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- [发明专利]一种激光蒸发镀膜装置-CN201210499769.3无效
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粟婷;杨柳;刘昕
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中山市创科科研技术服务有限公司
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2012-11-28
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2013-03-06
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C23C14/28
- 一种激光蒸发镀膜装置,其特征在于:包括一真空反应腔;一基板架;一CO2激光器;一He-Ne激光器;一分束镜,位于真空反应腔外并呈45度角设于CO2激光器与He-Ne激光器所发出的激光束的相交位置处;一聚焦凸透镜;一散焦凹透镜;一钳锅,用以盛放待蒸发材料;以及一反射镜,设位于所述钳锅上方,用以将所述激光器发出的激光在由外而内依次经过分束镜、聚焦凸透镜、散焦凹透镜和窗口后,反射至所述钳锅内,对钳锅内的待蒸发材料进行激光加热蒸发,从而在基板架上的基材或基片表面气相沉积出含有所述待蒸发材料的膜层。本发明结构简单,可对高熔点金属材料进行非接触式加热使其蒸发而实现激光蒸发镀膜,且不会污染真空反应腔体。
- 一种激光蒸发镀膜装置
- [实用新型]一种激光蒸发镀膜装置-CN201220645753.4有效
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粟婷;杨柳;刘昕
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中山市创科科研技术服务有限公司
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2012-11-28
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2013-06-05
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C23C14/28
- 一种激光蒸发镀膜装置,其特征在于:包括一真空反应腔;一基板架;一CO2激光器;一He-Ne激光器;一分束镜,位于真空反应腔外并呈45度角设于CO2激光器与He-Ne激光器所发出的激光束的相交位置处;一聚焦凸透镜;一散焦凹透镜;一钳锅,用以盛放待蒸发材料;以及一反射镜,设位于所述钳锅上方,用以将所述激光器发出的激光在由外而内依次经过分束镜、聚焦凸透镜、散焦凹透镜和窗口后,反射至所述钳锅内,对钳锅内的待蒸发材料进行激光加热蒸发,从而在基板架上的基材或基片表面气相沉积出含有所述待蒸发材料的膜层。本实用新型结构简单,可对高熔点金属材料进行非接触式加热使其蒸发而实现激光蒸发镀膜,且不会污染真空反应腔体。
- 一种激光蒸发镀膜装置
- [实用新型]一种双水泵激光器-CN202220267138.8有效
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张荣华
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佛山市桑尼新能源科技有限公司
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2022-02-09
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2022-08-16
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H01S3/04
- 本实用新型涉激光设备技术领域,具体涉及一种双水泵激光器,包括:激光泵浦、第一水泵、第二水泵、储水箱、以及制冷系统,制冷系统包括蒸发器;第一水泵分别与储水箱以及激光泵浦的进水口连接,用于将冷却液体输送至激光泵浦,激光泵浦的出水口与储水箱连接;第二水泵分别与储水箱以及蒸发器的进水口连接,用于将储水箱内温度升高的液体输送至蒸发器内进行冷却,蒸发器的出水口与储水箱连接。第一水泵可减少储水箱内冷却液体输送至激光泵浦的阻力,增加冷却液体输送至激光泵浦的流量,减少激光泵浦的进出水温度差;第二水泵可减少将储水箱内的液体输送至蒸发器的流程阻力,增加储水箱内的液体输送至蒸发器的流量,提高蒸发器的换热量。
- 一种水泵激光器
- [发明专利]多组分液体微量蒸发装置-CN202210786338.9有效
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高炬;赵蒙
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枣庄学院
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2022-07-04
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2023-08-18
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B01D1/00
- 本发明属于物质检测技术领域,具体涉及多组分液体微量蒸发装置。所述多组分液体微量蒸发装置,其包括密闭的蒸发室、设置在蒸发室外的激光器、设置在蒸发室上位于激光器光路上的入射口、设置在蒸发室顶部的出气机构、为蒸发室抽真空的真空系统、设置在蒸发室内承载样品的容器和为样品提供超声振动的超声装置本发明提供的技术方案通过脉冲激光使液体样品蒸发,因为激光脉冲很短暂,蒸发仅仅发生在液体的表面,样品主体仍维持在较低温度,因此产生的蒸汽可以基本保持其多组分液体样本按原有比率蒸发,另外液体与容器器壁也不会存在高温导致的反应
- 组分液体微量蒸发装置
- [实用新型]激光泵浦底座-CN202320870879.X有效
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邓清;邓作波
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深圳市润芯科技有限公司
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2023-04-18
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2023-10-20
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H01S5/024
- 本实用新型公开一种激光泵浦底座,其中,激光泵浦底座包括:座体,座体的外壁具有安装面,安装面用于固定激光泵浦源,座体还设有蒸发腔及与蒸发腔连通的第一出口,蒸发腔靠近激光泵浦源的内壁设有蒸发面,蒸发面与安装面背向设置;冷媒管,穿设于座体,冷媒管设有冷媒通道、第一入口以及出液口,第一入口连通冷媒通道和外部环境,出液口连通冷媒通道和蒸发腔;其中,冷媒液体自第一入口进入冷媒通道,通过出液口进入蒸发腔,移动至蒸发面上部分汽化为冷媒气体,冷媒气体以及未汽化的冷媒液体通过第一出口离开蒸发腔。
- 激光底座
- [发明专利]一种激光光源散热系统及激光投影设备-CN201510374927.6在审
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吴志胜;张琰
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海信集团有限公司
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2015-06-30
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2017-01-11
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G03B21/16
- 本发明涉及激光器领域,特别是涉及一种激光光源散热系统及激光投影设备,用以解决现有技术中存在的激光器散热效果差的问题,该系统至少包括:激光显示装置、密封壳体、蒸发器,以及压缩制冷系统,其中,激光显示装置,至少包括光源系统,且激光显示系统密封在密封壳体内部;压缩制冷系统,与密封壳体连接,用于对激光显示系统进行散热,其中,压缩制冷系统至少包括蒸发器,蒸发器置于所述密封壳体内部。因此,将激光显示装置利用密封壳体密闭包围,防止灰尘的进入,压缩制冷系统利用媒介进行相变过程中能大量吸收潜热的特性进行散热,蒸发器置于所述密封壳体内部,能够有效吸收激光器阵列散发的热量,实现了封闭式结构的有效散热
- 一种激光光源散热系统投影设备
- [发明专利]运行激光系统的方法、激光系统以及蒸发系统-CN202180092211.0在审
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W·布劳恩
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马克斯·普朗克科学促进学会
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2021-01-27
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2023-09-29
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C23C14/28
- 本发明涉及一种用于运行激光系统(10)的方法,所述激光系统用于提供激光光束(22),所述激光光束用于加热位于蒸发系统(60)的反应腔室(62)中的目标物(66)的表面(68),所述激光系统(10)包括激光光源(20),所述激光光源用于提供具有至少基本上居中的峰值的强度剖面(24)的至少基本上平行的激光光束(22)。另外,本发明涉及一种用于加热位于蒸发系统(60)的反应腔室(62)中的目标物(66)的表面(68)的激光系统(10),所述反应腔室(62)包括腔室窗口(64),并且所述激光系统(10)包括激光光源(20),所述激光光源用于提供具有至少基本上居中的峰值的强度剖面(24)的至少基本上平行的激光光束(22)。此外,本发明涉及一种蒸发系统(60),所述蒸发系统(60)包括位于反应腔室(62)中的目标物(66)和用于加热所述目标物(66)的表面(68)的至少一个激光系统(10)。
- 运行激光系统方法以及蒸发
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