专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]清洗供给系统、基板处理装置以及基板处理系统-CN201910272935.8有效
  • 宫崎充;今村听;井上拓也;高桥正三 - 株式会社荏原制作所
  • 2019-04-04 - 2023-02-28 - B08B3/02
  • 本发明提供一种能够向基板清洗装置恰当地供给清洗或者维护保养性提高的清洗供给系统、具备这样的清洗供给系统的基板处理装置、以及具备这样的基板处理装置的基板处理系统。本发明提供一种清洗供给系统,该清洗供给系统具备:循环线路,该循环线路的一端与清洗供给装置的供给连接,另一端与所述清洗供给装置的回收口连接,清洗在该循环线路的内部流动;分支管,该分支管从所述循环线路分支,并且与基板清洗单元连接;阀,该阀设置于所述分支管,并且对从所述循环线路向所述基板清洗单元的清洗供给进行控制;以及流量调节构件,该流量调节构件对在所述循环线路中流动的清洗的流量进行调节。
  • 清洗供给系统处理装置以及
  • [发明专利]化工桶清洗装置-CN202210084792.X有效
  • 刘汉勇;吴广强;崔海涛;姜帅;杨美玲;张宜兴;赵冬冬;李涛;王文法;张蒙蒙;李盟盟;付路路 - 山东华鲁恒升化工股份有限公司
  • 2022-01-25 - 2023-05-05 - B08B9/36
  • 一种化工桶清洗装置,包括支撑盖板、旋转驱动装置、旋转套管、桶壁擦拭装置、清洗回收管、清洗循环供给装置及旋转通水环;支撑盖板盖设于化工桶桶且中部开设通;旋转驱动装置装设于通处且其驱动端连接化工桶内的旋转套管的上端部;旋转套管上装设桶壁擦拭装置;清洗回收管位于旋转套管内且其上端部穿出旋转驱动装置上部而连接清洗循环供给装置的回收液端,其下端部与化工桶内底部空间相通;旋转套管与清洗回收管间形成清洗通道;旋转通水环套设于旋转套管上端部;清洗循环供给装置的供液端通过旋转通水环的通水流道、旋转套管上的通水孔与释水孔以及清洗通道而与桶壁擦拭装置连通。以此可替代人工操作且清洗可循环应用。
  • 化工清洗装置
  • [发明专利]流水式清洗方法和流水式清洗装置-CN201080020629.2无效
  • 坂口龙二;大岛德夫;王志鹏;田中良 - 昭和电工株式会社
  • 2010-05-14 - 2012-04-18 - G11B5/84
  • 本发明提供高效地除去在基板的表面附着的尘埃等且防止在清洗后该尘埃等在基板的表面上再次附着的流水式清洗方法和流水式清洗装置。该流水式清洗方法,在清洗槽(2)内使清洗(L)向横向流动,在将被清洗物(W)在该清洗(L)中浸渍的状态下,在向清洗(L)施加超声波振动的同时进行被清洗物(W)的清洗,其中通过调整在向清洗槽(2)供给清洗(L)的多个供给(3)和从清洗槽(2)排出清洗(L)的多个排出口(5)中的任一个供给(3)和/或排出口(5)流动的清洗(L)的流量,来使清洗槽(2)内的清洗(L)在层流的状态下流动。
  • 流水清洗方法装置
  • [发明专利]自动分析装置-CN201280006818.3有效
  • 坂下敬道;高桥克明;根本知幸 - 株式会社日立高新技术
  • 2012-01-26 - 2013-10-09 - G01N35/10
  • 本发明不降低装置的处理速度地进行分注喷嘴的内外表面的清洗。本发明为了达到上述目的,其特征在于,在分注喷嘴的清洗槽设置清洗供给。更具体而言,从分注喷嘴的清洗槽所具备的清洗供给吸引清洗,向所述清洗槽内喷出清洗,从而能够在短时间内进行分注喷嘴的内外表面的清洗。根据本发明,仅在分注喷嘴的清洗槽处具备清洗供给,因此结构简单。另外,通过缩短分注喷嘴的移动距离,能够在短时间内进行分注喷嘴的内外表面的清洗,因此能够不降低装置的处理速度地进行分析。
  • 自动分析装置
  • [发明专利]转塔式清洁设备-CN201110267273.9有效
  • 晴柀大树;住吉透;杉村昌昭 - 速技能机械有限公司
  • 2011-09-09 - 2012-04-04 - B08B3/02
  • 一种用于利用清洗并对工件去毛刺且清洁工件的转塔式清洁设备,该设备包括:清洁工具,其用于将其中一种液体喷射在工件上并且对工件去毛刺和/或清洁该工件;转塔头,其可自由地转动并且清洁工具附接至该转塔头;转塔驱动装置,其连接至转塔头并且用于转动转塔头;清洁室,转塔头布置在该清洁室中;清洗槽,该清洗槽安装在清洁室中;第一清洗供给流道,其构造成将其中一种液体供给到清洁工具;第二清洗供给流道,其用于将另一种液体供给清洗槽;清洗供给源,其用于将液体供给到第一清洗供给流道和第二清洗供给流道;以及排放,该排放可开闭地设置在清洗槽的下面并且用于排放清洗槽中的液体。
  • 塔式清洁设备
  • [发明专利]基板清洗用喷嘴-CN201811427739.5有效
  • 韩万昊;朱宁民;安国基;金胤德 - HS高科技股份有限公司
  • 2018-11-27 - 2023-05-26 - H01L21/67
  • 本发明涉及一种基板清洗用喷嘴,向基板喷射清洗基板的清洗,包括:第一主体,由树脂材质形成,在一面形成供用以清洗基板的清洗流动的清洗流路的一部分,以从另一面贯通到一面的清洗流路的方式形成清洗供给,以供给清洗;第二主体,由树脂材质形成,在与第一主体结合的一面形成清洗流路的另一部分,沿清洗流路形成以从清洗流路贯通到清洗喷射面的方式形成的多个喷射,以向基板喷射清洗;焊接突起,沿清洗流路突出地形成到第一主体或第二主体,通过超音波焊接将第一主体与第二主体结合;以及焊接突起收容部,沿清洗流路以与焊接突起对应的形状形成到第二主体或第一主体,从而收容焊接突起。
  • 清洗喷嘴
  • [发明专利]基板处理装置及基板处理方法-CN201810648979.1有效
  • 大泽瑞树;戎居博志 - 株式会社斯库林集团
  • 2018-06-22 - 2022-03-22 - H01L21/67
  • 基板处理装置具有:基板保持单元,保持基板;共用配管,与向被基板保持单元保持的基板的主面喷出处理液的喷出口连通;连接部,与共用配管连接,在内部具有用于液体流通的流通空间;药液供给配管,与连接部连接,向连接部供给药液;排出配管,与连接部连接,供从连接部排出的液体流通;清洗供给配管,与连接部连接,向连接部供给清洗,连接部具有沿着流通空间的流通方向排列的多个,多个连接有包括共用配管、药液供给配管、清洗供给配管和排出配管的多个配管,多个口中的与共用配管的一端连接的共用在流通方向上配置在,多个口中的与排出配管连接的排出口和多个口中的与清洗供给配管连接的清洗供给之间。
  • 处理装置方法

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