专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]用于多个带电粒子束的装置-CN201980053848.1在审
  • 任伟明;刘学东;胡学让;陈仲玮 - ASML荷兰有限公司
  • 2019-07-31 - 2021-03-26 - H01J37/28
  • 一种带电粒子光学系统可以包括:偏转器,其被配置为形成带电粒子的虚像;和转印透镜,其被配置为在图像平面上形成带电粒子的实像。图像平面可以至少形成在光束分离器附近,该光束分离器被配置为分离由生成的初级带电粒子和由初级带电粒子与样品的交互而生成的次级带电粒子。图像平面可以形成在光束分离器的偏转平面处。多束装置可以包括带电粒子色散补偿器以补偿光束分离器的色散。在转印透镜与带电粒子色散补偿器之间,图像平面可以被形成为与光束分离器相比更靠近转印透镜。
  • 用于带电粒子束装置

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