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[发明专利]一种玻璃载板与晶圆双面加工工艺-CN202011120980.0有效
发明人：严立巍;符德荣;文锺 -专利权人：绍兴同芯成集成电路有限公司
申请日： 2020-10-19 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明公开了一种玻璃载板与晶圆双面加工工艺，属于晶圆加工领域。一种晶圆双面加工工艺，使用飞秒激光扫描玻璃载板的一端面，解构所述玻璃载板的一端面形成多条沟槽，每个所述沟槽围成封闭区域，多个所述封闭区域同心布置；将所述玻璃载板的另一端面与晶圆的一端面键合，并对晶圆的另一端面进行减薄；蚀刻去除所述封闭区域部分的玻璃载板，通过镭射将所述封闭区域的玻璃载板与所述晶圆解键合；使用氧电浆清洗所述封闭区域内的键合剂；进行晶圆的双面工艺；将所述晶圆的一端面固定在切割模框上，切割所述晶圆。
一种玻璃双面加工工艺

[发明专利]一种CIS玻璃罩的减薄方法-CN202210168385.7在审
发明人：周旭;李居知;李华 -专利权人：苏州轩创科技有限公司
申请日： 2022-02-23 - 公布日： 2022-06-03 - 主分类号： C03C15/00 文献下载
摘要：本发明涉及CIS晶圆加工领域，具体的是一种CIS玻璃罩的减薄方法，S1、在CIS玻璃罩的一侧通过粘着剂键合玻璃载板，通过蚀刻保护胶对CIS玻璃罩和玻璃载板进行保护，露出CIS玻璃罩的待减薄一侧；S2、通过含氟电浆蚀刻CIS玻璃罩使其减薄并去除蚀刻保护胶，得到超薄CIS玻璃罩；S3、在超薄CIS玻璃罩表面进行CV制程；S4、完成CV制程后，键合CIS晶圆正面并对CIS晶圆背面进行减薄，完成正常封装流程；S5、将超薄CIS玻璃罩和玻璃载板进行解键合，去除玻璃载板。本发明在工作过程中超薄玻璃与玻璃载板能够暂时性贴合，起到整面性保护的目的，避免使用胶带保护，同时，能够有效防止制程中超薄玻璃弯曲，避免造成浪费。
一种 cis 玻璃罩方法

[实用新型]一种烤炉用玻璃抓取装置-CN201721877999.3有效
发明人：杜剑 -专利权人：苏州菱麦自动化设备科技有限公司
申请日： 2017-12-28 - 公布日： 2018-08-21 - 主分类号： B25J5/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种烤炉用玻璃抓取装置，包括滑台组件，滑台组件上设置有机械手，机械手端部设置有玻璃抓取载具，玻璃抓取载具包括水平载板和伸入杆，水平载板一侧与垂直安装板连接，水平载板表面设置有伸入杆，伸入杆一端固定设置在水平载板上，伸入杆内部设置有通道槽，通道槽内设置有两个玻璃吸盘，玻璃吸盘的吸附端穿过伸入杆至外部设置，玻璃吸盘上设置有管道过孔和真空接入孔，其中一个玻璃吸盘的真空接入孔与第一真空管道连接，并且该玻璃吸盘的管道过孔能够供第二真空管道穿过，第二真空管道与另一个玻璃吸盘的真空接入孔连接。本实用新型能够快速且稳定的取放玻璃，使得无需降温也可操作，提高生产效率。
玻璃吸盘伸入杆水平载板玻璃真空管道接入孔抓取本实用新型滑台组件抓取装置通道槽烤炉载具垂直安装板机械手端部穿过表面设置内部设置生产效率外部设置有机械手可操作取放吸附

[发明专利]一种半导体器件的制备方法-CN202210331714.5在审
发明人：严立巍;文锺;符德荣 -专利权人：浙江同芯祺科技有限公司
申请日： 2022-03-31 - 公布日： 2022-07-29 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明提出了一种半导体器件的制备方法，包括：B100，将完成栅极和介电层制备后的SiC衬底键合至玻璃载板后，将SiC衬底从Si基载盘分离取出；B200，对SiC衬底背面减薄处理后进行金属镀膜；B300，将金属镀膜后的SiC衬底置于玻璃载盘中，并将SiC衬底与玻璃载板解键合；B400，对SiC衬底进行正面器件及聚亚酰胺层的制备；B500，以聚亚酰胺层的间隙为切割道对SiC衬底进行切割；B600，将切割后的SiC衬底从玻璃载盘转移至切割模框。本发明通过预设尺寸的Si基载盘进行前段制备工艺，可以充分利用现有半导体器件尺寸的加工设备，降低设备更替成本。而且，涉及将SiC衬底从Si基载盘转移键合至玻璃载板上，及将SiC衬底从玻璃载板转移至玻璃载盘中，保证后续工艺的顺利进行。
一种半导体器件制备方法

[实用新型]一种载体玻璃与线体循环载板之间的防滑动工装-CN202320687183.3有效
发明人：陈晓辉;陈文学 -专利权人：徐州日托光伏科技有限公司
申请日： 2023-03-31 - 公布日： 2023-09-01 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本实用新型公布了一种载体玻璃与线体循环载板之间的防滑动工装，所述工装包含线体循环载板、载体玻璃以及固定板，在所述线体循环载板的两端安装若固定板；所述固定板安装于所述线体循环载板边缘处下方，在所述固定板上设有安装孔；所述载体玻璃与线体循环载板通过固定板固定。该工装能够有效防止前板在流水线上正常流转时出现的不确定方向的偏移，防止滑动，减少载体玻璃的爆裂，降低材料损失、产能损失，保障了人员作业安全。
一种载体玻璃体循环之间滑动工装

[实用新型]大型超薄玻璃条纹度检测设备-CN202221516175.4有效
发明人：蒋岳鹏;张云晓;王光祥;杨振邦 -专利权人：青岛融合光电科技有限公司
申请日： 2022-06-16 - 公布日： 2022-09-20 - 主分类号： G01N21/01 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种大型超薄玻璃条纹度检测设备，属于载板玻璃质检技术领域。本实用新型改变了以往载板玻璃需要搬运到检验台检测条纹度的工作方式，只需与载板玻璃运输流水线配合，将载板玻璃竖直运送至环形轨道上方的检测位置，移动装置带动氙灯、光电传感器在环形轨道上移动，光电传感器收集由氙灯照射穿过载板玻璃的光线，实现对载板玻璃多角度的检测，获得载板玻璃的条纹度。
大型超薄玻璃条纹检测设备

[实用新型]一种用于载板玻璃的液压清洗装置-CN202220440438.1有效
发明人：张云晓;王光祥;杨振邦;张振超;穆绪权;杨记龙;李一 -专利权人：潍坊佳昇光电科技有限公司;青岛融合光电科技有限公司
申请日： 2022-03-03 - 公布日： 2022-04-12 - 主分类号： B08B3/02 文献下载
摘要：本实用新型公开一种用于载板玻璃的液压清洗装置，属于玻璃生产用清洁装置技术领域，包括载板玻璃、液压喷涂泵机构、喷枪机构和液压动力系统，液压动力系统连接液压喷涂泵机构，液压喷涂泵机构通过喷涂管线连接喷枪机构，喷枪机构利用液压动力源将水喷洒到载板玻璃上进行清洗，所述喷枪机构包括喷枪和喷枪架，用液压动力源对载板玻璃进行清洗，液压油从液压站打到自制喷涂泵机构，为其提供动力，并注满蓄能器，起到稳压的作用。当载板玻璃运送到喷枪位置时，控制喷枪的气动电磁阀得电，喷枪将水喷到载板玻璃上进行清洗，清洗速度快，洁净度高，动力足，大幅度提升工作质量和效率，解决了现有技术中存在的问题。
一种用于玻璃液压清洗装置

[实用新型]用于清理载板玻璃边缘的自动清洁装置-CN202123371186.6有效
发明人：张云晓;王光祥;杨振邦;任亚辉;贺盼旬 -专利权人：青岛融合光电科技有限公司
申请日： 2021-12-29 - 公布日： 2022-05-06 - 主分类号： B24B55/06 文献下载
摘要：本实用新型公开一种用于清理载板玻璃边缘的自动清洁装置，属于玻璃加工辅助装置技术领域，包括载板玻璃和清洁装置，载板玻璃的下方设有工作台，清洁装置设置在工作台的外侧，用于对工作台上的载板玻璃进行清洁，清洁装置包括滑动小车通过设置滑动小车及其驱动机构带动毛刷对载板玻璃进行自动清洁，代替人工对载板玻璃进行清洁，降低工人的劳动强度，提高了生产的效率，解决了现有技术中出现的问题。
用于清理玻璃边缘自动清洁装置

[实用新型]载板玻璃池炉的温度探测装置-CN202221894129.8有效
发明人：郝均鹏;张云晓;王光祥;杨振邦 -专利权人：青岛融合光电科技有限公司
申请日： 2022-07-21 - 公布日： 2022-12-09 - 主分类号： C03B5/16 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种载板玻璃池炉的温度探测装置，属于载板玻璃加工技术领域。本实用新型所述的一种载板玻璃池炉的温度探测装置，包括线缆绞盘、线缆、线缆通道、驱动电机以及温度探头，线缆绞盘固定安装在载板玻璃池炉外部，线缆绞盘上缠设有线缆，线缆端部固定连接有温度探头，线缆绞盘与驱动电机固定连接，驱动电机固定安装在载板玻璃池炉外部；载板玻璃池炉内部靠近线缆绞盘处设有线缆通道，线缆通道靠近线缆绞盘的一侧固定连接有第一隔板，线缆通道远离线缆的一侧开口处固定连接有第二隔板。本实用新型能够及时、灵敏的检测玻璃液在流动过程中各处的温度。
玻璃温度探测装置

[实用新型]载板玻璃残次品粗碎装置-CN202222236701.8有效
发明人：杨欣治;张云晓;韩浩杰;韩沛然;姜振 -专利权人：青岛融合光电科技有限公司
申请日： 2022-08-24 - 公布日： 2022-12-27 - 主分类号： B02C13/14 文献下载
摘要：本实用新型属于载板玻璃加工领域，涉及一种载板玻璃残次品粗碎装置，包括底座，底座上设有转动驱动机构，转动驱动机构的转动部件上固定连接有支撑杆，支撑杆上固定连接有至少一组搅拌棍，底座上固定连接有破碎斗，破碎斗内壁上固定连接有若干破碎棒本实用新型利用个若干破碎棒搅动破碎载板玻璃，使放入破碎斗内不合格的载板玻璃进行粗碎流程，解决了需要人工对载板玻璃进行粗碎的流程，同时避免了因玻璃块体积过大而不能进入细碎机构的情况，而且能够不间断的对玻璃进行破碎，被破碎的玻璃通过底部孔洞流出即可直接落入下一道细碎工序。
玻璃残次品装置

[实用新型]超薄电子玻璃清洗装置-CN202222517806.0有效
发明人：刘建勇;周尧;简昱瑞 -专利权人：青岛融合新材料科技有限公司
申请日： 2022-09-22 - 公布日： 2022-12-16 - 主分类号： B08B11/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种超薄电子玻璃清洗装置,涉及清洗设备技术领域，包括输送带主体、固定架、底座和夹持部件，输送带主体上固定连接有多组支撑板，支撑板上均设有定位槽，固定架的顶端固定连接有第一喷头，固定架的侧壁固定连接有第二喷头，固定架和输送带主体均固定连接在底座上，夹持部件设置在定位槽槽，用于将支撑板上的载板玻璃进行夹持，通过支撑板能够将载板玻璃进行支撑，让载板玻璃与输送带之间具有一定的间隙，然后通过第一喷头和第二喷头喷出的水液，能够对载板玻璃的顶端和底端进行清洗，让载板玻璃清洗完全。
超薄电子玻璃清洗装置

[实用新型]一种液体成分检测装置-CN201921554442.5有效
发明人：朱俊;吴跃奎 -专利权人：深圳市鑫嘉能科技有限公司
申请日： 2019-09-18 - 公布日： 2020-07-03 - 主分类号： G01N21/80 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种液体成分检测装置，包括PH试纸，包括盛放桶，所述盛放桶内转动连接有载物板，所述载物板上开设有开孔，所述开孔的侧壁上固定连接有固定玻璃板，所述固定玻璃板的上方设置有移动玻璃板，所述PH试纸位于移动玻璃板和固定玻璃板之间，所述载物板上设置有用于调节移动玻璃板的调节机构，本实用新型便于调整PH试纸的位置，同时便于通过PH试纸检测液体。
一种液体成分检测装置

[发明专利]一种玻璃载板上料机构-CN202010190974.6在审
发明人：蒋凯 -专利权人：广东凯宝机器人科技有限公司
申请日： 2020-03-18 - 公布日： 2020-07-31 - 主分类号： B65G49/06 文献下载
摘要：本发明提供一种玻璃载板上料机构，包括载板来料运输车和载板拉料装置；载板来料运输车包括运输架体、若干组支撑组件、前挡料件和后挡料件；运输架体的下方设有脚轮；支撑组件程上下分布在运输架体内；前挡料件活动连接在运输架体前侧；后挡料件固定在运输架体的后侧；载板拉料装置包括拉料架体、升降组件、输送组件和拉料组件；拉料架体设置在载板来料运输车前侧且通过锁扣方式与运输架体连接；升降组件安装在拉料架体上驱动输送组件与拉料组件上下运动；拉料组件用于将载板来料运输车上的玻璃载板拉入输送组件上；输送组件用于驱动玻璃载板从前侧送出；体现出本发明可以稳定高效地对玻璃载板进行上料。
一种玻璃载板上料机构

[实用新型]一种玻璃载板上料机构-CN202020342219.0有效
发明人：蒋凯 -专利权人：广东凯宝机器人科技有限公司
申请日： 2020-03-18 - 公布日： 2020-12-29 - 主分类号： B65G49/06 文献下载
摘要：本实用新型提供一种玻璃载板上料机构，包括载板来料运输车和载板拉料装置；载板来料运输车包括运输架体、若干组支撑组件、前挡料件和后挡料件；运输架体的下方设有脚轮；支撑组件程上下分布在运输架体内；前挡料件活动连接在运输架体前侧；后挡料件固定在运输架体的后侧；载板拉料装置包括拉料架体、升降组件、输送组件和拉料组件；拉料架体设置在载板来料运输车前侧且通过锁扣方式与运输架体连接；升降组件安装在拉料架体上驱动输送组件与拉料组件上下运动；拉料组件用于将载板来料运输车上的玻璃载板拉入输送组件上；输送组件用于驱动玻璃载板从前侧送出；体现出本实用新型可以稳定高效地对玻璃载板进行上料。
一种玻璃载板上料机构

[发明专利]一种玻璃载具夹具-CN202110181158.3在审
发明人：窦福存;施利君;陈书良 -专利权人：苏州晶洲装备科技有限公司
申请日： 2021-02-09 - 公布日： 2021-05-04 - 主分类号： B65G49/06 文献下载
摘要：本发明属于面板玻璃夹持技术领域，公开了一种玻璃载具夹具，包括底座、气缸、连接板以及两个相对设置的夹爪机构，气缸设置在底座上，气缸的输出端连接于连接板，夹爪机构包括连杆和夹爪，连杆一端转动连接于连接板，另一端转动连接于夹爪，气缸被配置为驱动连接板升降运动，使连杆并带动夹爪相对于底座转动，用于夹爪选择性夹持玻璃载具。连接板、连杆以及夹爪在夹持玻璃载具后构成一个封闭的环形结构，如果玻璃载具左右摇摆的话，不会直接反作用到气缸，减小了夹具的摇摆力，解决了大尺寸的夹具在平移过程中发生摇摆的问题，使玻璃载具夹具能够安全平稳的完成平移玻璃载具的动作
一种玻璃夹具