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- [发明专利]一种剪切散斑干涉系统-CN202010439536.9有效
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张东升;叶益民
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上海大学
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2020-05-22
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2021-05-18
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G01N21/01
- 本发明公开了一种剪切散斑干涉系统,所述剪切散斑干涉系统包括:短焦距镜头、迈克尔逊干涉装置、长焦距镜头和CCD相机。通过利用短焦距镜头和长焦距镜头的组合和迈克尔逊干涉装置相结合,利用短焦距镜头将大视场范围的物体成像为缩小的实像,缩小的实像通过迈克尔逊干涉装置和长焦距镜头传递到CCD相机靶面,形成散斑干涉,从而实现大视场剪切散斑干涉测量本发明提供了一种不影响相位计算且结构简单的大视角剪切散斑干涉系统,有效地扩大检测面积,实现了全场、快速的缺陷检测。
- 一种剪切干涉系统
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