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[发明专利]一种冷阴极电子枪-CN202310424755.3有效
发明人：马佳琦;杨钊;郭后扬;董阁;杜红飞 -专利权人：能量奇点能源科技（上海）有限公司
申请日： 2023-04-20 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： H01J3/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种冷阴极电子枪，包括电子枪枪体、枪口触持极结构，以及安装于电子枪枪体外部的外部保护层和枪体尾部封闭部分；所述电子枪枪体包括阴极、阳极组件和枪体级联结构；所述阴极、阳极组件在阴极和阳极产生的高电压差，产生电子，输入枪体级联结构，通过枪体级联结构的级联电极和枪口阳极栅正电位引出电子束。上述冷阴极电子枪装配难度低，有效减小了制造成本；代替了传统热阴极来保证发射电子束的流强，从而提升电子枪整体性能和效果。
一种阴极电子枪

[实用新型]一种气体放电电子枪用陶瓷绝缘体-CN202222606157.1有效
发明人：马华;李银龙 -专利权人：唐山智通仪表技术有限公司
申请日： 2022-09-30 - 公布日： 2023-03-14 - 主分类号： H01J37/065 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种气体放电电子枪用陶瓷绝缘体，包括：电子枪筒，所述电子枪筒一侧安装有枪罩，所述电子枪筒内固定安装有绝缘体本体，所述电子枪筒远离枪罩的一端固定安装有阳极，所述电子枪筒内设置有冷阴极，所述枪罩上固定安装有弹簧状冷水管，所述绝缘体本体外表面固定安装有环形安装套，所述绝缘体本体直径与电子枪筒内腔直径相同，所述绝缘体本体为高密度陶瓷材料烧制。本实用新型的绝缘体本体由高密度陶瓷材料烧制，使得电子枪在长时间使用后，绝缘体本体不会发生变形，解决了传统的气体放电电子枪使用高分子材料材质的绝缘体在长时间使用后发生变形，导致密封性能下降，电子枪真空度得不到保证，使枪体报废的问题。
一种气体放电电子枪陶瓷绝缘体

[发明专利]一种600kw气体放电电子枪及其使用方法-CN201210555434.9有效
发明人：孙照富;尹中荣 -专利权人：北京有色金属研究总院
申请日： 2012-12-19 - 公布日： 2014-06-25 - 主分类号： H01J37/077 文献下载
摘要：一种600kw的气体放电电子枪，包括有上部的枪罩、中部的枪体和底部的枪底座；枪体中具有一电子枪芯及阳极；阳极下方是聚焦线圈和偏转扫描线圈，并配设聚焦磁透镜；所述电子枪枪芯、阳极、聚焦线圈和偏转扫描线圈均配设冷却水路；冷阴极筒内置有由单体阴极块构成的电子枪芯，该电子枪芯通过一根电缆外接控制系统，在电子枪芯与阳极的周围形成一个密闭气室；配设一开环控制的充气系统,该充气系统可向密闭气室中充入氢气和氧气。
一种 600 kw 气体放电电子枪及其使用方法

[实用新型]一种600kw气体放电电子枪-CN201220708803.9有效
发明人：孙照富;尹中荣 -专利权人：北京有色金属研究总院
申请日： 2012-12-19 - 公布日： 2013-08-14 - 主分类号： H01J37/077 文献下载
摘要：一种600kW气体放电电子枪，包括有上部的枪罩、中部的枪体和底部的枪底座；枪体中具有一电子枪芯及阳极；阳极下方是聚焦线圈和偏转扫描线圈，并配设聚焦磁透镜；所述电子枪枪芯、阳极、聚焦线圈和偏转扫描线圈均配设冷却水路；冷阴极筒内置有由单体阴极块构成的电子枪芯，该电子枪芯通过一根电缆外接控制系统，在电子枪芯与阳极的周围形成一个密闭气室；配设一开环控制的充气系统,该充气系统可向密闭气室中充入氢气和氧气。
一种 600 kw 气体放电电子枪

[发明专利]内置水路式电子枪枪体及冷却方法-CN201810892313.0在审
发明人：高学林;慈连鳌;张晓卫;张帆;贾子朝 -专利权人：核工业理化工程研究院;沈阳腾鳌真空技术有限公司
申请日： 2018-08-07 - 公布日： 2018-12-21 - 主分类号： H01J3/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种内置水路式电子枪枪体及冷却方法，所述的内置水路式电子枪枪体包括形成有安装腔的主腔体，以及对应设置在主腔体尾端的过渡板，所述的主腔体的外侧形成有进水口和出水口，在所述的主腔体上形成有主水道本发明抛弃了双层水套结构，采用外方内圆形电子枪枪体结构，通过打水孔及串接成具有一定导向的循环水道，避免了冷却死角，提高了冷却效果；采用外钻孔结构，实现了电子枪枪体内部真空腔无焊缝，避免了漏水的安全隐患；采用小孔封堵的焊接形式，焊缝创伤小，电子枪枪体的热应力形变小；电子枪枪体外形可进行二次机械精加工，可满足高精度的安装定位需求。
电子枪枪体主腔体内置水道水路过渡板冷却双层水套结构机械精加工外方内圆形安全隐患安装定位冷却死角冷却效果循环水道钻孔结构焊缝形变安装腔出水口单循环电子枪进水口热应力体内部无焊缝真空腔串接打水封堵流路漏水小孔焊接连通创伤抛弃

[实用新型]内置水路式电子枪枪体-CN201821265935.2有效
发明人：高学林;慈连鳌;张晓卫;张帆;贾子朝 -专利权人：核工业理化工程研究院;沈阳腾鳌真空技术有限公司
申请日： 2018-08-07 - 公布日： 2019-01-25 - 主分类号： H01J3/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种内置水路式电子枪枪体，所述的内置水路式电子枪枪体包括形成有安装腔的主腔体，以及对应设置在主腔体尾端的过渡板，所述的主腔体的外侧形成有进水口和出水口，在所述的主腔体上形成有主水道，所述的过渡板上形成有将所述的主腔体水道对应连通以构成完整单循环流路的端水道本实用新型抛弃了双层水套结构，采用外方内圆形电子枪枪体结构，通过打水孔及串接成具有一定导向的循环水道，避免了冷却死角，提高了冷却效果；采用外钻孔结构，实现了电子枪枪体内部真空腔无焊缝，避免了漏水的安全隐患；采用小孔封堵的焊接形式，焊缝创伤小，电子枪枪体的热应力形变小；电子枪枪体外形可进行二次机械精加工，可满足高精度的安装定位需求。
电子枪枪体主腔体内置水道水路本实用新型过渡板双层水套结构机械精加工外方内圆形安全隐患安装定位冷却死角冷却效果循环水道钻孔结构焊缝形变安装腔出水口单循环电子枪进水口热应力体内部无焊缝真空腔串接打水封堵流路漏水小孔焊接连通创伤抛弃

[发明专利]一种带有油浸水冷装置的新型电子枪-CN200810073879.7有效
发明人：黄以平;宋宜梅;李少林 -专利权人：桂林实创真空数控设备有限公司
申请日： 2008-10-30 - 公布日： 2009-04-08 - 主分类号： H01J37/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种带有油浸水冷装置的新型电子枪，包括枪体，其特征是：在枪体内设置有油浸水冷装置。该装置由高压绝缘子、高压绝缘子中的绝缘油、绕枪体内壁缠绕的螺旋状金属水管组成，电子枪的高压电缆及各电极连杆浸泡在高压绝缘子的绝缘油中，绕枪体内壁的螺旋状的金属水管也浸泡在绝缘油中，金属螺旋水管与枪体外的制冷循环水的进水口和出水口连接本发明的优点是：通过在电子枪枪体内设置油浸水冷装置，保护电子枪的各种受热易损件，延长了电子枪的使用寿命，并提高了电子枪工作的可靠性。这种电子枪可应用于大功率焊接，连续长时间焊接的场合以及大功率电子束熔炼，电子束镀膜的场合等。
一种带有浸水装置新型电子枪

[实用新型]一种带有油浸水冷装置的新型电子枪-CN200820113516.7无效
发明人：黄以平;宋宜梅;李少林 -专利权人：桂林实创真空数控设备有限公司
申请日： 2008-10-30 - 公布日： 2009-07-29 - 主分类号： H01J37/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种带有油浸水冷装置的新型电子枪，包括枪体，其特征是：在枪体内设置有油浸水冷装置。该装置由高压绝缘子、高压绝缘子中的绝缘油、绕枪体内壁缠绕的螺旋状金属水管组成，电子枪的高压电缆及各电极连杆浸泡在高压绝缘子的绝缘油中，绕枪体内壁的螺旋状的金属水管也浸泡在绝缘油中，金属螺旋水管与枪体外的制冷循环水的进水口和出水口连接本实用新型的优点是：通过在电子枪枪体内设置油浸水冷装置，保护电子枪的各种受热易损件，延长了电子枪的使用寿命，并提高了电子枪工作的可靠性。这种电子枪可应用于大功率焊接，连续长时间焊接的场合以及大功率电子束熔炼，电子束镀膜的场合等。
一种带有浸水装置新型电子枪

[实用新型]多枪头电子枪-CN201120576253.5有效
发明人：朱刚毅;朱刚劲;朱文廓 -专利权人：肇庆市腾胜真空技术工程有限公司
申请日： 2011-12-31 - 公布日： 2012-10-03 - 主分类号： C23C14/30 文献下载
摘要：本实用新型公开一种多枪头电子枪，包括坩埚、坩埚挡板和多个电子枪头，坩埚挡板设于坩埚上方，多个电子枪头均匀分布于坩埚的圆周方向上，坩埚中心外接坩埚转动组件。本多枪头电子枪结构简单，在传统电子枪的基础上进行改进，在同一坩埚上设置多个电子枪头，可有效提高镀膜效率，同时，电子枪头的个数也可根据坩埚的实际尺寸进行设置，使用灵活方便。另外，当工件的膜层较为复杂或者所需镀膜材料较多时，本多枪头电子枪由于其电子枪头的个数可进行调整，因此可较好的适用于各种工件镀膜，其适用范围较广。
多枪头电子枪

[实用新型]一种真空镀膜设备电子枪内部冷却结构-CN201822233971.7有效
发明人：张胜利 -专利权人：镇江超威纳米科技有限公司
申请日： 2018-12-28 - 公布日： 2019-11-19 - 主分类号： C23C14/30 文献下载
摘要：本实用新型涉及真空镀膜技术领域，且公开了一种真空镀膜设备电子枪内部冷却结构，包括枪体，所述枪体的顶部焊接有输入头，所述枪体的右侧焊接有进水管，所述枪体的左侧焊接有出水管，所述枪体的外侧固定套装有定位套板，所述定位套板的内壁与枪体的外壁固定连接，所述枪体的底部固定安装有输出头，所述枪体的内部固定安装有连接杆，所述连接杆的底端贯穿枪体并延伸至输出头的下方。该真空镀膜设备电子枪内部冷却结构，当电子枪工作时，通过进水管进行进水，随后通过出水腔和入水腔进行水流物理吸热降温，继而水流通过出水管进行排出，从而解决了电子枪冷却较差问题，从而达到这个机构均匀冷却的效果
枪体电子枪焊接真空镀膜设备定位套板内部冷却出水管进水管连接杆输出头真空镀膜技术吸热本实用新型均匀冷却内部固定水流通过出水腔固定套入水腔输入头底端进水内壁排出外壁冷却贯穿延伸

[实用新型]一种气体放电电子枪电子束失控自动保护装置-CN202222521982.1有效
发明人：马华;李银龙 -专利权人：唐山智通仪表技术有限公司
申请日： 2022-09-23 - 公布日： 2022-12-16 - 主分类号： H01J37/077 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种气体放电电子枪电子束失控自动保护装置，包括气体放电电子枪本体以及位于其上方的磁电式传感器，所述气体放电电子枪本体的顶端设有一对定位凸块，两个所述定位凸块互相靠近的一侧均设有卡槽，所述磁电式传感器的底端设有一对位于所述气体放电电子枪本体上方的支撑座，所述磁电式传感器套设有一对与其螺纹连接的螺纹旋套；有益效果为：通过在气体放电电子枪本体上设置磁电式传感器，可实时跟踪监测气体放电电子枪电子束的发射状态，当检测到有电子束轰击到气体放电电子枪枪体上时，并且量值超过设定的危险警戒值时，会自动切断气体放电电子枪的高压电源，停止电子束的产生，从而实现对气体放电电子枪枪体的保护。
一种气体放电电子枪电子束失控自动保护装置

[发明专利]一种用于熔丝增材制造的电子枪装置-CN201911140056.6有效
发明人：许海鹰;巩水利;左从进;桑兴华 -专利权人：中国航空制造技术研究院
申请日： 2019-11-20 - 公布日： 2022-04-29 - 主分类号： H01J29/48 文献下载
摘要：一种用于熔丝增材制造的电子枪装置，包括溜板，及倒立安装在溜板上的至少一把电子枪，电子枪通过法兰组件连通横向设置的束流导引通道，电子枪输出束流一侧从上到下依次设有送丝机构和导丝嘴；电子枪包括枪体，枪体的内部从下到上依序同轴设置阴极本发明通过倒立安装在真空室内的电子枪使其出束口背对着成形零件，采用强磁偏转系统使得电子束大角度偏转到金属丝材上进行熔丝成形，避免了金属蒸气直接侵入电子枪内部对电子枪的阴极造成污染，提高阴极使用寿命，减少放电，保障电子枪长期稳定工作。
一种用于熔丝增材制造电子枪装置

[实用新型]一种电子束蒸镀设备及其电子枪盖板-CN202320521861.9有效
发明人：金伟军 -专利权人：上海积塔半导体有限公司
申请日： 2023-03-17 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： C23C14/30 文献下载
摘要：本申请提供一种电子束蒸镀设备及其电子枪盖板。电子枪盖板设置于电子束蒸镀设备的蒸镀腔体中，腔体中还设置有坩埚和电子枪。电子枪盖板包括：底板，设置在电子枪的上方，底板与坩埚之间具有第一间隙，电子枪的电子枪枪头暴露于第一间隙处；以及第一挡板，第一挡板与底板靠近坩埚的一侧连接，并自底板向坩埚方向延伸，第一挡板靠近坩埚一侧的外边沿与坩埚之间具有第二间隙，其中，第二间隙的间隙值小于第一间隙的间隙值、且第一挡板在第一间隙处的正投影基本覆盖电子枪枪头。本申请将第一挡板自底板向坩埚的外边沿延伸，以及限制第二间隙的间隙值小于第一间隙的间隙值，实现遮挡电子枪枪头，从而实现阻挡金属碎屑掉落至电子枪枪头，避免电子枪短路。
一种电子束设备及其电子枪盖板

[发明专利]一种中高能电子枪-CN201710217541.3有效
发明人：朱林繁;陈昕;徐卫青 -专利权人：中国科学技术大学
申请日： 2017-04-05 - 公布日： 2018-08-21 - 主分类号： H01J37/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种中高能电子枪，包括：电子枪体、差分抽气管、电极法兰和高压Q9头排布板；其中，电极法兰固定设置在差分抽气管上，高压Q9头排布板固定设置在电极法兰后端；差分抽气管上还分别设有法兰底座、差分抽气接口和真空计接口；电子枪体固定设置在法兰底座接口内侧；电子枪体包括：热阴极灯丝、压片、栅极底座、阳极、聚焦极、偏转机构、钼片、第一绝缘垫片、第二绝缘垫片、第三绝缘垫片、枪头和外筒。该电子枪由于采用栅极底座、阳极、聚焦极构成的二级聚焦透镜，其聚焦性能和平行性能好良好，枪头内设置偏转机构使得束斑位置可调，该电子枪结构简单且性能稳定。
一种高能电子枪

[实用新型]一种中高能电子枪-CN201720347579.8有效
发明人：朱林繁;陈昕;徐卫青 -专利权人：中国科学技术大学
申请日： 2017-04-05 - 公布日： 2018-04-10 - 主分类号： H01J37/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种中高能电子枪，包括电子枪体、差分抽气管、电极法兰和高压Q9头排布板；其中，电极法兰固定设置在差分抽气管上，高压Q9头排布板固定设置在电极法兰后端；差分抽气管上还分别设有法兰底座、差分抽气接口和真空计接口；电子枪体固定设置在法兰底座接口内侧；电子枪体包括阴极灯丝、压片、栅极底座、阳极、聚焦极、偏转机构、钼片、第一绝缘垫片、第二绝缘垫片、第三绝缘垫片、枪头和外筒。该电子枪由于采用栅极底座、阳极、聚焦极构成的二级聚焦透镜，其聚焦性能和平行性能好良好，枪头内设置偏转机构使得束斑位置可调，该电子枪结构简单且性能稳定。
一种高能电子枪

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