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[发明专利]一种原位原子层沉积扫描电子显微镜-CN202010823490.0在审
发明人：张跃飞;屠金磊;张泽 -专利权人：浙江祺跃科技有限公司
申请日： 2020-08-17 - 公布日： 2020-11-17 - 主分类号： H01J37/28 文献下载
摘要：本发明公开一种原位原子层沉积扫描电子显微镜，涉及原位测试领域，包括机架，所述机架上设置有电镜腔室，所述电镜腔室一侧设置有开口，所述电镜腔室一侧的开口端固定连接有密封阀，所述密封阀远离所述电镜腔室的一侧固定安装有原子层沉积室，所述原子层沉积室远离所述密封阀的一侧固定安装有水平设置的磁力杆，所述磁力杆内活动穿设有磁力杆轴，所述磁力杆轴端部能够水平运动于原子层沉积室或电镜腔室内；所述电镜腔室顶部密封安装有电子枪，所述电镜腔室底部密封连接有分子泵
一种原位原子沉积扫描电子显微镜

[实用新型]一种用于电镜室的暖通结构-CN202022429596.0有效
发明人：黄玉鹏;陈海鹏;沈凯捷 -专利权人：上海釜易仪器设备有限公司
申请日： 2020-10-28 - 公布日： 2021-06-18 - 主分类号： F24F5/00 文献下载
摘要：本案涉及一种用于电镜室的暖通结构，其包括：空调机组，其设置在电镜室的外部；送风管，其位于电镜室的吊顶上方，并穿过电镜室的墙体与空调机组相连；回风管，其位于电镜室的外部，一端连接位于电镜室下部的回风口，另一端连接空调机组本案通过对现有用于电镜室的暖通结构的改进，提高了对室内温湿度的控制效率，通过对穿过墙体的管路部分的结构优化，提高了电镜室整体的磁屏蔽效果。
一种用于电镜室暖通结构

[发明专利]一种用于电子显微镜的真空减震装置-CN202211679867.5在审
发明人：刘其武 -专利权人：北京中科科仪股份有限公司
申请日： 2022-12-26 - 公布日： 2023-04-18 - 主分类号： F16F15/04 文献下载
摘要：本发明提供了一种用于电子显微镜的真空减震装置，属于真空装置减震技术领域，包括：电镜样品室，所述电镜样品室内适于放置待检测样品；真空设备，所述电镜样品室的底端通过减震结构与真空设备连接；所述减震结构包括减震波纹管及其外侧的阻尼减振环与减振调节环本发明提供的用于电子显微镜的真空减震装置，适于放置待检测样品的电镜样品室，电镜样品室通过减震结构与真空设备连接，其中减震结构包括减震波纹管及其外侧的阻尼减振环与减振调节环，通过减震结构组成部分的三重配合达到电镜样品室的减震
一种用于电子显微镜真空减震装置

[发明专利]一种薄膜检测装置-CN202310404432.8在审
发明人：郭浩东;靳佳 -专利权人：北京中科科仪股份有限公司
申请日： 2023-04-17 - 公布日： 2023-05-19 - 主分类号： G01N23/2204 文献下载
摘要：本发明提供的一种薄膜检测装置，属于光学检测技术领域，包括：样品室结构和支撑结构、透镜结构、真空系统，其中样品室结构内部形成有容纳腔，样品室结构上端设置有扫描电镜；样品室结构开设适于光束通过的第一开孔；支撑结构与所述样品室结构连接，并适于支撑样品室结构；透镜结构设置于样品室结构的下方，适于接收扫描电镜的光束；真空系统设置于样品室结构的侧方。本装置将真空系统放置在样品室结构的侧方，并将透镜结构放置在样品室结构的下方，保证样品室结构上端的扫描电镜发射的光束能够通过第一开孔被透镜结构接收到，在对薄膜材料进行检测时无需扫描电镜和透射电镜分别对薄膜材料进行检测
一种薄膜检测装置

[发明专利]嵌入式三维光电关联成像装置及方法-CN202110469220.9有效
发明人：徐涛;卢婧;纪伟;李尉兴;肖珂;张翔 -专利权人：中国科学院生物物理研究所
申请日： 2021-04-28 - 公布日： 2022-10-28 - 主分类号： G01N21/64 文献下载
摘要：一种嵌入式三维光电关联成像装置及方法，装置包括：电镜真空腔室、物镜模块、真空光学窗、扫描模块、光源模块、光电探测模块以及电镜成像模块；其中，物镜模块与电镜成像模块均设置在电镜真空腔室的内部，真空光学窗开设在电镜真空腔室的侧壁扫描模块用于对光源模块发射的光束进行二维扫描，并将二维扫描光束通过真空光学窗传输至物镜模块，以使物镜模块对样品不同层面进行扫描；扫描模块还用于将物镜模块对样品不同层面扫描后得到的荧光和明场光线传输至光电探测模块进行光电探测；电镜成像模块用于对样品进行电镜成像
嵌入式三维光电关联成像装置方法

[实用新型]一种用于电子显微镜的真空减震装置-CN202223483763.5有效
发明人：刘其武 -专利权人：北京中科科仪股份有限公司
申请日： 2022-12-26 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： F16F15/04 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种用于电子显微镜的真空减震装置，属于真空装置减震技术领域，包括：电镜样品室，所述电镜样品室内适于放置待检测样品；真空设备，所述电镜样品室的底端通过减震结构与真空设备连接；所述减震结构包括减震波纹管及其外侧的阻尼减振环与减振调节环本实用新型提供的用于电子显微镜的真空减震装置，适于放置待检测样品的电镜样品室，电镜样品室通过减震结构与真空设备连接，其中减震结构包括减震波纹管及其外侧的阻尼减振环与减振调节环，通过减震结构组成部分的三重配合达到电镜样品室的减震
一种用于电子显微镜真空减震装置

[发明专利]一种锂离子电池嵌锂态负极电镜样品的制备及观测方法-CN201510075492.5有效
发明人：李慧芳;高华文 -专利权人：天津力神电池股份有限公司
申请日： 2015-02-12 - 公布日： 2017-10-24 - 主分类号： G01Q30/20 文献下载
摘要：本发明提供一种锂离子电池嵌锂态负极电镜样品的制备及观测方法，包括在手套箱内惰性气氛保护下将待观测样品取样粘贴在扫描电镜样品台上置于一可密封转移容器，采用惰性保护气体对扫描电镜的样品室内部进行移动式吹扫，使样品室内空气被脱水脱氧的惰性气体充分完全置换；在扫描电镜的样品室内将所述转移容器打开，将扫描电镜样品台取出固定在样品室内，关上扫描电镜样品室，对扫描电镜抽真空；扫描电镜抽真空完成后，关闭惰性保护气体，对待观测样品进行电镜观测。本发明方法操作简单，安全可靠，且样品制备过程所使用的物品均为实验室常规用品，无需额外购买附件，亦无需对扫描电镜进行改造，即可实现对嵌锂态负极的电镜观测。
一种锂离子电池嵌锂态负极样品制备观测方法

[发明专利]一种阳极光阑的清洁方法和扫描电镜-CN202310200868.5在审
发明人：刘兆月;王明;顾博宇;赵松山;陈继冬;董晨曦;郑东森 -专利权人：首钢智新迁安电磁材料有限公司
申请日： 2023-03-03 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： B08B7/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种阳极光阑的清洁方法和扫描电镜，清洁方法通过关闭扫描电镜的镜内灯丝，泄真空并取出样品，再控制扫描电镜进行抽真空，使扫描电镜的样品室和电子枪室分别达到对应的预设真空度，进一步开启扫描电镜的镜筒烘烤功能，间接控制阳极光阑升温，可以促进附着在阳极光阑上的碳基污染物进行挥发，对样品室和电子枪室继续抽真空，能够将挥发出的碳基污染物抽排出扫描电镜，当镜筒烘烤功能的开启时间达到预设时长时，阳极光阑的碳沉积堵塞的问题已得到了清洁处理该清洁方法具有方法简单、成本低廉的优势，扫描电镜的使用用户可自行进行操作，有效解决了碳基物污染引起的阳极光阑碳沉积堵塞问题。
一种阳极光阑清洁方法扫描电镜

[实用新型]一种阻止机械泵或油扩散泵油气污染透射电镜照相室的装置-CN201821723120.4有效
发明人：高占明 -专利权人：大连理工大学
申请日： 2018-10-24 - 公布日： 2019-08-20 - 主分类号： G01Q30/18 文献下载
摘要：一种阻止机械泵或油扩散泵油气污染透射电镜照相室的装置，其属于材料分析测试技术领域。该装置设置在透射电镜机械泵或油扩散泵等和照相室之间，透射电镜机械泵或油扩散泵等产生的挥发性油气经由真空管路扩散到油气处理系统，在油气处理系统中经分子筛/炭膜复合膜处理，净化再经照相室端阀门、照相室接头维持照相室洁净的高真空系统可以实现安全、实用、经济、有效地在透射电镜上安装并进行大规模推广。该装置有效地去除油气，避免了油气进入到照相室内进而在相机表面形成一层油膜，进而影响相机性能及透射电镜正常观测的问题。
透射电镜照相室油扩散泵机械泵油气处理系统油气污染有效地相机油气分子筛测试技术领域高真空系统挥发性油气表面形成材料分析真空管路装置设置复合膜阀门炭膜油膜去除照相观测洁净扩散室内净化安全

[发明专利]电镜样品前处理设备-CN202010213542.2在审
发明人：张小波;常正凯;张增雄 -专利权人：深圳市速普仪器有限公司
申请日： 2020-03-24 - 公布日： 2020-06-12 - 主分类号： G01N23/2202 文献下载
摘要：本发明涉及一种电镜样品前处理设备，包括处理箱、射频离子源、气路系统及真空泵组；处理箱内设有样品腔室；射频离子源连接处理箱并与样品腔室连通；气路系统连接射频离子源，气路系统为射频离子源提供所需的气源；真空泵组连接处理箱并与样品腔室连通，真空泵组用于对样品腔室及射频离子源抽真空。可以在同一个样品腔室同时清洗扫描电子显微镜样品和透射电子显微镜样品，也可以分别独立清洗扫描电子显微镜样品或透射电子显微镜样品，通用性强，有效降低成本；通过射频离子源处理待透射电镜观察并需要亲水性制备的透射电镜样品，实现对透射电镜样品亲水活化无损处理；实现对电镜样品进行真空储存，有效保证电镜样品的质量。
样品处理设备

[实用新型]电镜样品前处理设备-CN202020390097.2有效
发明人：张小波;常正凯;张增雄 -专利权人：深圳市速普仪器有限公司
申请日： 2020-03-24 - 公布日： 2020-10-27 - 主分类号： G01N23/2202 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种电镜样品前处理设备，包括处理箱、射频离子源、气路系统及真空泵组；处理箱内设有样品腔室；射频离子源连接处理箱并与样品腔室连通；气路系统连接射频离子源，气路系统为射频离子源提供所需的气源；真空泵组连接处理箱并与样品腔室连通，真空泵组用于对样品腔室及射频离子源抽真空。可以在同一个样品腔室同时清洗扫描电子显微镜样品和透射电子显微镜样品，也可以分别独立清洗扫描电子显微镜样品或透射电子显微镜样品，通用性强，有效降低成本；通过射频离子源处理待透射电镜观察并需要亲水性制备的透射电镜样品，实现对透射电镜样品亲水活化无损处理；实现对电镜样品进行真空储存，有效保证电镜样品的质量。
样品处理设备

[实用新型]透射电镜样品杆真空预存储设备-CN202221727428.2有效
发明人：常正凯;司俊丽 -专利权人：速普仪器（太仓）有限公司
申请日： 2022-07-06 - 公布日： 2022-10-21 - 主分类号： H01J37/20 文献下载
摘要：本申请涉及透射电镜样品杆真空预存储设备，真空存储腔室分别连接一个石英玻璃管及一个透射样品杆转接法兰，且各个真空存储腔室一一对应地通过各个电磁阀密封连接真空泵组；透射样品杆转接法兰密封连接透射样品杆，以使真空存储腔室通过透射样品杆转接法兰与透射样品杆密封连接在不用时或者暂存时将透射样品杆存放，需要使用时将透射样品杆取出，插入透射电镜的相应位置中即可，而各真空存储腔室分别通过各电磁阀单独控制真空度，因此可以独立工作互不干扰；有利于保证透射电镜的透射样品杆与大气中水汽及污染物最大程度的隔绝，有利于使得电镜样品抽真空时间大大缩短，有利于减少对电镜真空腔室及相关部件的污染，保证了电镜系统的使用寿命。
透射样品真空存储设备

[发明专利]一种电镜液体样品室及其组装方法和安装方法-CN202011010404.0有效
发明人：王传真 -专利权人：绍兴励思仪仪器设备有限公司
申请日： 2020-09-23 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： G01N23/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种电镜液体样品室及其组装方法和安装方法，属于透射电镜表征测试领域。本发明公开了一种电镜液体样品室，通过设置双向定位凸起和螺钉孔将金属盒上片和金属盒体下片固定结合形成金属盒体，其中金属盒体下片包括芯片槽、双向定位凸起、螺钉孔和观察孔，金属盒体上片包括芯片槽、螺钉孔、观察孔和外溢胶槽，同时根据固定芯片中的上芯片和下芯片尺寸的不同选择将内溢胶槽设置在不同位置，在液体样品室中通过在金属盒体金属片表面(上片或下片)以及芯片槽底部涂密封胶进行芯片固定以减小液体样品室的厚度，从而改善现有的电镜液体样品室由于金属盒体和橡胶圈的引入导致的液体样品室的厚度增加，进一步提高透射电镜的应用范围以及测试准确度。
一种液体样品及其组装方法安装

[发明专利]透射电镜样品杆真空预存储设备-CN202210790496.1在审
发明人：常正凯;司俊丽 -专利权人：速普仪器（太仓）有限公司
申请日： 2022-07-06 - 公布日： 2022-09-20 - 主分类号： H01J37/20 文献下载
摘要：本申请涉及透射电镜样品杆真空预存储设备，真空存储腔室通过透射样品杆转接法兰密封连接透射样品杆；高真空腔室密封连接真空泵组；高真空气路转接件通过高真空气路角阀密封连接高真空腔室；真空转接件通过真空管路密封连接高真空气路转接件在不用时或者暂存时，将透射样品杆存放于透射电镜样品杆真空预存储设备，需要使用时，将透射样品杆从透射电镜样品杆真空预存储设备取出，并插入透射电镜的相应位置中即可；有利于保证透射电镜的透射样品杆与大气中水汽及污染物最大程度的隔绝，使得电镜样品抽真空时间大大缩短，针对冷冻透射样品杆提供了高真空加热除气设计，同时实现冷冻电镜样品杆高真空加热除气功能和常规样品杆日常真空存储功能。
透射样品真空存储设备

[发明专利]一种原位高温蠕变疲劳扫描电子显微镜-CN202010823697.8在审
发明人：张跃飞;屠金磊;张泽 -专利权人：浙江祺跃科技有限公司
申请日： 2020-08-17 - 公布日： 2020-11-17 - 主分类号： G01N23/2251 文献下载
摘要：本发明公开一种原位高温蠕变疲劳扫描电子显微镜，涉及电子显微镜技术领域，主要包括机架，所述机架上设置有电镜腔室；所述电镜腔室的一侧连接有疲劳室，另一侧连接有蠕变室；所述蠕变室内设置有高温蠕变台，所述蠕变室通过第一控制阀与所述电镜腔室连接，所述疲劳室内设置有高温疲劳台，所述疲劳室通过第二控制阀与所述电镜腔室连接；所述蠕变室内还设置有第一传送机构，所述第一传送机构与所述高温蠕变台连接，所述疲劳室内还设置有第二传送机构，所述第二传送机构与所述高温疲劳台连接
一种原位高温疲劳扫描电子显微镜

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