管的另一端，第二法兰用于与真空管道的真空法兰连接。如此，波纹管可有效地对真空管道的振动进行缓冲，使振动强度大大降低。补偿器可弯曲、拉直，属于“软连接”，对比传统的“硬连接”，易于组装，大大地降低了劳动强度。补偿器补偿了真空管道的热变形，使得真空管道不易损坏。
用于生产海绵补偿

[实用新型]一种真空精炼炉浸渍管法兰的风冷装置-CN202021433589.1有效
发明人：金鹏;赵洪波;许助立 -专利权人：中钢洛耐科技股份有限公司
申请日： 2020-07-21 - 公布日： 2021-03-16 - 主分类号： C21C7/10 文献下载
摘要：本实用新型属于RH真空精炼炉浸渍管法兰的冷却技术领域，本实用新型公开了一种真空精炼炉浸渍管法兰的风冷装置，所述真空精炼炉本体的周向固定设置有钢本体；所述挡渣板固定设置在法兰的下部位置；所述法兰为圆环状，法兰固定设置在钢本体的外壁上；所述浸渍管固定设置在真空精炼炉本体的内部下部的左右两侧位置；风冷装置固定设置在法兰的下部位置。该实用新型大大降低了真空精炼炉浸渍管法兰处的温度，有效杜绝了浸渍管法兰的受热变形，从而提高了浸渍管的使用寿命，同时杜绝了因水冷管泄漏造成爆炸事故。
一种真空精炼炉浸渍法兰风冷装置

[实用新型]超高真空束源炉坩埚除气装置-CN202020892165.5有效
发明人：陈建新;金博睿;徐志成 -专利权人：中国科学院上海技术物理研究所
申请日： 2020-05-25 - 公布日： 2021-02-12 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本专利公开了一种超高真空束源炉坩埚除气装置，该装置包括：在真空腔室上通过第一刀口法兰与真空规管上的第五刀口法兰连接，通过第二刀口法兰与闸板阀上的第六刀口法兰连接，通过第三和第四刀口法兰分别安装2台束源炉上的第九刀口法兰连接在闸板阀上通过第七刀口法兰与真空泵上的第八刀口法兰连接。该装置结构简单，在暴露大气后能快速恢复到超高真空度，束源炉装卸简单，极大地提高了束源炉坩埚除气的工作效率。
超高真空束源炉坩埚装置

[实用新型]真空密封法兰及真空设备-CN202320387474.0有效
发明人：张国久;闫宁宁;李伟 -专利权人：三一硅能（株洲）有限公司
申请日： 2023-03-03 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： F16L23/16 文献下载
摘要：本实用新型涉及真空设备领域，提供一种真空密封法兰及真空设备，包括：法兰本体，贯通设置在腔体壁上；密封件，设置在法兰本体的大气侧，且密封件设置在法兰本体与腔体壁之间；固定件，设置在法兰本体的大气侧，固定件用于将法兰本体与腔体壁固定连接如此设置，在大气侧的法兰本体和腔体壁之间安装密封件，密封连接面设置在大气侧，抽真空时可以利用大气压力挤压密封，随着真空度的提高，其密封性能越好。同时密封在大气侧安装，在不拆除内部设备和法兰本体的情况下就可以随时修复维护密封结构，极大地提高了可维护性。
真空密封法兰真空设备

[实用新型]真空切换阀、大气切换阀以及带有它们的真空排液罐-CN200820166330.8无效
发明人：林明辉;周志诚;巫铁灵;罗嗣荣;段金顺;张祝朋;李东 -专利权人：湖州核华机械有限公司
申请日： 2008-10-18 - 公布日： 2009-09-02 - 主分类号： B01D33/74 文献下载
摘要：本实用新型涉及真空过滤机技术领域，特别是一种真空排液罐的真空切换阀、大气切换阀以及带有它们的真空排液罐。它包括气缸，空心圆柱状的阀体，固定阀体、气缸的上法兰、中间法兰和下法兰，以及连接上法兰、中间法兰和下法兰的双头螺柱；气缸中设置有一连接有活塞杆的活塞，活塞将气缸分隔成上缸和下缸，上缸和下缸分别设有用于联通外部压缩气源的气孔；活塞杆的一端密封伸出气缸的下缸并伸入阀体内和阀体内可密封下法兰之接口的密封盖固连；下法兰之接口与真空排液罐罐体的下腔相通；本实用新型的防腐性能较为突出。
真空切换大气以及带有它们排液罐

[实用新型]超高真空角度调整器-CN200920011037.9有效
发明人：郭方准 -专利权人：大连齐维科技发展有限公司
申请日： 2009-02-27 - 公布日： 2010-01-20 - 主分类号： F16L23/026 文献下载
摘要：本实用新型涉及真空设备。超高真空角度调整器，由上法兰与下法兰焊接波纹管构成，上法兰与下法兰之间装有三个角度调整杆。本实用新型角度上法兰和下法兰之间由波纹管密封连接，波纹管放出气体少，活动自由，法兰之间三根调整螺杆，既达到了稳定平衡的目的，又可用来实现角度调整。通过调整三根螺杆中的任意一根的调整螺母位置，由于三点确定一平面，则法兰面的角度自然会倾斜。通过超高真空角度调整器的偏转角度，达到调整超高真空连接端面的目的。
超高真空角度调整器

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