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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

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B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]靶材组件的焊接方法-CN201010002332.5无效
发明人：姚力军;潘杰;王学泽;陈勇军;刘庆 -专利权人：宁波江丰电子材料有限公司
申请日： 2010-01-07 - 公布日： 2010-06-23 - 主分类号： B23K1/00 文献下载
摘要：一种靶材组件的焊接方法，包括：提供铬或铬合金靶材坯料、背板和焊料；用焊料覆盖铬或铬合金靶材坯料的结合面，在真空环境下对所述铬或铬合金靶材坯料预热并实施保温，使得焊料与铬或铬合金靶材坯料的结合面充分融合，去除多余的焊料；对所述背板的结合面进行打磨处理，用焊料覆盖背板的结合面，在真空环境下预热并实施保温；对铬或铬合金靶材坯料和背板进行钎焊，将铬或铬合金靶材坯料焊接至背板形成靶材组件；冷却靶材组件。本发明能够增强铬或铬合金靶材坯料与背板在钎焊后的结合强度，并避免焊接过程中背板等发生氧化，确保靶材组件的性能稳定，符合产品品质要求。
组件焊接方法

[发明专利]一种靶材结构的制作方法-CN201010524411.2有效
发明人：姚力军;潘杰;王学泽;袁海军 -专利权人：宁波江丰电子材料有限公司
申请日： 2010-10-28 - 公布日： 2011-01-26 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：一种靶材结构的制作方法，所述方法包括：提供靶材，所述靶材为铬或者铬合金；对所述靶材表面进行活化处理；用化学镀工艺，在活化处理后的靶材焊接面上形成金属镀层；将化学镀处理后的靶材焊接至背板。在铬或者铬合金靶材的焊接面上化学镀形成金属镀层，利用金属镀层作为中间媒介，使得靶材与背板焊接后实现二者的牢固结合，具有较高的结合强度。本发明摸索出了一条稳定的在铬或者铬合金靶材的表面用化学镀方法镀金属层的工艺流程，并实现了工业化生产。
一种结构制作方法

[发明专利]一种铬管靶材的绑定方法-CN201510762127.1在审
发明人：石刚;谢飞;崔子振;崔鹏;黄国基 -专利权人：航天长征睿特科技有限公司;航天材料及工艺研究所
申请日： 2015-11-10 - 公布日： 2017-05-17 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明提供了一种磁控溅射镀膜用铬管靶材的绑定方法。该方法包括在铬管靶材的背管外表面采用电镀工艺制备金属涂层作为绑定层；利用热等静压工艺使铬管靶材层通过绑定层与背管达到冶金结合，实现铬管靶材的绑定。本发明所述的铬管靶材的绑定方法可以使铬管靶材层通过绑定层与背管实现冶金结合，把铬管靶材层在溅射镀膜过程中产生的热量及时传递到背管内冷却，防止铬管靶材层出现开裂，保证溅射镀膜顺利进行。
一种铬管靶材绑定方法

[发明专利]一种铬靶材的生产方法-CN201410451226.3有效
发明人：齐牧;崔传海;李广明;于晓玲;李俊强;陈涛;韩艳芝;姜松 -专利权人：中信锦州金属股份有限公司
申请日： 2014-09-06 - 公布日： 2016-05-04 - 主分类号： B22F3/16 文献下载
摘要：一种铬靶材的生产方法，将粒度为60目～320目和粒度为320目～500目的金属铬粉混合均匀，烘干，加入到冷压模具内冷压成型，得到铬靶材坯料，用包覆纸将铬靶材坯料表面包覆，装入热压模具内，入炉热压成型，得到铬靶材优点是：先冷压得到铬靶材坯料，有利于热压，经过热压后满足铬靶材的要求。两种工艺相互配合，工艺简单，操作方便，对环境友好，产品成品率高，实现了工业化生产。
一种铬靶材生产方法

[发明专利]一种铜铬靶材焊接用端面螺纹加工方法-CN202311005525.X在审
发明人：姚力军;潘杰;谢焕焕;凌培文 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2023-08-10 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： B23P13/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种铜铬靶材焊接用端面螺纹加工方法，所述加工方法包括如下步骤：对铜铬靶坯焊接用端面依次进行精车削以及螺纹车削；所述螺纹车削中使用的刀片包括50°螺纹刀片；所述精车削中，刀片沿所述铜铬靶坯焊接用端面的直径方向朝所述铜铬靶坯焊接用端面的中心给进；所述螺纹车削中，刀片沿所述铜铬靶坯焊接用端面的直径方向朝所述铜铬靶坯焊接用端面的边沿给进。本发明提供的铜铬靶材焊接用端面螺纹加工方法简单易操作，可以有效缩短工序，节约加工时间；此外通过限定螺纹车削的刀具和工艺参数可以获得强度稳定、形貌规则的端面螺纹，解决螺纹牙底产生积屑瘤的问题。
一种铜铬靶材焊接端面螺纹加工方法

[发明专利]一种旋转铬靶材及其制备方法-CN201710350813.7有效
发明人：罗永春;胥小勇;石煜;曾墩风;王志强;雷雨;江涛 -专利权人：芜湖映日科技有限公司
申请日： 2017-05-18 - 公布日： 2019-04-12 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明提供一种旋转铬靶材及其制备方法，所述旋转铬靶材为铬材料喷涂二次，所述旋转铬靶材的密度为6.2‑6.9g/cm³，所述旋转铬靶材的氧含量为1000‑5000ppm，所述旋转铬靶材的氮含量为1000‑通过热喷涂方法对铬靶材进行制备，提高制备效率，并且减少制备成本，尽量缩小晶粒尺寸，并且便于对使用后的残靶材进行修补，并且通过对铬靶材的氧氮含量进行控制，提升铬靶材的制造质量。
一种旋转铬靶材及其制备方法

[发明专利]靶材组件的制作方法-CN200910261152.6有效
发明人：姚力军;潘杰;王学泽;陈勇军;刘庆 -专利权人：宁波江丰电子材料有限公司
申请日： 2009-12-28 - 公布日： 2010-06-02 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：一种靶材组件的制作方法，包括：提供靶材，所述靶材为铬或铬合金；利用电镀工艺，在靶材的焊接面上形成镍金属镀层；对铬或铬合金靶材和铜或铜合金背板进行钎焊，将铬或铬合金靶材焊接至铜或铜合金背板形成靶材组件。本发明能够通过在靶材的焊接面形成金属镀层，增强靶材与背板焊接后的结合强度，制作出符合要求的靶材组件。
组件制作方法

[发明专利]靶材组件的焊接方法-CN200910261153.0无效
发明人：姚力军;潘杰;王学泽;鲍伟江;刘庆 -专利权人：宁波江丰电子材料有限公司
申请日： 2009-12-28 - 公布日： 2010-06-23 - 主分类号： B23K1/08 文献下载
摘要：一种靶材组件的焊接方法，包括：提供铬靶材坯料、背板和钎料；对所述铬靶材坯料进行预热，将钎料均匀涂布在铬靶材坯料的结合面，使得钎料在铬靶材坯料的结合面充分浸润，去除铬靶材坯料的结合面上多余的钎料；对所述背板的结合面进行打磨处理，并进行预热，将钎料均匀涂布在背板的结合面，超声波处理添加钎料的背板；对铬靶材坯料和背板进行钎焊，将铬靶材坯料焊接至背板形成靶材组件；冷却靶材组件。本发明能够增强铬靶材坯料与背板在钎焊后的结合强度，符合产品品质要求。
组件焊接方法

[发明专利]铬钼靶材的制造方法-CN201510195489.7在审
发明人：姚力军;潘杰;相原俊夫;大岩一彦;王学泽;段高林 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2015-04-22 - 公布日： 2016-11-23 - 主分类号： B22F3/16 文献下载
摘要：一种铬钼靶材的制造方法，包括：提供铬粉和钼粉；将所述铬粉和所述钼粉进行混合，形成混合粉末；采用保温温度为1300℃～1400℃的真空热压工艺将所述混合粉末制成铬钼靶材坯料；将所述铬钼靶材坯料制成铬钼靶材本发明通过采用真空热压工艺，将经过混合的铬粉和钼粉制成铬钼靶材，而且1300℃～1400℃的保温温度有利于铬原子和钼原子的扩散，因此能够有效的降低所制成铬钼靶材内部的空隙率，提高靶材的致密度和强度。所以本发明的制造方法能够获得致密度大于或等于99％的高致密度铬钼靶材，并且所获得的铬钼靶材微观结构均匀，能够满足磁控溅射对靶材纯度和密度的要求。
铬钼靶材制造方法

[发明专利]一种高铬铝合金靶材及制备方法-CN202210092184.3有效
发明人：王新锋;刘李旭;向长淑;陈斌科;姚甜;孙恒超;肖成桥;苏腾飞;郭栋 -专利权人：西安赛隆金属材料有限责任公司
申请日： 2022-01-26 - 公布日： 2022-05-03 - 主分类号： B22F3/15 文献下载
摘要：本公开实施例是关于一种高铬铝合金靶材及制备方法。该方法包括：根据铬铝合金靶材的两相结构要求确定铬铝合金靶材的性能参数的数值范围；根据铬铝合金靶材的性能参数的数值范围确定制备铬铝合金靶材的工艺方法；利用工艺方法进行铬铝合金靶材的制备；其中，两相结构由铬相和铬铝合金相组成，且相互穿插均匀分布，铬铝合金靶材的性能参数数值范围为：铬相的面积占比为10%～35%，铬铝合金相的面积占比为65%～90%。本公开实施例通过根据铬铝合金靶材的两相结构要求确定铬铝合金靶材的性能参数的数值范围，利用制备工艺制备出符合具有两相结构的铬铝合金靶材，提高了镀膜的均匀性及机械加工性能。
一种铝合金制备方法

[发明专利]铬靶材及其组合的制造方法-CN201410437023.9有效
发明人：姚力军;相原俊夫;大岩一彦;潘杰;王学泽;王钜宝 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2014-08-29 - 公布日： 2018-06-08 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：一种铬靶材及其组合的制造方法，其中铬靶材的制造方法包括：提供铬粉末；将所述铬粉末进行预压成型处理以形成成型坯料；对所述成型坯料进行真空热压烧结形成靶材坯料；对所述靶材坯料进行机械加工形成铬靶材。本发明在对铬粉末进行预压成型处理后，直接对成型坯料进行真空热压烧结，而无需热等静压处理过程。这样缩短了铬靶材制造时间，且无需用到热等静压设备，显著降低了铬靶材生产成本。
铬靶材成型坯料铬粉末真空热压烧结靶材坯料预压成型制造热等静压设备机械加工热等静压生产成本

[发明专利]靶材组件的制作方法-CN201010151830.6无效
发明人：姚力军;潘杰;王学泽;欧阳琳;刘庆 -专利权人：宁波江丰电子材料有限公司
申请日： 2010-04-14 - 公布日： 2010-08-25 - 主分类号： B23K1/00 文献下载
摘要：一种靶材组件的制作方法，包括：提供铬靶材坯料、背板和钎料，所述背板具有容纳铬靶材坯料的凹部；利用钎料在铬靶材坯料的焊接面和外周形成第一浸润层；利用钎料在背板的焊接面和凹部的内侧形成第二浸润层；对铬靶材坯料和背板进行钎焊，将铬靶材坯料焊接至背板形成靶材组件。本发明形成的靶材组件质量高。
组件制作方法

[发明专利]铬靶材的制作方法-CN201210429639.2有效
发明人：姚力军;相原俊夫;大岩一彦;潘杰;王学泽;宋佳 -专利权人：宁波江丰电子材料有限公司
申请日： 2012-11-01 - 公布日： 2014-05-14 - 主分类号： B22F3/16 文献下载
摘要：一种铬靶材的制作方法，包括：首先提供铬粉末；接着将铬粉末放置入真空包套并抽真空；然后采用热等静压工艺对真空包套内的铬粉末进行烧结成型，形成铬靶材；完成烧结成型后，进行冷却并拆除真空包套取出铬靶材。采用本发明提供的铬靶材的制作方法，避免使用模具，同时，形成的铬靶材的致密度、内部组织结构的均匀性优于采用热压形成的铬靶材的致密度、内部组织结构的均匀性，而且，铬靶材的纯度也能满足要求越来越高的溅射工艺。
铬靶材制作方法

[发明专利]铬靶材的制造方法-CN201310418471.X有效
发明人：姚力军;赵凯;相原俊夫;大岩一彦;潘杰;王学泽;袁海军 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2013-09-13 - 公布日： 2017-05-31 - 主分类号： B22F3/14 文献下载
摘要：一种铬靶材的制造方法，包括采用热压烧结工艺，在预设温度为1100～1300℃，预设压强大于30MPa的条件下，对铬粉末进行致密化处理，形成铬靶材坯料；之后冷却所述铬靶材坯料，形成铬靶材。采用上述技术方案，可形成致密度高达99.5%，平均晶粒度小于50μm，且结构均匀的铬靶材。而且相比于热等静压工艺，本发明降低了铬靶材制造工艺的工艺设备要求和工艺条件，节约了工艺成本。
铬靶材制造方法

[发明专利]一种铬旋转靶材的机加工方法-CN202310268471.X在审
发明人：黄宇彬;童培云 -专利权人：先导薄膜材料有限公司
申请日： 2023-03-15 - 公布日： 2023-06-09 - 主分类号： B23B1/00 文献下载
摘要：本发明涉及靶材制备技术领域，提供了一种铬旋转靶材的机加工方法，包括以下步骤：(1)采用三爪中空卡盘固定在铬旋转靶材的外表面，将中空卡盘固定在车床上，使中空卡盘带动旋转靶材绕其轴线旋转，采用镗孔刀对铬旋转靶材的不锈钢内孔进行加工；(2)使用夹具和顶尖固定铬旋转靶材的内孔，将夹具固定在车床上，使夹具带动旋转靶材绕其轴线旋转，对铬旋转靶材的外表面进行加工，加工时使用激光光源照射切削处；(3)气密性检测，得到机加工后的铬旋转靶材。本发明采用车床对铬旋转靶材进行机加工，能够在保证精度的前提下，提高加工效率，节省加工时间。
一种旋转加工方法

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