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[发明专利]光束成形光学系统-CN201910567685.0有效
发明人：埃米尔·阿斯拉诺夫;柳济吉;三宫晓史;沃洛诺夫·亚历山大;崔银善;韩圭完 -专利权人：三星显示有限公司
申请日： 2019-06-27 - 公布日： 2023-09-01 - 主分类号： B23K26/06 文献下载
摘要：本发明公开光束成形光学系统。本发明一实施例公开如下的光束成形光学系统，其包括：多个激光源；传递(delivery)单元，将从所述多个激光源出射的多个光沿与光轴(Z轴)垂直的Y轴方向排列成列(column)；望远镜(telescope)单元，沿与所述光轴和所述Y轴垂直的X轴方向放大从所述传递单元入射的多个光的光束分布；光束变换(beam transformation)单元，通过将从所述望远镜单元入射的多个光中的每一个分割为N个(N为大于2的整数)而形成包含所述多个光中的每一个的N个子列(sub‑column)，并且使所述N个子列中的每一个以所述Z轴为中心旋转90度；以及傅里叶单元，通过傅里叶变换来混合包含在通过所述光束变换单元形成的N个子列中的多个光。
光束成形光学系统

[发明专利]激光设备-CN202310203686.3在审
发明人：李成用;铃木俊成;明承镐;韩京熙;韩圭完 -专利权人：三星显示有限公司
申请日： 2020-08-05 - 公布日： 2023-06-06 - 主分类号： B23K26/00 文献下载
摘要：本公开涉及一种激光设备，包括：第一真空腔室，其中在第一真空腔室中的目标基底上执行加工；激光器，面对第一真空腔室；载体，设置在第一真空腔室中，其中目标基底坐置在载体上；腔室窗，设置在第一真空腔室的一个表面中，其中由激光器发射的激光束穿过腔室窗；第一保护窗，位于载体和腔室窗之间；第二真空腔室，设置在第一真空腔室的第一侧处；和传送单元，配置为将第一保护窗传送到第二真空腔室。
激光设备

[发明专利]激光处理设备-CN201910808993.8有效
发明人：三宫晓史;亚历山大·乌若诺夫;金炯柱;崔银善;埃米尔·阿斯拉诺夫;韩圭完 -专利权人：三星显示有限公司
申请日： 2019-08-29 - 公布日： 2023-05-12 - 主分类号： B23K26/046 文献下载
摘要：本公开涉及一种激光处理设备，所述激光处理设备包括：光源，配置为产生激光束；以及聚光光学系统，配置为将所述激光束在待处理对象处会聚到焦点，所述聚光光学系统包括通孔光学元件和位于所述通孔光学元件下面的复合光学元件，其中，所述通孔光学元件在所述通孔光学元件的下表面处包括配置为凹面镜的第一凹进部，并且其中，所述复合光学元件的上表面为凸形，并且包括配置为反射所述激光束的第一区域和配置为透射所述激光束的第二区域。
激光处理设备

[发明专利]激光设备-CN202010778290.8有效
发明人：李成用;铃木俊成;明承镐;韩京熙;韩圭完 -专利权人：三星显示有限公司
申请日： 2020-08-05 - 公布日： 2023-03-21 - 主分类号： B23K26/00 文献下载
摘要：本公开涉及一种激光设备，包括：第一真空腔室，其中在第一真空腔室中的目标基底上执行加工；激光器，面对第一真空腔室；载体，设置在第一真空腔室中，其中目标基底坐置在载体上；腔室窗，设置在第一真空腔室的一个表面中，其中由激光器发射的激光束穿过腔室窗；第一保护窗，位于载体和腔室窗之间；第二真空腔室，设置在第一真空腔室的第一侧处；和传送单元，配置为将第一保护窗传送到第二真空腔室。
激光设备

[发明专利]激光加工设备-CN201811285146.X有效
发明人：金道善;姜泽教;明承镐;崔珉圭;韩圭完 -专利权人：三星显示有限公司
申请日： 2018-10-31 - 公布日： 2022-09-20 - 主分类号： B23K26/14 文献下载
摘要：提供了一种激光加工设备，该激光加工设备可以包括：激光发生器，被构造为产生激光束；平台，被构造为支撑目标对象；至少一个供给喷嘴，位于平台上以朝向平台喷射空气；吸单元，被构造为吸入外部空气；以及吸结构，位于平台上方并且邻近于所述至少一个供给喷嘴。吸结构可以包括连接到吸单元的吸孔以吸入外部空气。吸结构可以包括限定有吸孔的倾斜表面。吸结构可以包括邻近于供给喷嘴的第一表面，开口可以被限定在第一表面的与底表面邻近的区域中。倾斜表面与目标对象之间的距离可以小于或等于开口的高度。
激光加工设备

[发明专利]包括具有衍射光学元件的F-θ透镜的光学系统-CN201811533022.9有效
发明人： E·阿斯拉诺夫;亚历山大·沃罗诺夫;韩圭完 -专利权人：三星显示有限公司
申请日： 2018-12-14 - 公布日： 2022-08-09 - 主分类号： G02B13/00 文献下载
摘要：提供了一种包括具有衍射光学元件的F‑θ透镜的光学系统。所述F‑θ透镜包括衍射光学元件和多个球面透镜。衍射光学元件包括具有三级或更多级并且被限定在衍射光学元件的表面上的多级衍射结构，衍射光学元件在激光束的路径上布置在球面透镜之前。
包括具有衍射光学元件透镜光学系统

[发明专利]激光结晶化装置-CN202111670008.5在审
发明人：三宫晓史;柳济吉;朴喆镐;李惠淑;全镇弘;蔡永洙;韩圭完 -专利权人：三星显示有限公司
申请日： 2021-12-31 - 公布日： 2022-07-08 - 主分类号： H01L21/268 文献下载
摘要：本公开涉及一种激光结晶化装置，根据实施例的激光结晶化装置可以包括：光源部；以及路径转换部，将从所述光源部入射的激光束转换成具有与第一方向平行的长轴和与第二方向平行的短轴的线形光束，所述路径转换部包括：入射窗，与所述第二方向平行地延伸；出射窗，与所述第一方向平行地延伸；第一反射部，位于所述入射窗的侧面；第二反射部，位于所述出射窗的侧面。
激光结晶化装

[发明专利]激光晶化设备-CN202210003640.2在审
发明人：三宫晓史;柳济吉;朴喆镐;李惠淑;全镇弘;蔡永洙;韩圭完 -专利权人：三星显示有限公司
申请日： 2022-01-05 - 公布日： 2022-07-08 - 主分类号： C30B28/02 文献下载
摘要：根据实施例的激光晶化设备包括：光源单元，照射激光束；以及光学单元，激光束入射到光学单元，其中，光学单元包括在结合表面上彼此结合的第一部分和第二部分，并且基于与激光束的入射方向平行的方向，第一部分的第一宽度和第二部分的第二宽度在结合表面上彼此相同。
激光设备

[发明专利]显示设备和制造该显示设备的方法-CN202210004017.9在审
发明人：金元容;金锺棋;韩圭完 -专利权人：三星显示有限公司
申请日： 2022-01-05 - 公布日： 2022-07-08 - 主分类号： H01L51/56 文献下载
摘要：提供了一种显示设备和制造该显示设备的方法，所述方法包括：准备基底，在基底中限定了开口区域和环绕开口区域的至少一部分的非显示区域；在基底上形成绝缘层，绝缘层具有与开口区域对应的开口并且在非显示区域中限定包括第一区域和第二区域的照射区域；在照射区域中形成导电图案，导电图案覆盖第一区域并且暴露第二区域；在绝缘层和导电图案上形成有机材料层；在有机材料层上形成电极层，并且通过将激光束照射到照射区域来去除导电图案、照射区域中的有机材料层和照射区域中的电极层。
显示设备制造方法

[发明专利]可折叠显示装置-CN202111436278.X在审
发明人：柳廷和;亚历山大·乌若诺夫;金亨植;李中成;柳济吉;朴成圭;郑宇眩;韩圭完 -专利权人：三星显示有限公司
申请日： 2021-11-29 - 公布日： 2022-06-24 - 主分类号： G09F9/30 文献下载
摘要：提供了可折叠显示装置。可折叠显示装置包括：柔性显示模块，包括第一区域、第二区域以及在第一区域和第二区域之间的可折叠区域；第一支承部，布置在柔性显示模块下方并且包括在第一方向上延伸的多个第一碳纤维；以及第二支承部，布置在第一支承部下方并且包括在第二方向上延伸的多个第二碳纤维。
可折叠显示装置

[发明专利]光学系统以及包括该光学系统的激光切割装置-CN202111504187.5在审
发明人：亚历山大·沃罗诺夫;埃米尔·阿斯拉诺夫;金亨植;朴成圭;李中成;郑宇眩;韩圭完 -专利权人：三星显示有限公司
申请日： 2021-12-10 - 公布日： 2022-06-14 - 主分类号： B23K26/04 文献下载
摘要：本发明公开一种光学系统以及包括该光学系统的激光切割装置。用于处理贝塞尔光束的光学系统包括：被配置为将高斯激光束转换为第一贝塞尔光束的光束转换透镜，在光束转换透镜的发射面方向与光束转换透镜间隔开并且被配置为通过折射并聚集第一贝塞尔光束而将第一贝塞尔光束转换为第二贝塞尔光束的光束聚集器，以及位于光束转换透镜与光束聚集器之间并且被配置为遮蔽第一贝塞尔光束的一部分的掩模。
光学系统以及包括激光切割装置

[发明专利]激光晶化装置-CN201811208687.2有效
发明人：三宫晓史;吴元熙;李京在;崔银善;韩圭完;柳济吉;曹永根 -专利权人：三星显示有限公司
申请日： 2018-10-17 - 公布日： 2022-06-07 - 主分类号： B23K26/06 文献下载
摘要：本发明涉及一种激光晶化装置，根据本发明的实施例的激光晶化装置包括：光源部，产生激光束形态的多束输入光；光学系统，将从所述光源部接收的所述输入光转换为至少一束输出光；以及台面，安置有对象基板，并且被照射所述输出光，所述光学系统包括：混合部，将入射的光分割及混合；第一偏光调制部，在光路径上布置于所述光源部以及所述混合部之间；加工部，在所述光路径上布置于所述混合部的后方，并且形成所述输出光；以及第二偏光调制部，在所述光路径上布置于所述加工部以及所述混合部之间，并包括至少一个四分之一波长板。
激光化装

[发明专利]激光装置-CN202111246030.7在审
发明人：三宫暁史;柳济吉;朴喆镐;李惠淑;蔡永洙;韩圭完 -专利权人：三星显示有限公司
申请日： 2021-10-26 - 公布日： 2022-05-27 - 主分类号： H01S5/02253 文献下载
摘要：激光装置可以包括：激光产生器，在第一方向上射出第一激光束和第二激光束；光束变换单元，包括第一激光束入射的第一光学系统和第二激光束入射的第二光学系统；和聚光透镜，使从光束变换单元射出的第一激光束和第二激光束折射来进行聚光，第一光学系统和第二光学系统分别包括：透镜组，包括使第一激光束和第二激光束各自的尺寸延伸且对其进行压缩的第一透镜至第m透镜(m是2以上的自然数)；和光束品质因子变换部，分别在第二方向上分割从透镜组射出的第一激光束和第二激光束来形成多个块光束，并在第三方向上排列多个块光束来进行射出，从第一光学系统的第m‑1透镜射出的第一激光束向第一光学系统的第m透镜的第三方向上的离轴入射。
激光装置

[发明专利]玻璃及制造玻璃的方法-CN202111402340.3在审
发明人：亚历山大·沃罗诺夫;金亨植;朴成圭;柳廷和;李中成;郑宇眩;韩圭完 -专利权人：三星显示有限公司
申请日： 2021-11-23 - 公布日： 2022-05-24 - 主分类号： C03C15/00 文献下载
摘要：本申请提供玻璃及制造玻璃的方法，制造玻璃的方法包括：在玻璃衬底的第一表面上形成第一蚀刻保护层，并且在玻璃衬底的第二表面上形成第二蚀刻保护层；通过施加从玻璃衬底的第一表面的上方穿透玻璃衬底的激光脉冲来去除第一蚀刻保护层的一部分和第二蚀刻保护层的一部分；通过使用蚀刻溶液蚀刻玻璃衬底来在玻璃衬底中形成切割部；以及去除第一蚀刻保护层和第二蚀刻保护层。第二表面与第一表面相对。
玻璃制造方法

[发明专利]基板处理装置-CN202111374572.2在审
发明人：全镇弘;韩圭完 -专利权人：三星显示有限公司
申请日： 2021-11-17 - 公布日： 2022-05-20 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：公开了一种基板处理装置，该基板处理装置包括：第一腔室，在该第一腔室中执行对基板的蚀刻工艺；腔室窗，布置在第一腔室的一个表面上；激光模块，布置在第一腔室的外部，并通过腔室窗向基板照射激光束，以执行蚀刻工艺；第一保护窗，位于基板和腔室窗之间；第二腔室，布置在第一腔室的一侧；传送部，将第一保护窗从第一腔室传送到第二腔室；以及清洗模块，布置在第二腔室的内部，并对传送到第二腔室的第一保护窗执行清洗工艺。
处理装置

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