“真空室体”专利关键词查询_检索下载_查询列表_检索列表_行业专利分布_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果5729879个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[实用新型]一种高炉冲渣水余热回收装置-CN201620288455.2有效
发明人：吕亚鸣 -专利权人：吕亚鸣
申请日： 2016-04-08 - 公布日： 2016-08-31 - 主分类号： C21B3/08 文献下载
摘要：一种高炉冲渣水余热回收装置，包括过滤室筒体、真空换热室筒体、抽真空泵和底座，所述过滤室筒体位于真空换热室筒体的上端，过滤室筒体和真空换热室筒体之间通过过滤网隔开；真空换热室筒体上设置有抽真空口，抽真空泵通过真空管道和抽真空口连接真空换热室筒体内部本实用新型所述的高炉冲渣水余热回收装置，首先将冲渣水在经过平流式沉淀池后，进入本实用新型高炉冲渣水余热回收装置的过滤室筒体，通过过滤室筒体的多层过滤后，进一步净化了冲渣水，然后进入真空换热室筒体。针对冲渣水热量较低，容易热量流失的问题，本实用新型听过真空泵抽真空，将真空换热室处于真空状态，有效的对其进行保温。
一种高炉冲渣水余热回收装置

[实用新型]一种纯电动多功能真空室装置-CN202120179243.1有效
发明人：吴耿茂 -专利权人：泉州市友茗机械设备有限公司
申请日： 2021-01-22 - 公布日： 2021-11-16 - 主分类号： B65B31/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种纯电动多功能真空室装置，包括：安装架、真空室机构、泡袋整形机构和真空室弹性机构；真空室机构包括相互平行的第一真空室体和第二真空室体，均安装在安装架上，且相对一侧均开有凹腔；泡袋整形机构安装在第一真空室体和第二真空室体上；真空室弹性机构安装在安装架上，其移动端与第二真空室体的外壁固定；物料滑入泡袋整形机构的承载部件上，泡袋整形机构的移动部移动至合适位置，真空室弹性机构驱动第二真空室体向第一真空室体闭合，进行抽空和弹性封口操作
一种电动多功能真空装置

[实用新型]一种半膏体密封装置-CN201920697490.3有效
发明人：孙学军 -专利权人：山东小康机械有限公司
申请日： 2019-05-16 - 公布日： 2020-01-10 - 主分类号： F16J15/324 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种半膏体密封装置，包括真空室底座、真空室盖、真空室转臂、真空室转轴和半膏体密封机构，所述真空室底座顶部通过真空室转臂安装有真空室盖，在真空室底座前端面设有真空室，所述真空室通过两根真空室转轴安装在真空室底座上，所述真空室转轴的底部通过半膏体密封机构安装在真空室底座上。由于采用上述技术方案，本实用新型的有益效果为：本实用新型采用半膏体状润滑剂对真空室转轴与真空室之间在转动过程中产生的缝隙及时密封，不会产生漏气现象，由于半膏体状润滑剂为流体，因此可以实现动密封，密封效果更好
真空室真空室底座转轴本实用新型膏体密封机构真空室盖膏体状润滑剂转臂漏气现象密封效果转动过程动密封前端面消耗量流体生产成本密封节约

[发明专利]一种真空镀膜设备的门体结构-CN201310226359.6有效
发明人：董小虹;张中弦;梁航;黄拿灿 -专利权人：广东世创金属科技股份有限公司
申请日： 2013-06-07 - 公布日： 2019-02-05 - 主分类号： C23C14/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种镀膜设备的门体结构，其特征在于：包括真空室门体和真空室门盖，真空室门体与真空室腔体密封连接构成密封式具有筒状结构的真空室；在真空室腔体外表面设有真空室腔体盖，通过真空室门盖和真空室腔体盖将真空室整体围合，形成真空室围蔽结构；在真空窒门体的立面上设有一个或多个观察窗，在观察窗上面安装有摄像装置；在真空室门盖的立面上，安装有显示屏，供视频监控和工艺监控使用。本发明使用整体外盖围蔽结构，相当于形成双层门体结构，使真空室腔体和真空室门体的立面方便布置及隐藏管线，整体外观整齐、简洁，通过观察窗，进行实时监控和记录真空室内部的工作状况，实现自动监控的目的，并具有通用性好
一种真空镀膜设备新型结构

[发明专利]用于真空物理蒸汽沉积的成形阳极和阳极护罩连接-CN200980149159.7有效
发明人：李有明;杰弗里·比克迈尔 -专利权人：富士胶片株式会社
申请日： 2009-12-08 - 公布日： 2011-11-16 - 主分类号： H01L21/203 文献下载
摘要：一种物理蒸汽沉积设备，包括具有侧壁的真空室、阴极、射频电源、基底支架、护罩和阳极。阴极位于真空室的内部，并且阴极构造为包括溅射靶体。射频电源构造向阴极施加功率。基底支架位于真空室的内部并与真空室的侧壁电绝缘。护罩位于真空室的内部并电连接至真空室的侧壁。阳极位于真空室的内部并电连接至真空室的侧壁。阳极包括环状体和从环状体向内突出的环状凸缘，并且环状凸缘定位为在靶体下面限定用于生成等离子体的体积。
用于真空物理蒸汽沉积成形阳极护罩连接

[实用新型]真空磁控溅射镀膜机-CN201920376172.7有效
发明人：董旺鹏 -专利权人：厦门正顺兴钛金科技有限公司
申请日： 2019-03-23 - 公布日： 2019-12-17 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种真空磁控溅射镀膜机，包括真空室，所述真空室上设置有门体，所述真空室上开设有抽气口，所述真空室外设置有与所述抽气口连通的抽气系统，所述门体转动设置在所述真空室上，所述真空室上设置有驱动所述门体从所述真空室上打开的驱动件，所述驱动件包括固定设置在所述真空室上的气缸、以及设置于所述气缸活塞杆上的推动板，所述推动板与所述门体朝向所述真空室的侧壁抵紧。本实用新型具通过设置驱动件，当镀膜工作完成需要将基片取出的时候，工作人员通过控制气缸，即可将门体从真空室推动开来，继而方便将门体打开。当真空室内的真空度不够高时，关闭高真空阀门并停止油扩散泵工作，从而能够保护设备。
真空室驱动件门体本实用新型抽气口推动板真空磁控溅射镀膜机高真空阀门气缸活塞杆保护设备抽气系统固定设置控制气缸室外设置油扩散泵转动设置侧壁抵紧镀膜气缸连通取出室内驱动

[发明专利]真空加工设备-CN200710147291.7有效
发明人：李荣钟;崔浚泳;孙亨圭;李祯彬;金敬勋;金炯寿;韩明宇 -专利权人：爱德牌工程有限公司
申请日： 2006-02-05 - 公布日： 2008-02-13 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：在此公开了一种真空加工设备，用于在其中建立真空环境之后对基板执行所需工艺。更具体而言，所述真空加工设备包括真空室，该真空室分为室体和上盖。所述上盖配置成容易从室体打开以及关闭到室体。
真空加工设备

[发明专利]真空加工设备-CN200710147293.6无效
发明人：李荣钟;崔浚泳;孙亨圭;李祯彬;金敬勋;金炯寿;韩明宇 -专利权人：爱德牌工程有限公司
申请日： 2006-02-05 - 公布日： 2008-02-06 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：在此公开了一种真空加工设备，用于在其中建立真空环境之后对基板执行所需工艺。更具体而言，所述真空加工设备包括真空室，该真空室分为室体和上盖。所述上盖配置成容易从室体打开以及关闭到室体。
真空加工设备

[发明专利]真空加工设备-CN200710147294.0无效
发明人：李荣钟;崔浚泳;孙亨圭;李祯彬;金敬勋;金炯寿;韩明宇 -专利权人：爱德牌工程有限公司
申请日： 2006-02-05 - 公布日： 2008-02-06 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：在此公开了一种真空加工设备，用于在其中建立真空环境之后对基板执行所需工艺。更具体而言，所述真空加工设备包括真空室，该真空室分为室体和上盖。所述上盖配置成容易从室体打开以及关闭到室体。
真空加工设备

[发明专利]真空加工设备-CN200710147292.1无效
发明人：李荣钟;崔浚泳;孙亨圭;李祯彬;金敬勋;金炯寿;韩明宇 -专利权人：爱德牌工程有限公司
申请日： 2006-02-05 - 公布日： 2008-02-06 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：在此公开了一种真空加工设备，用于在其中建立真空环境之后对基板执行所需工艺。更具体而言，所述真空加工设备包括真空室，该真空室分为室体和上盖。所述上盖配置成容易从室体打开以及关闭到室体。
真空加工设备

[发明专利]真空加工设备-CN200710147284.7无效
发明人：李荣钟;崔浚泳;孙亨圭;李祯彬;金敬勋;金炯寿;韩明宇 -专利权人：爱德牌工程有限公司
申请日： 2006-02-05 - 公布日： 2008-02-13 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：在此公开了一种真空加工设备，用于在其中建立真空环境之后对基板执行所需工艺。更具体而言，所述真空加工设备包括真空室，该真空室分为室体和上盖。所述上盖配置成容易从室体打开以及关闭到室体。
真空加工设备

[发明专利]真空加工设备-CN200610003345.8无效
发明人：李荣钟;崔浚泳;孙亨圭;李祯彬;金敬勋;金炯寿;韩明宇 -专利权人：爱德牌工程有限公司
申请日： 2006-02-05 - 公布日： 2006-08-09 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：在此公开了一种真空加工设备，用于在其中建立真空环境之后对基板执行所需工艺。更具体而言，所述真空加工设备包括真空室，该真空室分为室体和上盖。所述上盖配置成容易从室体打开以及关闭到室体。
真空加工设备

[实用新型]一种真空镀膜设备的新型门体结构-CN201320328819.1有效
发明人：董小虹;张中弦;梁航;黄拿灿 -专利权人：广东世创金属科技有限公司
申请日： 2013-06-07 - 公布日： 2013-12-11 - 主分类号： C23C14/22 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种镀膜设备的新型门体结构，其特征在于，包括真空窒门体和真空室门盖，真空窒门体与真空室腔体密封连接构成密封式具有筒状结构的真空室；在真空室腔体外表面设有真空室腔体盖，通过真空室门盖和真空室腔体盖将真空室整体围合，形成真空室围蔽结构；在真空窒门体的立面上设有一个或多个观察窗，在观察窗上面安装有摄像装置；在真空室门盖的立面上，安装有显示屏，供视频监控和工艺监控使用。本实用新型使用整体外盖围蔽结构，相当于形成双层门体结构，使真空室腔体和真空室门体的立面方便布置及隐藏管线，整体外观整齐、简洁，通过观察窗，可以安装红外测温装置和摄像装置，进行实时监控和记录真空室内部的工作状况
一种真空镀膜设备新型结构

[实用新型]一种生物医药洁净车间真空室-CN202121823021.5有效
发明人：张燕;刘煜;李凤;周璐婷 -专利权人：浙江久辰建工科技有限公司
申请日： 2021-08-05 - 公布日： 2022-03-29 - 主分类号： E06B3/46 文献下载
摘要：本实用新型涉及车间真空室技术领域，尤其公开了一种生物医药洁净车间真空室，包括真空室体，所述真空室体的入口处滑动连接有室门；所述真空室体的入口处固定连接有外壳，所述外壳上设置有与所述真空室体的入口处相连接的连接部本实用新型所提供的生物医药洁净车间真空室，其中移动部件与外壳之间相互配合，使得室门能够在真空室体的入口处滑动，该结构在一定程度上增加了室门与真空室体连接的密封性，即使是室门与真空室体滑动连接也保证了其密封效果，第一密封套、第二密封套和第三密封套的设置进一步增加了增加室门、限位杆与外壳之间的密封性，提高密封效果。
一种生物医药洁净车间真空

[发明专利]用于真空物理蒸汽沉积的室护罩-CN200980149156.3有效
发明人：李有明;杰弗里·比克迈尔 -专利权人：富士胶片株式会社
申请日： 2009-12-08 - 公布日： 2011-11-16 - 主分类号： H01L21/203 文献下载
摘要：一种物理蒸汽沉积设备，包括具有侧壁的真空室、阴极、射频电源、基底支架和阳极以及护罩。阴极位于真空室的内部并被构造为包括靶体。射频电源被构造成向阴极施加功率。基底支架位于真空室的内部并与真空室的侧壁电绝缘。阳极位于真空室的内部并电连接至真空室的侧壁。护罩位于真空室的内部并电连接至真空室的侧壁，且包括环状体和从环状体延伸的多个同心环状凸起。
用于真空物理蒸汽沉积护罩

1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
12
13
14
15
16
17
18
19
20
下一页»
尾页
共 100000 条