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- [发明专利]基板处理方法-CN200710086123.1无效
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麻生丰;白石雅敏
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东京毅力科创株式会社
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2007-03-02
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2007-09-05
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G03F7/26
- 本发明提供一种基板处理方法,该方法在溶解抗蚀剂图形、形成所希望的图形的回流处理中,能够防止发生断线等不良问题,对于希望遮掩的规定区域能够有效地形成具有充分的均匀性的图形。其包括从具有厚膜部和薄膜部的抗蚀剂图形(206),利用再显影处理除去薄膜部的步骤;和溶解由上述再显影处理在基底膜(205)上形成的抗蚀剂(206),使之通过形成在基底膜(205)的边缘部上的台阶部(205a),遮掩规定区域(Tg)的步骤,在遮蔽规定区域(Tg)的步骤中,在基底膜(205)上,在第一溶解速度模式下,溶解上述光致抗蚀剂(206),在所溶解的光致抗蚀剂到达台阶部(205a)后,在溶解速度比第一溶解速度模式慢的第二溶解速度模式下,溶解上述光致抗蚀剂(206)。
- 处理方法
- [发明专利]一种絮凝剂溶解装置-CN201610601556.5在审
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刘名中;林新阳;张益安;刘金山
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东莞玖龙纸业有限公司
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2016-07-27
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2016-12-07
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B01F1/00
- 本发明公开了一种絮凝剂溶解装置,包括放有絮凝剂粉末的储料槽,与其通过输送管连通的溶解槽,与溶解槽连通的储存槽,将由储料槽送至输送管的絮凝剂粉末送入溶解槽且连接于控制器的风机;溶解槽内设有连接于控制器的搅拌器,溶解槽上设有进水加料口,进水加料口包括与输送管连通的加料孔和与进水管连通且沿加料孔周向分布的若干进水孔。设置包括与输送管连通的加料孔和与进水管连通且沿加料孔周向分布的若干进水孔的进水加料口,絮凝剂粉末从加料孔内进入溶解槽,同时水从若干进水孔进入溶解槽,控制器控制搅拌器工作,将送入溶解槽内的水和絮凝剂粉末搅拌均匀,可有效避免因絮凝剂粉末溶解不完全导致的结块现象以及加料孔堵塞状况的发生。
- 一种絮凝溶解装置
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