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- [发明专利]光拾取器及光盘装置-CN200680010773.1无效
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手塚耕一
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富士通株式会社
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2006-03-29
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2008-03-26
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G11B7/135
- 一种装载有第一物镜(18)和第二物镜(19)的光拾取器(A1),具备:第一光源(10),射出规定波长的激光;偏光束分离器(16),将具有规定的偏光特性的第一偏光束作为反射光向第一物镜(18)引导,而将具有与其不同的偏光特性的第二偏光束作为透过光向第二物镜(19)引导;偏光控制元件(13),配置在第一光源(10)与偏光束分离器(16)之间,将从第一光源(10)射出的激光变换为第一偏光束及第二偏光束。
- 拾取光盘装置
- [发明专利]测定头以及具备该测定头的偏心测定装置-CN201580077539.X在审
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足立要人;森田晃正
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奥林巴斯株式会社
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2015-03-27
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2017-12-01
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G01B11/27
- 测定头(1)具有光源部(3)、第一摄像元件(4)、第二摄像元件(5)、物镜光学系统(6)、光路分割元件(7)、公共光路(OPC)、第一光路(OP1)、第二光路(OP2),公共光路(OPC)从光路分割元件(7)朝向物镜光学系统(6)形成,第一光路(OP1)从光路分割元件(7)朝向第一摄像元件(4)形成,第二光路(OP2)从光路分割元件(7)朝向第二摄像元件(5)形成,以隔着光路分割元件(7)的方式,公共光路(OPC)位于一侧,第一光路(OP1)和第二光路(OP2)位于另一侧,光路分割元件(7)配置在第一光路(OP1)和第二光路(OP2)交叉的位置上,光源部(3)和第一摄像元件(4)一起配置在规定位置上,第二摄像元件(5)配置在与规定位置不同的位置上,规定位置是物镜光学系统(6)的焦点位置或与物镜光学系统(6)的焦点位置共轭的位置。
- 测定以及具备偏心装置
- [发明专利]检查装置-CN202180015828.2在审
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M·J-J·维兰德
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ASML荷兰有限公司
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2021-02-11
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2022-11-04
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H01J37/28
- 每个射束列包括带电粒子射束源(201),被配置为发射带电粒子;多个会聚透镜(231),被配置为将从带电粒子射束源发射的带电粒子(211、212、213)形成为多个带电粒子射束;会聚透镜被配置为将多个带电粒子射束聚焦到相应中间焦点(233);以及多个物镜(234),被配置为处于所述中间焦点的下游,每个物镜被配置为将多个带电粒子射束中的一者投射到样品上;以及像差校正器(235),被配置为减小多个带电粒子射束中的一个或多个像差。
- 检查装置
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