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[实用新型]真空干燥罐的冷凝装置-CN201320051667.5有效
发明人：常艳刚;张贵德;王洪峰;孙金昌;刘杰 -专利权人：沈阳拓达真空设备有限公司
申请日： 2013-01-30 - 公布日： 2013-07-10 - 主分类号： F26B25/00 文献下载
摘要：真空干燥罐的冷凝装置，属于冷凝装置技术领域。它包括水箱、冷凝器、储水罐、过滤器、罗茨泵、挡板阀、排气管道，所述的排气管道分为上排气管道、下排气管道和细排气管道，罗茨泵上方真空口通过上排气管道与冷凝器相连，下方真空口通过下排气管道与旋片泵的真空口相连，旋片泵与过滤器相连，细排气管道连接在上排气管道与下排气管道之间，在下排气管道和细排气管道上均安装有气动阀门。本实用新型将冷凝器与真空泵之间的排气管道设置成不同粗细的管道，操作人员可以根据需要在上排气管道和细排气管道之间进行切换，以改变抽气的速度，进而改变气体在冷凝器中的停留时间，既能获得良好的冷凝效果又能使干燥罐达到合格的真空度
真空干燥冷凝装置

[实用新型]一种新型真空室装置-CN200720199390.5无效
发明人：田须然;胡松林;王培武;刘红兵 -专利权人：上海金发科技发展有限公司;广州金发科技股份有限公司
申请日： 2007-12-18 - 公布日： 2008-10-29 - 主分类号： B29C47/76 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于真空脱挥的新型真空室装置，它包括真空室主体(1)和排气管道(2)，排气管道固定于真空室主体的侧面，所述排气管道为倾斜状，连接到真空室主体的排气管道固定端(21)位置高于排气管道游离端(22)，且排气管道与水平面成5°－70°夹角。由于真空室主体侧面的排气管道呈倾斜状，与水平面有一定的角度，使真空脱挥后冷凝的液体更容易通过排气管道排出，避免了液体回流入螺筒，能有效防止液体积聚回流，因此对产品质量和颜色的稳定有明显的作用。
一种新型真空装置

[实用新型]一种加工无极灯用的真空排气管道-CN201120565456.4有效
发明人：王爱群;梁子龙 -专利权人：上海奥加企业发展有限公司
申请日： 2011-12-29 - 公布日： 2012-08-29 - 主分类号： H01J9/385 文献下载
摘要：本实用新型涉及机械技术领域，具体地说是一种加工无极灯用的真空排气管道。一种加工无极灯用的真空排气管道，包括玻璃排气管、支架、真空泵，其特征在于：支架的上方设有玻璃排气管，支架的下方设有真空泵，玻璃排气管通过管道贯穿支架与真空泵连接；所述的玻璃排气管上设有若干排气管路。同现有技术相比，在原来玻璃排气管上增设若干管路，使的一根玻璃排气管上同时针对若干个灯管进行真空排气，这样大大提供了生产效率。
一种加工无极真空排气管道

[实用新型]一种新型单晶炉用排气管道系统-CN202223021679.1有效
发明人：张国华;李广敏;张华芹;姚伟 -专利权人：上海韵申新能源科技有限公司
申请日： 2022-11-11 - 公布日： 2023-03-31 - 主分类号： C30B27/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种新型单晶炉用排气管道系统，包括与单晶炉底连接的转接管，还包括排气管道和抽真空装置，抽真空装置包括软管和干泵，软管的一端与排气管道固定连接，另一端与干泵固定连接，排气管道与转接管连接，排气管道上设有漏流检测装置；单晶炉内气体从单晶炉底被吸出，气体经过排气管道、软管后从干泵排出从而完成抽真空。本实用新型提供的新型单晶炉用排气管道系统，采用“干泵+排气管道”的工作方式，不会造成工艺污染，安装方便，无介质泄露风险；通过调节干泵电源频率来调整抽真空功率，取消调节阀，节省成本，抽真空功率精准度更高；通过在排气管道上安装温度报警器，监测排气管内的温度，并对是否有硅液漏流进行有效监测。
一种新型单晶炉用排气管道系统

[实用新型]一种真空泵排气管道气液分离装置-CN201420067377.4有效
发明人：张金才;侯新;骆有发 -专利权人：北京矿冶研究总院;青铜峡铝业股份有限公司
申请日： 2014-02-14 - 公布日： 2014-09-10 - 主分类号： F04D29/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种气液分离装置，尤其涉及一种用于真空泵排气管道的气液分离装置。所述真空泵排气管道气液分离装置，包括排气管道、分离腔、阻挡件，所述阻挡件包括支撑柱和顶盖，所述顶盖位于排气管道的上方，且与排气管道之间设有一定距离，所述支撑柱一端与顶盖固定连接，另一端与排气管道固定连接，所述分离腔设置于所述阻挡件的外侧，且与排气管道密封连接，在分离腔的上壁设有排气口，下壁设有排水口。本实用新型的真空泵排气管道气液分离装置安装在真空泵的排气管道尾部，利用阻挡件在分离腔中阻挡气液混合物，把气液分离后分别排出，保障工作现场环境和设备安全，且结构简单，使用方便。
一种真空泵排气管道分离装置

[发明专利]一种真空泵抽气量测量系统、真空泵以及真空系统-CN201810570346.3在审
发明人：张鸿泉;李明;张盼;祁超;庞永超 -专利权人：润电能源科学技术有限公司
申请日： 2018-06-05 - 公布日： 2018-09-28 - 主分类号： G01F1/36 文献下载
摘要：本申请提供了一种真空泵抽气量测量系统、真空泵以及真空系统，用于可现场方便且准确地测量真空泵抽气量。本申请提供的真空泵抽气量测量系统，包括真空泵的排气管道、测量管道以及气体流量计；测量管道从排气管道引出，排气管道在测量管道的接口位置之后设有第一阀门，测量管道设有第二阀门，测量管道在第二阀门之后设有气体流量计，通过在真空泵的排气管道上引出测量管道，以及调整排气管道上第一阀门以及测量管道上第二阀门的通断状态，在测量管道由气体流量计进行真空泵抽气量的测量，该设置不仅可保证真空泵的正常排气，避免现有技术中排气管道阻力大和堵塞的风险
测量管道排气管道真空泵抽气量真空泵阀门气体流量计测量系统真空系统测量测量精度高接口位置经济成本人工操作通断状态排气申请堵塞保证

[实用新型]一种真空泵抽气量测量系统、真空泵以及真空系统-CN201820862534.9有效
发明人：张鸿泉;李明;张盼;祁超;庞永超 -专利权人：润电能源科学技术有限公司
申请日： 2018-06-05 - 公布日： 2019-02-12 - 主分类号： G01F1/36 文献下载
摘要：本申请提供了一种真空泵抽气量测量系统、真空泵以及真空系统，用于可现场方便且准确地测量真空泵抽气量。本申请提供的真空泵抽气量测量系统，包括真空泵的排气管道、测量管道以及气体流量计；测量管道从排气管道引出，排气管道在测量管道的接口位置之后设有第一阀门，测量管道设有第二阀门，测量管道在第二阀门之后设有气体流量计，通过在真空泵的排气管道上引出测量管道，以及调整排气管道上第一阀门以及测量管道上第二阀门的通断状态，在测量管道由气体流量计进行真空泵抽气量的测量，该设置不仅可保证真空泵的正常排气，避免现有技术中排气管道阻力大和堵塞的风险
测量管道排气管道真空泵抽气量真空泵阀门气体流量计测量系统真空系统测量测量精度高接口位置经济成本人工操作通断状态排气申请堵塞保证

[实用新型]油泵排气系统-CN201420649019.4有效
发明人：王开军;吴耀辉 -专利权人：苏州同冠微电子有限公司
申请日： 2014-11-03 - 公布日： 2015-05-13 - 主分类号： F04B37/14 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种油泵排气系统。油泵排气系统包括真空抽气管道、真空油泵、排气管道、冷凝装置和废液收集器，所述真空油泵具有进气口和排气口，真空抽气管道与进气口连接，排气管道的一端与排气口连接，排气管道的另一端与冷凝装置连接，废液收集器上具有进液口本实用新型在真空油泵所连接的排气管道末端加装冷凝装置和废液收集器，将混合废气冷却液化变成带腐蚀性的油态液体，回流进入废液收集器中集中排放，使废气不会凝结在排气管道中腐蚀排气管道，也不会回流进入油泵引起损坏
油泵排气系统

[发明专利]一种五管PECVD设备的真空排气系统-CN201711385245.0有效
发明人：王锦 -专利权人：湖南红太阳光电科技有限公司
申请日： 2017-12-20 - 公布日： 2020-02-07 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：本发明公开了一种五管PECVD设备的真空排气系统，包括真空管道组件和排气组件，真空管道组件包括五根真空管道，真空管道一端与五管PECVD设备的反应室的反应室连接管道相连，另一端与外部真空泵相连，排气组件包括五根排气管道，每根排气管道通过连接接头与反应室连接管道，排气管道上设有串联的单向阀和控制阀，单向阀用于使气体从反应室连接管道通入排气管道，控制阀用于控制排气管道的通断。本发明中当通入氮气过多导致反应室压力超过常压时，氮气通过排气管道输出，与外部的排气系统汇合后排出，当泵发生故障时，反应室内和真空管道内的气体也可以通过排气组件排出，单向阀可避免了外界空气流向反应室。
排气管道真空管道反应室连接管道排气组件单向阀氮气真空排气系统控制阀反应室压力发生故障控制排气连接接头排气系统外界空气组件包括真空泵外部常压排出通断后排汇合串联室内输出

[实用新型]沉积成膜装置-CN201721928073.2有效
发明人：谢志强;任思雨;苏君海;李建华 -专利权人：信利（惠州）智能显示有限公司
申请日： 2017-12-29 - 公布日： 2018-08-07 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：上述的沉积成膜装置包括成膜腔室、主排气管道与前级真空计；沉积成膜装置还包括旁路排气管道与粒子计数装置；主排气管道设置真空阀与蝶阀，主排气管道的一端与成膜腔室连通，主排气管道的另一端设置连接位，连接位用于连接干式真空泵；旁路排气管道设置旁路排气阀，旁路排气管道的一端与成膜腔室连通且设置于成膜腔室的底部，旁路排气管道的另一端连接主排气管道，且旁路排气管道的另一端位于蝶阀与连接位之间；上述的沉积成膜装置提高了整个成膜腔室的洁净度
成膜腔旁路主排气管道成膜装置排气管道沉积连接位洁净度蝶阀连通粒子计数装置本实用新型干式真空泵生产效率一端连接一端设置良品率排气阀真空阀真空计成膜可控前级保证

[发明专利]排气抽真空一体装置、系统及其方法-CN202110598813.5在审
发明人：钟锋;李炬球;谭锦堂;程明彬;杨耀威;陈锦权 -专利权人：钟锋
申请日： 2021-05-31 - 公布日： 2021-07-27 - 主分类号： F17C7/00 文献下载
摘要：本发明公开了排气抽真空一体装置、系统及其方法，装置包括主管道，主管道的一端用于连接钢瓶，主管道的另一端至少分支出有排气管道和抽真空管道，排气管道内设置有单向止回阀，排气管道的出气口用于连接排气机，抽真空管道内设置有抽真空控制阀，抽真空管道出气口用于连接抽真空机，在压力相同的所述主管道、排气管道或两者的旁路管道内设置有阀门控制装置。排气抽真空一体装置可以实现在气密试验后的排气及抽真空只需安装一次排气阀，由装置实现排气及抽真空的自动切换，操作简单方便，提升操作效率，系统可以整体搬迁使用，方法简单实用，实现了很好的排气抽真空效果。
排气真空一体装置系统及其方法

[实用新型]一种真空泵排气管道气液分离装置-CN201220593990.0有效
发明人：赵杰;武海海;席玉明 -专利权人：太原钢铁（集团）有限公司
申请日： 2012-11-13 - 公布日： 2013-05-22 - 主分类号： F04C29/00 文献下载
摘要：本实用新型公开一种真空泵排气管道气液分离装置，包括排气管道，其特征在于：在真空泵出口处设有一个方形密闭罐，真空泵排气管道从密闭罐的中部通入，密闭罐上端设有排气出口管，下端设有排水出口管，排水出口管与循环水箱相连接，排气出口管的直径大于真空泵排气管道的直径，真空泵排气管道的直径大于密闭罐排水出口管的直径。该装置采用密闭罐通过进出气口管道直径大小、高度落差来达到气液分离，并通过底部排液口将液体流入循环水箱进行再利用，节约能源减少外排，美化现场环境，减轻岗位工人的劳动强度。
一种真空泵排气管道分离装置

[发明专利]一种真空脱气系统-CN202110609004.X在审
发明人：郑善孔;郑善翔 -专利权人：上海勃俊自动化设备有限公司
申请日： 2021-06-01 - 公布日： 2021-07-30 - 主分类号： B65B31/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种真空脱气系统，包括前段排气料管和后段排气料管，其中，后段排气料管连通有第一排气管道和第二排气管道；第一排气管道和第二排气管道均连接有对应的真空仓，其中，真空仓连接有两个真空管道；两个真空管道的端部均安装有真空泵；释压阀和第四手动蝶阀上均安装有滤芯；第一排气管道上安装有第一气动蝶阀，第二排气管道上安装有第二气动蝶阀，其中，第一气动蝶阀通过第一电动阀连接有正压反吹罐；真空管道上安装有第三气动蝶阀。本发明可以对含气量大流动性好的超细粉进行处理，解决了包装困难的问题；灵活方便、效果好；可以精确控制管道负压的情况，可以适应更广泛种类的物料；智能化程度高，提高了便利度及效率。
一种真空脱气系统

[实用新型]一种真空脱气系统-CN202121208134.4有效
发明人：郑善孔;郑善翔 -专利权人：上海勃俊自动化设备有限公司
申请日： 2021-06-01 - 公布日： 2021-11-26 - 主分类号： B65B31/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种真空脱气系统，包括前段排气料管和后段排气料管，其中，后段排气料管连通有第一排气管道和第二排气管道；第一排气管道和第二排气管道均连接有对应的真空仓，其中，真空仓连接有两个真空管道；两个真空管道的端部均安装有真空泵；释压阀和第四手动蝶阀上均安装有滤芯；第一排气管道上安装有第一气动蝶阀，第二排气管道上安装有第二气动蝶阀，其中，第一气动蝶阀通过第一电动阀连接有正压反吹罐；真空管道上安装有第三气动蝶阀。本实用新型可以对含气量大流动性好的超细粉进行处理，解决了包装困难的问题；灵活方便、效果好；可以精确控制管道负压的情况，可以适应更广泛种类的物料；智能化程度高，提高了便利度及效率。
一种真空脱气系统

[发明专利]一种用于抛光设备的真空储水罐装置-CN202010056320.4在审
发明人：杨佳葳;王珲荣 -专利权人：宇晶机器（长沙）有限公司
申请日： 2020-01-18 - 公布日： 2020-05-12 - 主分类号： B24B29/00 文献下载
摘要：本发明公开的用于抛光设备的真空储水罐装置，包括排气管、压力表、过滤装置、真空吸气管、真空储水罐和排水管；过滤装置分别连接排气管和真空吸气管，过滤装置底部管道连接真空储水罐，真空储水罐另一端连接排水管，排气管与过滤装置之间设有压力表；排气管、真空吸气管、过滤装置与真空储水罐之间的连接管道上分别设有阀门；所述压力表与排气管之间还设有汽液分离装置。所述汽液分离装置包括过滤器和储水杯，过滤器设在排气管与压力管的连接管道上，储水杯设在过滤器下部。
一种用于抛光设备真空储水罐装

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