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[实用新型]一种光程倍增的激光干涉仪用检定装置-CN202021247831.6有效
发明人：刘红光 -专利权人：天津市计量监督检测科学研究院
申请日： 2020-07-01 - 公布日： 2021-03-16 - 主分类号： G01B9/02 文献下载
摘要：本实用新型属于几何测量装置检定装置技术领域，涉及一种激光干涉仪检定装置，尤其是一种光程倍增的激光干涉仪用检定装置，包括一个干涉镜，移动反射镜和标准激光干涉仪，在移动反射镜的反射侧固定安装有一增程反射镜，增程反射镜接收移动反射镜反射的激光束，并将激光束再次反射至移动反射镜表面，由移动反射镜二次反射的激光束最终经干涉镜反射至激光干涉仪的接收侧；在所述干涉镜分光一侧的位置固定有待检的激光干涉仪，干涉镜的对侧与待检激光干涉仪对称的位置安装有固定反射镜，其中标准激光干涉仪，待检激光干涉仪和固定反射镜与干涉镜的镜面等距设置，由待检的激光干涉仪出射的激光束与标准激光干涉仪出射的激光束共光路形成叠加光束。
一种光程倍增激光干涉仪检定装置

[发明专利]激光干涉光刻中的曝光光束相位测量方法和光刻系统-CN201911050178.6有效
发明人：王磊杰;朱煜;张鸣;徐继涛;成荣;李鑫;杨开明;胡金春 -专利权人：清华大学;北京华卓精科科技股份有限公司
申请日： 2019-10-31 - 公布日： 2020-10-13 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明属于光学仪器仪表设备技术领域，公开了一种激光干涉光刻中的曝光光束相位测量方法，从激光干涉光刻的曝光光束中分离出测量光输入激光相位测量干涉仪对激光干涉光刻的曝光光束进行相位测量，再引入与激光干涉光刻曝光光束同源的参考光束也输入激光相位测量干涉仪，由激光相位测量干涉仪处理形成干涉测量光信号，进行解算得到激光干涉光刻的曝光光束的相位。本发明公开了一种激光干涉光刻系统，包括激光相位测量干涉仪、控制器和相位调制器，采用前述激光干涉光刻中的曝光光束相位测量方法，用激光相位测量干涉仪测量曝光光束相位是否漂移，由控制器控制相位调制器进行相位调制
激光干涉光刻中的曝光光束相位测量方法系统

[发明专利]基于马赫曾德干涉的高频热释放率脉动场测量装置及方法-CN202210051784.5有效
发明人：杨立军;李敬轩;梁炫烨;张玥;刘腾宇 -专利权人：北京航空航天大学
申请日： 2022-01-18 - 公布日： 2022-04-26 - 主分类号： G01K11/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种基于马赫曾德干涉的高频热释放率脉动场测量装置及方法，包括：马赫曾德干涉仪；马赫曾德干涉仪包括：激光器，激光扩束镜，半透半反镜，第一反射镜，第二反射镜和干涉成像装置；激光扩束镜，用于将激光器发出的单束激光束扩束为激光柱；半透半反镜，用于将激光柱分为参考路激光和测量路激光；第二反射镜设置于测量路激光的光学路径上，以使测量路激光经过第二反射镜的反射之后穿过待测火焰区域，并进入干涉成像装置；干涉成像装置，用于汇聚参考路激光和测量路激光形成干涉条纹本发明缓解了现有技术中存在的对于火焰热释放率场测量困难的技术问题。
基于马赫干涉高频释放脉动测量装置方法

[发明专利]一种激光自混合干涉测量装置-CN202211584065.6在审
发明人：郭常盈;杨倩;马丽 -专利权人：南阳理工学院
申请日： 2022-12-10 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： G01D5/26 文献下载
摘要：本发明属于激光测量技术领域，且公开了一种激光自混合干涉测量装置，包括激光干涉测量仪，所述激光干涉测量仪的正面固定安装有激光头，所述激光干涉测量仪的正面设有干涉组件，所述激光干涉测量仪的底端固定安装有安装座本发明通过利用旋转的动力实现牵引杆的释放，利用水平释放的牵引杆实现干涉组件的水平牵引过程，使其在进行光路校准过程中，只需要将干涉组件与卡块之间进行卡接后利用冷却液的流动即可实现干涉组件的光路校准过程，整个校准过程中激光干涉测量仪与干涉组件始终保持平行关系，无需频繁移动激光干涉测量仪以及对激光干涉测量仪或干涉组件的微调，校准较为迅速，且校准精度较高。
一种激光混合干涉测量装置

[发明专利]一种激光聚变诊断干涉仪-CN202210019724.5在审
发明人：任晓辉;于宝莹;国慧杰 -专利权人：齐齐哈尔大学
申请日： 2022-01-10 - 公布日： 2022-10-28 - 主分类号： G01B9/02015 文献下载
摘要：本发明涉及干涉仪技术领域，尤其是一种激光聚变诊断干涉仪，包括壳体，壳体的内侧安装有激光干涉机构、以对激光进行干涉，壳体的底部安装有角度调节机构、以对壳体的角度进行调整。本发明可以将两束入射的激光束经过多次干涉反射，最终可以展示出两种激光束，避免激光束多组重叠无法判断。
一种激光聚变诊断干涉仪

[实用新型]一种切割机整机精度检测用激光干涉仪安装底座-CN202320334252.2有效
发明人：方志诚 -专利权人：马鞍山克林贝格机械刀片有限公司
申请日： 2023-02-28 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： G01B9/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及安装底座技术领域，且公开了一种切割机整机精度检测用激光干涉仪安装底座，包括：激光干涉仪主体；所述激光干涉仪主体外侧壁设置有固定组件，所述固定组件包括：L形板体，设置于所述激光干涉仪主体外侧壁；滑槽，开设于所述L形板体位于所述激光干涉仪主体下表面的一端外侧壁；该切割机整机精度检测用激光干涉仪安装底座通过设置由弹性部件连接的板体将激光干涉仪夹持固定住，通过将板体间距拉动至适合于激光干涉仪尺寸的大小再将其放入的方式减少激光干涉仪在放置过程中外壳受到的磨损该切割机整机精度检测用激光干涉仪安装底座通过设置调节组件使得使用者能对激光干涉仪的安装高度和角度进行调节。
一种切割机整机精度检测激光干涉仪安装底座

[发明专利]一种基于偏振的激光相位波动的量子随机数产生系统-CN202211004105.5在审
发明人：戴大海 -专利权人：矩阵时光数字科技有限公司
申请日： 2022-08-22 - 公布日： 2022-11-22 - 主分类号： G06F7/58 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于偏振的激光相位波动的量子随机数产生系统，涉及量子随机数领域，该系统包括依次连接的脉冲激光模块、光强稳定模块、干涉模块、探测模块、模数转换模块及数据后处理模块，脉冲激光模块、光强稳定模块及干涉模块之间依次通过保偏光纤连接，脉冲激光模块用于制备两路光脉冲，其中一路光脉冲耦合进保偏光纤快轴，另一路光脉冲耦合进保偏光纤慢轴，干涉模块将两路光脉冲的偏振方向旋转之后耦合，实现干涉。本发明通过两个独立的激光器进行干涉测量，代替了当前技术中激光自干涉技术；本发明选用分布式反馈激光器，能够实现良好的干涉效果；本发明通过旋转耦合的方式实现干涉测量，并能够排除偏振波动对干涉效果的影响。
一种基于偏振激光相位波动量子随机数产生系统

[发明专利]对钇铝石榴石激光倍频多次谐波实现分光的光路结构-CN200610016521.1无效
发明人：朱万彬;陈磊 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2006-01-12 - 公布日： 2007-07-18 - 主分类号： H01S3/10 文献下载
摘要：对钇铝石榴石激光倍频多次谐波实现分光的光路结构，属于激光应用技术领域中涉及的一种分光光路结构。解决的技术问题是：提供一种对钇铝石榴石激光倍频多次谐波实现分光的光路结构。技术方案包括第一、第二、第三、第四干涉滤光片。在激光束传播方向的光轴上，从左到右置有第一和第二干涉滤光片，它们分别与光轴向左向右倾斜45°角安装。第一干涉滤光片透过波段1064和532nm的激光束，第二干涉滤光片透过波段1064nm的激光束，在第一干涉滤光片的反射光束方向上平行置有第四干涉滤光片，在第二干涉滤光片的反射光束方向平行置有第三干涉滤光片；第三干涉滤光片反射532nm的激光束，第四干涉滤光片反射355nm的激光束。
石榴石激光倍频多次谐波实现分光结构

[发明专利]激光波长调制测量装置及其测量方法、测量系统-CN202110278736.5在审
发明人：刘红弟;张梦影;黄治家;刘健;成学平 -专利权人：深圳市杰普特光电股份有限公司
申请日： 2021-03-15 - 公布日： 2021-06-29 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：一种激光波长调制测量装置及其测量方法、测量系统，涉及激光技术领域。该激光波长调制测量装置包括控制器、电源、波形发生器、激光器驱动板、待测激光器、单模光纤、干涉仪和数据采集器；电源向激光器驱动板输入驱动电流信号，波形发生器向激光器驱动板输入三角波调制信号；激光器驱动板将经过三角波调制信号调制的驱动电信号输入至待测激光器以驱动待测激光器发射激光束并通过单模光纤进入干涉仪；干涉仪将待测激光器发射的激光束进行干涉；数据采集器采集和记录干涉仪的干涉信号；控制器对干涉信号进行处理和分析。该激光波长调制测量装置测量精度高且成本较低，能够解决现有技术中采用光谱分析仪测量激光波长时，其测量精度受限的问题。
激光波长调制测量装置及其测量方法系统

[发明专利]复杂零件激光熔覆干涉检测及轨迹修正方法-CN201910780361.5有效
发明人：孙文磊;刘金朵;黄勇;黄海博 -专利权人：新疆大学
申请日： 2019-08-22 - 公布日： 2023-08-04 - 主分类号： G06F30/20 文献下载
摘要：本发明涉及一种激光熔覆技术领域，是一种复杂零件激光熔覆干涉检测及轨迹修正方法。包括以下步骤：S1，生成受损区域的预期加工点；S2，在当前零件加工点di的切平面内创建约束域，沿法向投影得到碰撞域Φ2；S3，结合四叉树结构，在碰撞域Φ2中搜索干涉激光束及干涉点位置；S4，修正干涉激光束，完成激光再制造的轨迹优化。本发明在当前零件加工点的切平面内创建约束域，沿法向投影得到碰撞域，并结合四叉树结构在碰撞域中快速搜索干涉激光束及干涉点位置，对干涉激光束进行姿态修正，完成激光再制造的轨迹优化，从而避免激光束与其余零部件干涉的现象，保护了零件及激光设备，提高了激光再制造技术的应用范围和加工安全性。
复杂零件激光干涉检测轨迹修正方法

[实用新型]一种正交脉冲双频激光干涉仪-CN202220807401.8有效
发明人：卢芳 -专利权人：苏州创博检测技术有限公司
申请日： 2022-04-06 - 公布日： 2022-10-04 - 主分类号： G01B9/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种正交脉冲双频激光干涉仪，涉及正交脉冲双频激光干涉仪技术领域，包括激光干涉仪，激光干涉仪的下方设置有防护底座，防护底座的两侧均活动连接有移动防护板，移动防护板的两侧均固定连接有限位挤压块，通过设置挤压棒和移动防护板，使用时，挤压棒将下压连接弹簧，利用连接弹簧能够对激光干涉仪进行缓冲，进而对激光干涉仪进行防护，当激光干涉仪侧面与地面接触时，移动防护板将使得限位弹簧收缩形变，之后限位弹簧将对移动防护板进行缓冲，进而对激光干涉仪进行防护，故而该正交脉冲双频激光干涉仪能够避免因掉落在地面上而使其内部元件以及表面产生的损坏，进而提高了该正交脉冲双频激光干涉仪的使用寿命。
一种正交脉冲双频激光干涉仪

[发明专利]一种激光2N倍光程采样的被动探测式傅里叶光谱仪装置-CN202210811553.X在审
发明人：杨秋杰;何志平;王翔;栾一飞;李飞飞 -专利权人：中国科学院上海技术物理研究所
申请日： 2022-07-11 - 公布日： 2022-10-11 - 主分类号： G01N21/01 文献下载
摘要：本发明公开了一种激光2N倍光程采样的被动探测式傅里叶光谱仪装置。该装置基于奈奎斯特采样定理、等倾干涉技术和自对准技术，核心干涉模块采用激光干涉仪与目标信号干涉仪共光路设计，通过分束器分孔径设计、激光干涉臂平面反射镜的平行平板设计、分束器与干涉臂的自对准设计，使激光干涉光路中引入2N次折返从而获得2N倍采样光程，从而增加激光器的可选波长范围，2N倍光程采样激光干涉仪提供目标干涉仪的采样脉冲，获得目标的冗余离散强度值，通过傅里叶变化获取目标的光谱信息，从而提高信号反演的信噪比，适用于傅里叶光谱仪领域
一种激光光程采样被动探测式傅里叶光谱仪装置

[发明专利]基于傅里叶变换光谱仪的异步采集方法及傅里叶变换光谱仪-CN202111609776.X在审
发明人：赵瑞凡;薛原;凌明;韩中旭 -专利权人：浙江微翰科技有限公司
申请日： 2021-12-27 - 公布日： 2022-05-06 - 主分类号： G01N21/25 文献下载
摘要：本发明涉及数据处理技术，公开了基于傅里叶变换光谱仪的异步采集方法及傅里叶变换光谱仪，其方法包括，同步采集，同时进行激光光源和宽带光源进行采集，并经傅里叶变换形成光谱，同步恢复光谱F0；单独宽带光源采集，关闭激光光源，进行宽带光源采集，激光干涉调整，通过宽带光干涉和激光干涉之间的同步变化性进行激光干涉调整，从而得到与宽带光干涉W1匹配的激光干涉L1。本发明宽带光和标记所使用的激光采用异步的采集方式两路信号不同时采集，从源头避免信号串扰的发生。异步采集后，关键是利用同轴光路宽带光干涉信号与激光干涉信号之间的同步变化性对激光干涉信号进行调整，使其能够匹配宽带光，从而进行准确的标定和傅里叶变换。
基于傅里叶变换光谱仪异步采集方法

[发明专利]一种激光干涉向后转移系统-CN201910310855.7有效
发明人：翁占坤;蒋旭珂;王作斌;曹亮;张钦涵;董莉彤;刘日;李理;许红梅;宋正勋 -专利权人：长春理工大学
申请日： 2019-04-18 - 公布日： 2021-01-19 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种激光干涉向后转移系统涉及激光转移加工领域，基于激光转移技术与干涉技术的结合，将衬底材料以图案的方式向后转移透明衬底材料表面。该系统包括：脉冲激光器、分束镜、反射镜和偏振镜；脉冲激光器发出激光，通过分束镜分出至少两束光，经由反射镜反射，通过在激光能量范围内调节能量密度，几束光发生干涉；待加工组件包括透光材料和体材料，激光穿过透光材料在体材料表面发生干涉，发生干涉的激光对体材料烧灼，溅射的物质沉积在与体材料临近的透光材料面上，形成纳米级图案。本发明的双光束激光向后转移干涉系统，可以直接在普通环境下实现材料转移和大面积的干涉周期结构的直接制备，加工效率高，成本低，无污染，方法简便，结构完整清晰。
一种激光干涉向后转移系统

[发明专利]激光差动共焦干涉核聚变靶丸形貌参数测量方法与装置-CN201910178246.0有效
发明人：王允;赵维谦;邱丽荣 -专利权人：北京理工大学
申请日： 2019-03-08 - 公布日： 2020-10-09 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本发明公开的激光差动共焦干涉核聚变靶丸形貌参数测量方法与装置，属于共焦显微成像、激光惯性约束核聚变及干涉测量技术领域。本发明将激光差动共焦技术与短相干干涉测量技术结合，利用激光差动共焦技术对激光聚变靶丸壳层的内、外表面进行精密层析定焦，利用短相干干涉技术对靶丸外表面进行干涉测量，并进一步通过正交回转驱动技术对靶丸进行三维回转驱动获得靶丸的内本发明能够为激光惯性约束核聚变仿真实验研究、靶丸制备工艺研究和靶丸筛选提供数据基础和检测手段。
激光差动焦干聚变形貌参数测量方法装置

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