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[发明专利]一种激光加工装置、加工设备和加工方法-CN202011551185.7在审
发明人：梁乔春;李志刚;朱凡;朱胜鹏 -专利权人：武汉帝尔激光科技股份有限公司
申请日： 2020-12-23 - 公布日： 2022-02-11 - 主分类号： B23K26/38 文献下载
摘要：本发明提供了一种激光加工装置、加工设备和加工方法，包括：激光调整模组，用于将第一激光束分成多个第一子激光束，将第二激光束分成多个第二子激光束，多个第一子激光束形成多个第一光斑，多个第二子激光束形成多个第二光斑，且任一第一光斑位于一第二光斑前方预设距离处；第一运动模组，用于带动第一激光器、第二激光器和激光调整模组移动，或者，带动待切割器件移动，以使多个第一子激光束分别沿多个预设切割路径移动的同时，多个第二子激光束也分别沿多个预设切割路径移动，并使任一第一子激光束和一第二子激光束在一预设切割路径上依次形成切割槽和切割线，从而节省了切割时间，缩短了切割产程，提高了切割产能。
一种激光加工装置设备方法

[发明专利]激光照射机构-CN201811123649.7有效
发明人：能丸圭司 -专利权人：株式会社迪思科
申请日： 2018-09-26 - 公布日： 2023-01-06 - 主分类号： B23K26/53 文献下载
摘要：提供激光照射机构，即使在对脉冲激光束进行间疏而断续地进行照射的情况下，也能够通过放大器放大至适当的功率。激光照射机构(40A)具有按照脉冲的方式振荡出线偏振的激光束的激光振荡器(41A)，激光照射机构(40A)包含：偏振面合成单元(42A)，其对激光振荡器(40A)所振荡出的具有第一偏振面的脉冲激光束选择性地合成具有旋转了90度的第二偏振面的脉冲激光束；放大器(43)，其将偏振面合成单元(42A)所合成的脉冲激光束的功率放大；以及脉冲激光束提取单元(44)，其提取出被放大器(43)放大了的脉冲激光束中所包含的具有第一偏振面的脉冲激光束和具有该第二偏振面的脉冲激光束中的具有要利用的偏振面的脉冲激光束
激光照射机构

[实用新型]一种激光加工装置和加工设备-CN202023141579.3有效
发明人：梁乔春;李志刚;朱凡;朱胜鹏 -专利权人：武汉帝尔激光科技股份有限公司
申请日： 2020-12-23 - 公布日： 2021-10-15 - 主分类号： B23K26/38 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种激光加工装置和加工设备，包括：激光调整模组，用于将第一激光束分成多个第一子激光束，将第二激光束分成多个第二子激光束，多个第一子激光束形成多个第一光斑，多个第二子激光束形成多个第二光斑，且任一第一光斑位于一第二光斑前方预设距离处；第一运动模组，用于带动第一激光器、第二激光器和激光调整模组移动，或者，带动待切割器件移动，以使多个第一子激光束分别沿多个预设切割路径移动的同时，多个第二子激光束也分别沿多个预设切割路径移动，并使任一第一子激光束和一第二子激光束在一预设切割路径上依次形成切割槽和切割线，从而节省了切割时间，缩短了切割产程，提高了切割产能。
一种激光加工装置设备

[发明专利]激光装置-CN202110493235.9在审
发明人：埃米尔·阿斯兰诺夫;金锺棋;裵允景;韩圭完 -专利权人：三星显示有限公司
申请日： 2021-05-07 - 公布日： 2021-11-26 - 主分类号： G02B19/00 文献下载
摘要：公开了一种激光装置。所述激光装置包括：光源，产生激光束；台；以及透镜组件，设置在光源与台之间且将激光束照射到设置在台上的基底。透镜组件包括：第一透镜组件，使从光源提供的激光束发散；偏转器，改变从第一透镜组件提供的激光束的路径；以及第二透镜组件，使从偏转器提供的激光束会聚且将会聚的激光束照射到基底。
激光装置

[发明专利]激光加工装置和输出确认方法-CN201811123594.X有效
发明人：小田中健太郎 -专利权人：株式会社迪思科
申请日： 2018-09-26 - 公布日： 2022-07-08 - 主分类号： B23K26/38 文献下载
摘要：提供激光加工装置和输出确认方法，确认被分支成多个光路的各激光束的输出。激光加工装置(1)具有：振荡出照射至工作台(30)所保持的被加工物(W)的激光束的单元(60)；将激光束分支成第1光路和第2光路的单元(63)；和将所分支的激光束分别会聚至被加工物的加工面的单元(64)，分支单元(63)包含对第1光路和第2光路的激光束的输出进行调整的调整部(633)，激光加工装置具有：输出测量器(80)，其对从激光束产生单元(60)射出并通过了聚光器(64)的激光束的输出进行测量；和遮蔽部件定位单元，其配设在聚光器(64)与输出测量器(80)之间，将遮蔽部件(70)定位于仅对所分支的激光束中的第1光路的激光束进行遮蔽的第1激光束遮蔽位置和对所有的激光束都不进行遮蔽的退避位置。
激光加工装置输出确认方法

[发明专利]一种用于激光束和等离子弧复合焊接的焊炬-CN201710066985.1在审
发明人：王长春;陈卓勤 -专利权人：王长春
申请日： 2017-02-07 - 公布日： 2017-05-31 - 主分类号： B23K26/348 文献下载
摘要：一种激光束等离子弧复合多功能焊炬，具有激光束穿过的空腔，焊炬空腔下端有压缩喷嘴，等离子电极在焊炬的压缩喷嘴上方组成一狭缝，部分激光束入射在电极的狭缝边缘，部分激光束则穿过狭缝后聚焦到工件。被激光束辐射加热的电极造成气体电离化，在电极和压缩喷嘴之间首先形成等离子弧，该等离子弧被压缩喷嘴压缩后与工件之间建立起等离子弧，穿过喷嘴的激光束聚焦并与该等离子弧相互作用，所造成的等离子弧与激光束相互作用形成等离子‑激光放电，使等离子弧进一步收缩，在与激光束共同作用下，在工件上形成了高能量密度的焊接点。该装置消除了激光束焊接和等离子焊接的缺陷，具有比常规的激光束与电弧复合焊接更高的复合热源耦合效率。
一种用于激光束等离子复合焊接

[发明专利]激光退火制备SiC欧姆接触的方法-CN202110594560.4在审
发明人：刘洋;章磊;罗闻 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2021-05-28 - 公布日： 2022-11-29 - 主分类号： H01L21/28 文献下载
摘要：本发明提供一种激光退火制备SiC欧姆接触的方法。所述方法包括：提供待处理的SiC器件结构，SiC器件结构包括SiC衬底层以及用于形成硅化物的表面金属层；利用第一激光束和第二激光束的组合共同对SiC器件结构的上表面进行退火，第一激光束用于对SiC器件结构进行预加热，第二激光束用于对SiC器件结构进行控温；其中，在同一脉冲周期内，第一激光束的脉冲宽度小于第二激光束的脉冲宽度，且所述第一激光束加载结束后，间隔设定延时时间，所述第二激光束开始加载。利用第一激光束和第二激光束的组合对SiC器件结构进行退火，可以较为精确地调节退火温度和退火时间，以产生合适的化学产物,便于获得满足要求的SiC欧姆接触。
激光退火制备 sic 欧姆接触方法

[发明专利]曝光系统及曝光装置-CN202110844841.0在审
发明人：张恒;方宗豹;浦东林;朱雷;司群英;陈林森 -专利权人：苏州维旺科技有限公司;苏州大学;盐城维旺科技有限公司
申请日： 2021-07-26 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明涉及的曝光系统，用以在工件上曝光三维结构，曝光系统沿激光束前进方向依次设置有发射激光束的激光器、用以对激光束的光斑进行变倍扩束的扩束镜、限制激光束的光阑、偏转激光束方向的振镜、以及保证激光束垂直出射的场镜组，振镜包括用以反射激光束的反射片，反射片可旋转以扩大激光束出射的范围，激光束出射的范围为3mm*3mm‑15mm*15mm，曝光系统在光阑作用下，能够在工件上形成三维结构，振镜中的反射片能够可旋转以扩大激光束出射的范围
曝光系统装置

[发明专利]复合式激光电弧焊接工艺和设备-CN201310189364.4有效
发明人：林德超;崔岩;D.V.布茨;S.C.科蒂林加姆 -专利权人：通用电气公司
申请日： 2013-05-21 - 公布日： 2013-12-04 - 主分类号： B23K28/02 文献下载
摘要：本发明涉及复合式激光电弧焊接工艺和设备。一种焊接方法和设备，同时利用激光束和电弧焊接技术。这种焊接设备产生第一激光束，第一激光束被投射到至少两个工件之间的接头区域上，以在工件的相邻的表面上产生第一激光束投射部，并使第一激光束投射部沿着接头区域而行进并穿透接头区域。这种设备还产生电弧以产生电弧投射部，电弧投射部包围第一激光束投射部，并与之一起沿着接头区域行进，以形成熔融焊池。另外，该设备还产生一对侧部激光束，该对侧部激光束产生侧部激光束投射部，侧部激光束投射部被电弧投射部包围，并且与接头区域横向地间隔开，以与焊池的固化而限定焊接接头的焊趾的部分互相作用。
复合激光电弧焊接工艺设备

[发明专利]用于晶圆的激光处理的方法-CN200510116266.3有效
发明人：星野仁志;大庭龙吾;古田健次;武田升;北原信康 -专利权人：株式会社迪斯科
申请日： 2005-11-04 - 公布日： 2006-06-21 - 主分类号： B23K26/00 文献下载
摘要：一种利用激光束处理机来进行晶圆的激光处理的方法，该激光束处理机包括用于保持晶圆的卡盘台、用于将激光束施加到保持在卡盘台上的晶圆的激光束施加装置以及用于使卡盘台和激光束施加装置相对彼此处理－进给的处理－进给装置，该方法包括以下步骤：晶圆附着步骤，用于将晶圆放置在安装在环形框架上的保护带的表面上；晶圆保持步骤，用于将放置在保护带上的晶圆保持在卡盘台上；以及激光束施加步骤，用于将具有预定波长的激光束从激光束施加装置施加到保持在卡盘台上的晶圆，并且利用该处理－进给装置来处理－进给该晶圆，其中保护带由传输从激光束施加装置施加的、具有预定波长的激光束的材料制成。
用于激光处理方法

[发明专利]切割基板的装置及其使用方法-CN200510080124.6有效
发明人：朴正权 -专利权人： LG.菲利浦LCD株式会社
申请日： 2005-06-29 - 公布日： 2006-05-10 - 主分类号： B23K26/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种用来切割基板的装置，包括产生飞秒激光束的激光振荡器，将飞秒激光束分离成第一和第二飞秒激光束的第一分束器；接收第一飞秒激光束并汇聚第一飞秒激光束达到第一聚焦深度的第一聚光透镜，接收第二飞秒激光束并汇聚第二飞秒激光束达到不同于第一聚焦深度的第二聚焦深度的第二聚光透镜，以及第二分束器，用来接收并且分离通过第一聚光透镜汇聚的第一飞秒激光束和通过第二聚光透镜汇聚的第二飞秒激光束，并将分离的第一和第二飞秒激光束照射在待切割基板上的不同位置。
切割装置及其使用方法

[发明专利]一种多材料激光诱导转移3D打印方法及装置-CN202110708018.7在审
发明人：谢小柱;黄亚军;龙江游;任庆磊;胡伟;何梓裕 -专利权人：广东工业大学
申请日： 2021-06-24 - 公布日： 2021-10-26 - 主分类号： B29C64/135 文献下载
摘要：本发明涉及3D打印的技术领域，更具体地，涉及一种多材料激光诱导转移3D打印方法及装置，包括以下步骤：激光器产生激光束，将激光束调整为水平偏振状态，后对激光束进行扩束准直；经准直的激光束经反射进入空间光调制器调制得到目标光光束形状；对调整好的激光束进行收拢聚焦，使得激光束发散角度变小，并对收拢的激光束进行再次准直得到平行激光束；平行激光束中特定波长的激光经物镜再次聚焦用于加工，同时，CCD视觉系统实时监测加工过程。本发明的多材料激光诱导转移3D打印方法及装置，通过空间光调制器对激光光束整形并结合激光诱导转移技术，实现对任意形状、多材料的3D微结构的制备，扩大了激光诱导向前转移技术的适用范围。
一种材料激光诱导转移打印方法装置

[发明专利]激光扫描系统-CN202080097506.2在审
发明人：李永啸;W·M·李;Y·J·林 -专利权人：澳大利亚国立大学
申请日： 2020-12-23 - 公布日： 2022-10-11 - 主分类号： G02B21/00 文献下载
摘要：一种在视场上扫描激光束的方法以及相应的系统，所述方法包括：提供激光器以产生激光束；在视场的第一子区域上对激光束进行光栅化；将激光束偏转到视场的第二子区域；和在视场的第二子区域上对激光束进行光栅化；捕获由激光束产生的图像信息，以便对于视场的每个子区域，光栅化的激光束定义多个图像片段；为每个片段计算图像校正，并根据为所述片段计算的图像校正对激光器进行校正。
激光扫描系统

[发明专利]一种军用发射架的激光焊接方法-CN201710008146.4有效
发明人：王西峰;徐良;杨海锋 -专利权人：机械科学研究总院青岛分院有限公司
申请日： 2017-01-05 - 公布日： 2019-06-25 - 主分类号： B23K26/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种军用发射架的激光焊接方法，在采用激光热源，所述的激光焊接光束包括先行激光束和后行激光束，先行激光束，用于在焊缝中形成激光匙孔，后行激光束用于继续加热焊缝，降低其冷却速度，降低了裂纹产生的倾向
一种军用发射架激光焊接方法

[发明专利]用于在激光沉积过程中控制基板中的应力的方法-CN202110581651.4在审
发明人： K·H·韦杰;J·A·霍伊费尔;W·C·L·霍普曼;K·H·A·波姆;J·M·德克斯;J·A·扬森斯 -专利权人：索尔玛特斯有限责任公司
申请日： 2021-05-27 - 公布日： 2021-12-03 - 主分类号： C23C14/28 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于在激光沉积过程中控制基板上的薄膜中的应力的方法，该方法包括以下步骤：提供激光沉积装置，其包括腔室，腔室有：靶保持器，靶保持器有靶；基板保持器，基板保持器有面对靶的基板；以及窗口；激光沉积装置还包括激光束，激光束通过腔室的窗口被引导至靶处的点上，用于产生靶材料的等离子体羽流，并使得靶材料沉积在基板的表面部分上，以形成靶材料的薄膜；在基板上确定多个离散表面部分；使靶点一个接一个地与各离散表面部分对齐，并产生等离子体羽流，以使靶材料沉积在各离散表面部分上；根据与靶点对齐的离散表面部分来调节沉积处理的至少一个参数，参数包括温度、压力、激光束脉冲持续时间、激光束功率、靶至基板的距离。
用于激光沉积过程控制中的应力方法