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[发明专利]一种可置换前组、共用后组的双远心光学系统-CN202210790476.4在审
发明人：马帅;苏辉 -专利权人：闽都创新实验室
申请日： 2022-07-06 - 公布日： 2022-09-30 - 主分类号： G02B13/22 文献下载
摘要：本发明涉及一种可置换前组、共用后组的双远心光学系统，包括前置远心物镜光学系统、光阑和后置远心光学系统，该光学系统从物方到像方依次设有前置远心物镜光学系统、光阑和后置远心光学系统；光阑为可变光阑；前置远心物镜光学系统和光阑之间可设置一分光棱镜；前置远心物镜光学系统的焦距为F1，后置远心光学系统的焦距为F2，该光学系统的放大倍率M满足M＝F2/F1；光阑为可变光阑；前置远心物镜光学系统的出瞳与后置远心光学系统的入瞳重合；前置远心物镜光学系统可根据不同放大倍率需求更换。
一种置换共用双远心光学系统

[实用新型]显微镜照明系统-CN201820838110.9有效
发明人：钟欲飞 -专利权人：钟欲飞
申请日： 2018-05-31 - 公布日： 2018-12-07 - 主分类号： G02B21/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种显微镜照明系统，其包括准直光源，扫描振镜装置，其放置在远心扫描物镜组的孔径光阑上，用于对准直光源输出的平行光束进行扫描；远心扫描物镜组，用于将扫描振镜装置出射的不同角度的准直光束，以主光线平行于光轴的孔径角α1入射到远心扫描物镜的像方焦平面上；散射片，其放置在远心扫描物镜组的像方焦平面上，用于将平行于光轴的主光线的孔径角α1增大至孔径角α2；以及物方远心物镜组，其物方焦平面与远心扫描物镜组的像方焦平面重合，用于将孔径角为α2、主光线平行于光轴的光束经过其，并以平行光束入射到放置在物方远心物镜组的孔径光阑的样品面上。
远心扫描孔径角物镜组焦平面主光线光轴像方显微镜照明系统平行扫描振镜装置物方远心物镜孔径光阑平行光束入射本实用新型物方焦平面平行光束准直光束准直光源散射片直光源重合出射入射物镜对准扫描输出

[发明专利]一种用于光刻系统的单倍双远心光刻投影物镜-CN201510862320.2在审
发明人：邓茜;刘俊伯;赵立新;胡松;司新春;邓钦元;周毅;程依光 -专利权人：中国科学院光电技术研究所
申请日： 2015-12-01 - 公布日： 2016-01-20 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于光刻系统的单倍双远心光刻投影物镜，其采用了双远心结构，主要用于将光刻图案投射到所述投影物镜像平面内。该单倍双远心物镜包括从所述物平面沿光轴依次设置了共12片透镜，其中第1枚和第12枚透镜为负透镜，其余均为正透镜。该物镜前组与后组关于孔径光阑前后使用相同的镜片材料和结构，细微调整空气间隔，形成为类似对称结构。该物镜共轭总长(物方到像方)为L＝419mm，像方工作距为71.74mm。物方、像方远心度均控制在±0.5度以内，放大倍率为-1倍。本发明能够良好的校正多种像差、畸变。该物镜共轭总长较短，镜片较少，结构紧凑，并保证物方和像方双远心特性，可以满足高像质光刻设备要求。
一种用于光刻系统单倍双远心投影物镜

[发明专利]一种窄带滤光片光谱空间的均匀性检测装置及方法-CN202310829884.0在审
发明人：韩琳;孟炳寰;程伟华;向光峰;孙亮;骆冬根;裘帧炜;洪津 -专利权人：中国科学院合肥物质科学研究院
申请日： 2023-07-07 - 公布日： 2023-09-12 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种窄带滤光片光谱空间的均匀性检测装置及方法，该装置包括积分球，参考带通滤光片、物方视场光阑、物方远心物镜、面阵CCD探测器、窄带滤光片样品安装组件、数据采集系统，其中，物方远心物镜包括前镜筒组件和后镜筒组件；窄带滤光片样品安装组件放置在前镜筒组件的物方远心光路中，CCD探测器位于物方远心镜头焦平面。
一种窄带滤光光谱空间均匀检测装置方法

[发明专利]一种光路结构及应用于磁约束等离子体的成像设备-CN202211361363.9在审
发明人：刘亮;余德良;石中兵;何小雪;魏彦玲 -专利权人：核工业西南物理研究院
申请日： 2022-11-02 - 公布日： 2023-01-31 - 主分类号： G02B13/22 文献下载
摘要：本发明涉及磁约束聚变等离子体研究设备，具体涉及一种光路结构及应用于磁约束等离子体的成像设备，该光路结构用于高温等离子体成像，所述光路结构包括两个成对放置的双远心物镜，两个双远心物镜之间连接一个高反射镜，形成一段用于将光路进行一次弯折的物镜组件。通过设置上述的光路结构，当射入的光通过第一双远心物镜后被一个高反射镜反射到次个双远心物镜后输出。这样将高反射镜设置在一对双远心物镜之间，可以使设置的反射镜的尺寸设置的更小、更紧凑。另外，远心镜头之间的工作距离较大，空间较大，方便安装和调试反射镜。
一种结构应用于约束等离子体成像设备

[实用新型]一种双远心物镜和底光源平行照明聚光系统调节装置-CN202022976245.1有效
发明人：谢永列;周杨 -专利权人：贵阳新豪光电有限公司
申请日： 2020-12-09 - 公布日： 2021-11-09 - 主分类号： G02B13/22 文献下载
摘要：本实用新型涉及精密仪器技术领域，具体为一种双远心物镜和底光源平行照明聚光系统调节装置，包括固定构件、前移动构件和后移动构件，固定构件的外侧嵌套设置有前移动构件，前移动构件的外侧嵌套设置有后移动构件。该种双远心物镜和底光源平行照明聚光系统调节装置，通过双远心镜头设计，采用先进的CNC自动高抛生产线高抛工艺和磁控溅射镀膜工艺，生产出高清晰度的光学零件，配合优质的结构，实现物方远心度小于0.04度,像方远心度小于
一种双远心物镜光源平行照明聚光系统调节装置

[发明专利]一种大数值孔径的像方远心物镜和飞点扫描干涉仪-CN202110919983.9在审
发明人：赵效楠;彭思龙;汪雪林;顾庆毅;杜向丽;李强 -专利权人：苏州中科行智智能科技有限公司;济南中自睿视智能科技有限公司
申请日： 2021-08-11 - 公布日： 2021-11-30 - 主分类号： G02B13/22 文献下载
摘要：本发明公开了一种一种大数值孔径的像方远心物镜及飞点扫描干涉仪，用于高扫描要求的应用需求问题。包括：物镜由6片球面镜组成，入瞳位置放置在物镜的物方焦平面位置，满足像方远心光路，第一球面透镜的焦距与物镜的焦距的比值大于等于‑4且小于等于‑0.5；第三球面透镜的焦距与物镜的焦距的比值大于等于1且小于等于3；第五球面透镜的焦距与物镜的焦距的比值大于等于‑1.2且小于等于‑0.4。这样的物镜的干涉仪具有较高分辨率，大的接收镜面反射角，能够更好的满足扫描成像的应用需求。
一种数值孔径像方远心物镜扫描干涉仪

[实用新型]可变孔径与视野的定焦远心物镜-CN202222266065.3有效
发明人：谢小明 -专利权人：桂林弗克斯光电仪器有限公司
申请日： 2022-08-26 - 公布日： 2022-12-30 - 主分类号： G02B13/22 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种可变孔径与视野的定焦远心物镜，包括自像方到物方沿光轴依次设置的孔径光阑、第一群组、第二群组和物平面，第一群组为光焦度为负的透镜组合Ⅰ，第二群组为光焦度为正的透镜组合Ⅱ，孔径光阑的直径依据系统工作于不同的视野而选择不同的光阑大小；透镜组合Ⅰ包括自像方到物方依次设置的弯月形透镜、双凹透镜Ⅰ和双凸透镜Ⅰ，透镜组合Ⅱ包括自像方到物方依次设置的双凸透镜Ⅱ、双凸透镜Ⅲ和双凹透镜Ⅱ。本实用新型结构简单，通用性好，在适当调整孔径光阑大小的前提下可使物镜获得不同的视野，配备不同焦距的管镜，可获得不同倍率的物方远心镜头，而且可采用分光平片作为分光器件引入同轴光照明，易于获得更高的成像对比度
可变孔径视野定焦远心物镜

[发明专利]一种基于远心物镜的显微双目立体视觉测量装置-CN201510532754.6在审
发明人：史铁林;陈科鹏;廖广兰;洪源;张贻春;王肖 -专利权人：华中科技大学
申请日： 2015-08-27 - 公布日： 2015-12-09 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于远心物镜的显微双目立体视觉测量装置，其包括安装固定单元、线性调节单元和图像获取单元，安装固定单元包括水平设置的支撑板和垂直设置在支撑板上的安装板，支撑板上设置有三轴位移台，三轴位移台上放置有待测的微小样块；线性调节单元包括线性平移台和安装在其上的导轨，线性平移台通过安装底板安装在安装板上；图像获取单元共有两组，其关于安装板中轴线对称安装，其包括远心物镜、CCD图像传感器、旋转平台和滑块，远心物镜通过C接口与
一种基于物镜显微双目立体视觉测量装置

[实用新型]基于自准直法的高精度光学定心用光学系统-CN201921057829.X有效
发明人：谢小明 -专利权人：桂林弗克斯光电仪器有限公司
申请日： 2019-07-08 - 公布日： 2020-03-17 - 主分类号： G02B27/62 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种基于自准直法的高精度光学定心用光学系统，包括从待测镜片到照明光源依次设置的前置定心物镜组、平行光管物镜组、分光棱镜组、目标分划板和非球面聚光镜，目标分划板处于分光棱镜组的透射侧，分光棱镜组的反射侧设置测量平面，测量平面与分光棱镜组反射侧的光路上设有扩倍镜组，扩倍镜组与平行光管物镜组构成远摄型光组；前置定心物镜组和平行光管物镜组以及扩倍镜组均可独立校正球差和色差，前置定心物镜和平行光管物镜之间的光线为平行光。
基于准直法高精度光学定心用光系统

[实用新型]一种新型指掌纹光学系统-CN201821352708.3有效
发明人：朱健吾;林金龙 -专利权人：深圳开明智达科技有限公司
申请日： 2018-08-22 - 公布日： 2019-03-26 - 主分类号： G06K9/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种涉及光学技术领域的新型指掌纹光学系统，包括棱镜，棱镜下部设有反射镜、非远心物镜及传感器，棱镜下部还设有照明光源，棱镜上设有采集面、水平反射面及向下反射面，采集面位于水平反射面上方，且采集面与水平反射面平行设置，向下反射面与采集面连接，采集面所采集到的指掌纹信息依次通过水平反射面、向下反射面以及反射镜，穿过非远心物镜最终到达传感器上。本实用新型将内含反射的棱镜、反射镜以及非远心物镜组合在一起，对光路进行三次的反射转折，使得系统的体积减小，重量减轻，制造成本降低，同时也能保证指纹、掌纹图像采集的精度以及清晰度符合标准要求。
棱镜采集面水平反射面反射镜反射面非远心物镜本实用新型掌纹光学系统传感器反射光学技术领域掌纹图像采集标准要求平行设置体积减小掌纹信息照明光源制造成本重量减轻指纹采集穿过转折保证

[发明专利]三远心同轴照明成像光学系统-CN201410728564.7有效
发明人：高兴宇 -专利权人：桂林电子科技大学
申请日： 2014-12-05 - 公布日： 2015-02-18 - 主分类号： G02B13/22 文献下载
摘要：本发明的三远心同轴照明成像光学系统，其前置物镜组和后置物镜组构成双远心成像光学系统，前置物镜组、分光棱镜和照明物镜组构成双远心同轴照明光学系统；孔径光阑AS₁位于前置物镜组的像方焦平面上和后置物镜组的物方焦平面上，孔径光阑AS₂位于前置物镜组的像方焦平面上和照明物镜组的物方焦平面上。本发明将两个双远心系统耦合而成为三远心系统，具有同轴照明和成像双重作用。
三远心同轴照明成像光学系统

[发明专利]一种线光谱共焦传感器-CN202110732230.7有效
发明人：胡浩;李一哲 -专利权人：熵智科技（深圳）有限公司
申请日： 2021-06-29 - 公布日： 2022-05-20 - 主分类号： G01J3/02 文献下载
摘要：一种线光谱共焦传感器，包括：光源、光源光纤、色散物镜、光谱仪光纤以及光谱仪，其中，色散物镜包括沿色散物镜物方至色散物镜像方依次排列的第一透镜组和第二透镜组，第一透镜组用于控制物方远心并对调制侦测光进行初步色散，第二透镜组用于控制像方远心并对调制侦测光进行进一步色散，经由第一透镜组的长焦距与第二透镜组的短焦距配合用于色散物镜物方与色散物镜像方之间的缩放倍率控制，光谱仪用于区分回波的波长，在相机上不同像元位置产生图像该线光谱共焦传感器系统将色散物镜设计为双远心结构，可有效保证投射到被测物上的测量光斑的亮度和精度的一致性。
一种光谱传感器

[发明专利]一种用于时空聚焦的双远心物镜-CN201910626517.4有效
发明人：戴琼海;张雅琳;范静涛 -专利权人：清华大学
申请日： 2019-07-11 - 公布日： 2020-11-03 - 主分类号： G02B13/22 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于时空聚焦的双远心物镜，包括：沿光轴方向从光栅一侧依次设置前后两组透镜和孔径光阑，用于将光栅在频率空间展开的光进行聚焦，其中，前后两组共17块透镜，前组物镜包括L1‑L6六片透镜，后组物镜包括该双远心物镜在镜片补偿了光栅对引入的啁啾，缩短光路长度，使得结构更加简单。
一种用于时空聚焦双远心物镜

[实用新型]一种具有倍率微调功能的光刻远心物镜-CN201520693103.0有效
发明人：曹常瑜 -专利权人：合肥芯碁微电子装备有限公司
申请日： 2015-09-09 - 公布日： 2016-01-06 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型提供一种具有倍率微调功能的光刻远心物镜，从物面开始，沿光轴依次包括具有正焦距的第一透镜组、光阑、具有负焦距的第二透镜组、具有正焦距的单片倍率调节透镜和曝光焦面；所述倍率调节透镜与所述第二透镜组之间满足以下关系本实用新型设计合理，易于实现，操作便捷，在倍率调节的同时能够满足光刻物镜的畸变、远心度等指标要求。
一种具有倍率微调功能光刻物镜

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