“真空光学”专利关键词查询_检索下载_查询列表_检索列表_行业专利分布_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果802744个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]真空容器内光学平台支撑装置-CN200910059291.0无效
发明人：周海;林东晖;陈良明;朱启华;景峰 -专利权人：中国工程物理研究院激光聚变研究中心
申请日： 2009-05-15 - 公布日： 2009-12-16 - 主分类号： G12B9/10 文献下载
摘要：本发明提供了一种真空容器内光学平台支撑装置。本发明的真空容器内光学平台支撑装置的真空壳体通过真空壳体支座直接固定于支撑平台上，光学平台支座与光学平台连接后穿过真空壳体固定于支撑平台上；光学平台支座与真空壳体采用无刚性接触；波纹管的上端法兰与真空壳体密封连接，波纹管的下端法兰与光学平台支座密封连接。本发明的真空容器内光学平台支撑装置使真空环境下的光学平台不受真空变形和真空机组振动的影响，具有较高的稳定性。
真空容器光学平台支撑装置

[发明专利]可切换真空光学组件及真空光源系统-CN202111512202.0在审
发明人：赵子淳;邹洁;鹿建 -专利权人：费勉仪器科技（上海）有限公司
申请日： 2021-12-08 - 公布日： 2022-04-22 - 主分类号： G01N23/227 文献下载
摘要：本公开提供了一种可切换真空光学组件，其特征在于，包括：真空容纳腔，包括光学输入端和光学输出端，真空容纳腔用于容纳位于光路上的工作光学元件；切换装置，与真空容纳腔真空密封连接，包括：承载装置，用于承载多个光学元件；驱动装置，用于驱动承载装置运动，以切换真空容纳腔内的工作光学元件。
切换真空光学组件光源系统

[发明专利]一种用于真空紫外光学元件清洁和存放的紫外臭氧干燥柜-CN201110416916.1有效
发明人：李斌成;郭春;林大伟 -专利权人：中国科学院光电技术研究所
申请日： 2011-12-13 - 公布日： 2012-06-27 - 主分类号： A47B81/00 文献下载
摘要：一种用于真空紫外光学元件清洁和存放的紫外臭氧干燥柜，包括紫外臭氧发生模块、空调模块、气体管理模块和智能单元，紫外臭氧发生模块对真空紫外光学元件的清洁处理；空调模块实现真空紫外光学元件清洁/存放过程中干燥柜内温度和湿度的控制；气体管理模块完成真空紫外光学元件清洁和存放过程中干燥柜内气体管理；智能单元控制真空紫外光学元件清洁/存放的全部过程。本发明能快速除去真空紫外光学元件上的碳氢根污染物，并阻止水汽对真空紫外光学元件光学性能的不利影响，有效地避免由于存储方式不当造成的真空紫外光学元件性能退化，尤其适用于真空紫外光学元件的清洁和存放。
一种用于真空紫外光学元件清洁存放臭氧干燥

[实用新型]一种真空光学平台支撑机构-CN202020799175.4有效
发明人：赵凯;翟志峰;马志飞 -专利权人：河北中科汉邦机电设备有限公司
申请日： 2020-05-14 - 公布日： 2021-03-05 - 主分类号： B01L9/02 文献下载
摘要：本实用新型属于光学试验真空设备技术领域，公开了一种真空光学平台支撑机构。该真空光学平台支撑机构具有高度调整功能和隔热功能。在光学平台安装时，通过调整真空光学平台支撑机构中的高度调整机构能够实现光学平台高度调整。光学平台通过支柱支撑于真空罐体外部的外部支撑平台上。通过调整高度调整机构，还能调整光学平台的水平度，该机构也方便调整安装在多个真空罐内的光学平台的高度和水平度。真空光学平台支撑机构具有隔热功能，能够部分隔绝外部与内部之间的热传导，减小外界温度变化对光学平台试验的影响。
一种真空光学平台支撑机构

[发明专利]一种用于真空环境下测量光学元件面形的装置及方法-CN202110573545.1有效
发明人：周敏康;罗覃;马肖杰;张恒;陈乐乐;胡忠坤 -专利权人：华中科技大学
申请日： 2021-05-25 - 公布日： 2022-08-05 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于真空环境下测量光学元件面形的装置及方法，装置包括真空腔体、调节单元、真空测量单元和面形测量单元，真空腔体用于及安装调节单元和光学元件，并提供真空环境；调节单元用于安装光学元件，以及实现测试元件的水平移动和俯仰调节；光学元件包含参考反射镜和待测光学元件，参考反射镜用于提供高质量的面形参考，待测光学元件是需要被测量的光学元件；真空测量单元用于测量真空腔体的真空度；面形测量单元用于测量激光波前。该装置可以对安装在真空环境中的光学元件面形进行测量，并且可以改变真空腔体的压强，在不同压强下测量光学元件面形。
一种用于真空环境测量光学元件装置方法

[发明专利]一种光学真空镀膜机内腔清洁方法-CN201510723567.6在审
发明人：訾云旭;句红兵;杨勇;李莉;訾云海;荀涛;张宝福 -专利权人：云南汇恒光电技术有限公司
申请日： 2015-10-29 - 公布日： 2016-02-03 - 主分类号： C23C14/22 文献下载
摘要：本发明涉及光学元件真空镀膜领域，尤其是一种光学真空镀膜机内腔清洁方法。这种清洁方法具体步骤如下：(1)将光学真空镀膜机内腔及夹具清洁干净；(2)装载外形尺寸合格而其它技术指标不作要求的光学元件，在光学真空镀膜机中镀制可溶于酸性水性清洗液厚度为20～200nm的隔离膜；(3)将镀有隔离膜的光学元件取下，装载合格光学元件，按其技术要求在光学真空镀膜机中镀制膜层；(4)光学真空镀膜机内腔及夹具达到清洁周期后，取下光学真空镀膜机内腔及夹具在酸性水性清洗液中清洗，除去内腔及夹具表面沉积物(5)除去光学真空镀膜机内腔及夹具表面残余的酸性水性清洗液，烘干或晾干光学真空镀膜机内腔及夹具，将内腔及夹具装入光学真空镀膜机；(6)按步骤(2)～(5)开展光学元件真空镀膜下一生产及清洁周期。
一种光学真空镀膜机内腔清洁方法

[发明专利]一种真空度优于1×10-8-CN202010620785.8有效
发明人：武跃龙;武海斌;李欣;庞才印;李睿;李堃;芮扬 -专利权人：华东师范大学;北京新南智科光电科技有限公司
申请日： 2020-07-01 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： G02B5/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种真空度优于1×10‑8Pa的全玻璃光学原子腔及制备方法，其全玻璃光学原子腔包括光学真空腔体、导管、光学窗口片、真空转接器及压片，所述光学真空腔体为任意形状平面的多面体，多面体的平面上设有光学窗口，光学窗口向多面体内延伸的孔洞形成同一内腔；所述光学窗口片固定于所述光学窗口上；所述导管一端固定连接光学真空腔体，另一端通过压片与真空转接器连接，真空转接器另一端连接真空泵。采用光胶真空键合工艺，该工艺实施过程始终在真空环境中进行，适当的温度和负压环境有利于被键合物体表面气体排出更好的形成物体间分子与分子之结合。本发明实现了真空腔体的工作区域内完全无金属物质的结构，使得工作区域不会受到不锈钢真空腔体的磁场干扰。
一种真空优于 10 base sup

[发明专利]一种小孔径长距离光学兼容真空样品腔-CN201610024358.7在审
发明人：徐杨兵;候玉斌;盛志高 -专利权人：中国科学院合肥物质科学研究院
申请日： 2016-01-13 - 公布日： 2016-05-04 - 主分类号： G01N21/03 文献下载
摘要：本发明公开一种小孔径长距离光学兼容真空样品腔，包括有自上至下依次设置的低温样品杆、多通道连接装置、超高真空角度可调节装置、超高真空XYZ三维位移平台、上腔体、光学窗口和窗口保护腔体；所述低温样品杆与多通道连接装置真空密封连接，多通道连接装置与超高真空角度可调节装置真空密封连接，超高真空角度可调节装置与超高真空XYZ三维位移平台真空密封连接，超高真空XYZ三维位移平台与上腔体真空密封连接，上腔体与光学窗口真空密封连接，光学窗口与窗口保护腔体连接本发明适合在小口径长距离条件中运用，产生高真空环境，可以供光学探测材料光学性质使用。
一种孔径长距离光学兼容真空样品

[发明专利]一种光镜电镜关联成像用光学真空冷台-CN201410363314.8有效
发明人：季刚;李硕果;孙飞 -专利权人：中国科学院生物物理研究所
申请日： 2014-07-28 - 公布日： 2017-02-15 - 主分类号： G01N21/01 文献下载
摘要：本发明涉及一种光镜电镜关联成像用光学真空冷台，它包括一真空腔室，一设置在真空腔室的一端的防污染系统适配接口，一设置在真空腔室的另一端的电镜样品杆适配接口，一设置在真空腔室的上壁面的上光学窗口，一设置在真空腔室的下壁面并与上光学窗口相对的下光学窗口，一设置在真空腔室的一侧的真空系统适配接口，以及一设置在电镜样品杆适配接口与上、下光学窗口之间的真空阀；其中，真空阀与电镜样品杆适配接口之间构成了一预真空通道，在预真空通道的一侧设置有一预抽真空阀门；在电镜样品杆适配接口、上光学窗口、下光学窗口、真空系统适配接口和防污染系统适配接口处均设有真空密封圈。本发明可广泛应用于光电关联成像领域，也可单独应用于光学显微成像。
一种光镜电镜关联成像用光真空

[发明专利]一种真空光学检测系统-CN201711252416.2在审
发明人：贾平;郭疆;李宪斌;邵明东;朱磊;王浩 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2017-12-01 - 公布日： 2018-03-09 - 主分类号： G01M11/04 文献下载
摘要：本发明提供的真空光学检测系统，包括空间光学遥感器、低气压模拟装置、干涉仪、用于容纳干涉仪的真空容器、用于调整空间光学遥感器和真空容器的精密调整装置，精密调整装置和真空容器均容纳于低气压模拟装置中，低气压模拟装置为具有一开口的密闭容器，真空容器通过波纹管与开口柔性密闭连通，外界大气通过开口与真空容器连通，低气压模拟装置为空间光学遥感器提供低气压环境，通过精密调整装置调整空间光学遥感器与真空容器的位置，使空间光学遥感器的焦面和干涉仪的焦面之间按照预设位置关系对准，从而实现在真空环境下对空间光学遥感器进行光学检测。
一种真空光学检测系统

[实用新型]一种小孔径长距离光学兼容真空样品腔-CN201620035198.1有效
发明人：徐杨兵;候玉斌;盛志高 -专利权人：中国科学院合肥物质科学研究院
申请日： 2016-01-13 - 公布日： 2016-07-06 - 主分类号： G01N21/03 文献下载
摘要：本实用新型公开一种小孔径长距离光学兼容真空样品腔，包括有自上至下依次设置的低温样品杆、多通道连接装置、超高真空角度可调节装置、超高真空XYZ三维位移平台、上腔体、光学窗口和窗口保护腔体；所述低温样品杆与多通道连接装置真空密封连接，多通道连接装置与超高真空角度可调节装置真空密封连接，超高真空角度可调节装置与超高真空XYZ三维位移平台真空密封连接，超高真空XYZ三维位移平台与上腔体真空密封连接，上腔体与光学窗口真空密封连接，光学窗口与窗口保护腔体连接本实用新型适合在小口径长距离条件中运用，产生高真空环境，可以供光学探测材料光学性质使用。
一种孔径长距离光学兼容真空样品

[发明专利]真空压印装置、真空压合装置及层状光学元件的制造方法-CN201110434308.3有效
发明人：黄义雄;刘荣井;臧华安;黄建森;赵文魁;吴宣毅 -专利权人：友达光电股份有限公司
申请日： 2011-12-15 - 公布日： 2012-11-07 - 主分类号： B32B37/10 文献下载
摘要：一种真空压印装置、真空压合装置及层状光学元件的制造方法，该真空压印装置及该真空压合装置分别包含一真空室、一下载台、一上载台及一固化装置。该上载台相对于该下载台设置于该真空室内，并能朝向该下载台移动以实施压印或平铺的操作。该固化装置用以固化一光学胶层以形成一光学层。该制造方法分别利用该真空压印装置及该真空压合装置于一基板上形成多个光学层，进而形成该层状光学元件。本发明使用机具于真空环境中形成光学胶层，以有效抑制固化后于该光学层形成的层状结构中产生的气泡现象。
真空压印装置层状光学元件制造方法

[发明专利]真空压印装置、真空压合装置及层状光学组件的制造方法-CN201110050980.2无效
发明人：刘荣井;黄建森;赵文魁 -专利权人：友达光电股份有限公司
申请日： 2011-02-25 - 公布日： 2011-09-07 - 主分类号： B41K3/02 文献下载
摘要：一种真空压印装置、真空压合装置及层状光学组件的制造方法。该真空压印装置及该真空压合装置分别包含一真空室、一下载台、一上载台及一固化装置。该上载台相对于该下载台设置于该真空室内，并能朝向该下载台移动以实施压印或平铺的操作。该固化装置用以固化一光学胶层以形成一光学层。该制造方法分别利用该真空压印装置及该真空压合装置于一基板上形成多个光学层，进而形成该层状光学组件。本发明使用机具于真空环境中形成光学胶层，以有效抑制固化后于该光学层形成的层状结构中产生的气泡现象。
真空压印装置层状光学组件制造方法

[实用新型]一种用于真空环境下的光学平台减震装置-CN202123432243.7有效
发明人：潘海波 -专利权人：热测测试技术（苏州）有限公司
申请日： 2021-12-30 - 公布日： 2022-08-02 - 主分类号： G01M11/00 文献下载
摘要：一种用于真空环境下的光学平台减震装置，包括光学平台和空气弹簧减震机构，光学平台设置在真空箱体内部，空气弹簧减震机构设置在真空箱体的外部；光学平台的底部设置有固定支架，真空箱体的底部开设有通孔，固定支架的底部穿过通孔与空气弹簧减震机构连接，真空箱体开设的通孔部位设置有第一真空法兰，空气弹簧减震机构上设置有第二真空法兰，第一真空法兰与第二真空法兰之间通过真空波纹管连接，本方案设计的一种用于真空环境下的光学平台减震装置，采用真空法兰加波纹管的连接方式，使光学平台处于真空环境下，而空气弹簧减震机构处于非真空环境下，解决了空气弹簧减震器不能直接使用于真空环境仓内的技术难点。
一种用于真空环境光学平台减震装置

[实用新型]一种基于孪生旋转阴极的多层光学薄膜镀膜系统-CN201620058221.9有效
发明人：朱选敏;李烁;夏志林 -专利权人：武汉科瑞达真空科技有限公司
申请日： 2016-01-21 - 公布日： 2016-08-31 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种基于孪生旋转阴极的多层光学薄膜镀膜系统,包括真空部分、溅射系统、载架系统和真空获得系统；所述真空获得系统与真空部分通过分子泵和初抽口联通，并将对真空部分进行抽真空，达到溅射系统所需本底真空后，对真空部分通入氩气将真空度控制在工作真空度；该系统，一、磁控溅射工艺稳定，溅射率稳定并可以长时间工作，产品可以获得稳定的光学性能；二、设备采用光学监控，可以实现全自动光学监控镀膜；三、设备通用性好，可以完成的光学膜系多，包括可见光分光膜、可见光滤光片(RGB滤光片)、光学截至滤光片、红外滤光片、激光抗反膜、激光反射膜等。
一种基于孪生旋转阴极多层光学薄膜镀膜系统

1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
12
13
14
15
16
17
18
19
20
下一页»
尾页
共 100000 条