专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]离子溅射仪-CN202021249988.2有效
  • 常正凯;张小波;张增雄 - 深圳市速普仪器有限公司
  • 2020-07-01 - 2021-03-23 - C23C14/35
  • 本实用新型涉及一种离子溅射仪,包括:处理腔室,用于容纳样品;气体调节模块,与所述处理腔室连通,用于监测和调节所述处理腔室内的压强;磁控溅射模块,与所述处理腔室连通,用于对所述样品进行磁控溅射沉积以在所述样品表面形成导电膜层;等离子清洗模块,与所述处理腔室连通,用于对所述样品进行等离子清洗。本实用新型通过磁控溅射模块提高了导电镀层的沉积效率和降低沉积温度,并通过等离子清洗模块同时去除样品表面的有机污染物,从而提高了样品表面的成像清晰度,减少了“积碳”现象的产生。
  • 离子溅射
  • [实用新型]电镜样品前处理设备-CN202020390097.2有效
  • 张小波;常正凯;张增雄 - 深圳市速普仪器有限公司
  • 2020-03-24 - 2020-10-27 - G01N23/2202
  • 本实用新型涉及一种电镜样品前处理设备,包括处理箱、射频离子源、气路系统及真空泵组;处理箱内设有样品腔室;射频离子源连接处理箱并与样品腔室连通;气路系统连接射频离子源,气路系统为射频离子源提供所需的气源;真空泵组连接处理箱并与样品腔室连通,真空泵组用于对样品腔室及射频离子源抽真空。可以在同一个样品腔室同时清洗扫描电子显微镜样品和透射电子显微镜样品,也可以分别独立清洗扫描电子显微镜样品或透射电子显微镜样品,通用性强,有效降低成本;通过射频离子源处理待透射电镜观察并需要亲水性制备的透射电镜样品,实现对透射电镜样品亲水活化无损处理;实现对电镜样品进行真空储存,有效保证电镜样品的质量。
  • 样品处理设备
  • [发明专利]电镜样品前处理设备-CN202010213542.2在审
  • 张小波;常正凯;张增雄 - 深圳市速普仪器有限公司
  • 2020-03-24 - 2020-06-12 - G01N23/2202
  • 本发明涉及一种电镜样品前处理设备,包括处理箱、射频离子源、气路系统及真空泵组;处理箱内设有样品腔室;射频离子源连接处理箱并与样品腔室连通;气路系统连接射频离子源,气路系统为射频离子源提供所需的气源;真空泵组连接处理箱并与样品腔室连通,真空泵组用于对样品腔室及射频离子源抽真空。可以在同一个样品腔室同时清洗扫描电子显微镜样品和透射电子显微镜样品,也可以分别独立清洗扫描电子显微镜样品或透射电子显微镜样品,通用性强,有效降低成本;通过射频离子源处理待透射电镜观察并需要亲水性制备的透射电镜样品,实现对透射电镜样品亲水活化无损处理;实现对电镜样品进行真空储存,有效保证电镜样品的质量。
  • 样品处理设备

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