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- [发明专利]喷嘴清洗装置、喷嘴清洗方法以及涂布装置-CN202111353549.5在审
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柏野翔伍;高村幸宏;安陪裕滋
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株式会社斯库林集团
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2021-11-16
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2022-08-30
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B05B15/50
- 提供一种将从喷嘴的下端部去除的涂布液顺利地排出至涂布装置的外部的喷嘴清洗装置、喷嘴清洗方法以及涂布装置，其包括：附着物去除部，由支撑构件予以支撑；移动部，在使喷嘴抵接构件抵接于喷嘴的下端部的状态下，使附着物去除部沿喷出口的延伸设置方向移动；回收部，在附着物去除部的下方，对通过移动部所造成的喷嘴抵接构件的移动被去除后经由附着物去除部朝下方流动的涂布液进行回收；及排出部，将由回收部所回收的涂布液引导并排出至涂布装置的外部，回收部是具有底部与侧壁的结构体，沿着由底部及侧壁所形成的回收区域使涂布液朝向排出部流动，所述底部在附着物去除部的下方具有朝向排出部倾斜的内底面，所述侧壁是从底部的边部竖立设置。
- 喷嘴清洗装置方法以及
- [发明专利]喷嘴清洗装置以及涂敷装置-CN202111567532.X在审
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高村幸宏;柏野翔伍
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株式会社斯库林集团
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2021-12-20
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2022-06-21
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B05C5/02
- 为了对喷出分散系涂敷液的喷嘴进行有效地清洗，本发明提供一种喷嘴清洗装置，该喷嘴清洗装置具有：清洗槽，具有设置有贮存对喷嘴下端部进行清洗的清洗液的贮存区域的清洗槽下端部以及能够将喷嘴下端部浸渍于由贮存区域贮存的清洗液中的开口部；液体槽，贮存液体，并且在使清洗槽下端部浸渍在液体中的状态下设置于清洗槽的下方；以及超声波振子，在液体槽中贮存的液体中产生超声波振动，并经由液体、清洗槽下端部以及清洗液向喷嘴下端部施加超声波振动。当从第一水平方向观察时，清洗槽下端部以及贮存区域被加工成越朝超声波振子而顶端越变细的形状。
- 喷嘴清洗装置以及
- [发明专利]减压干燥装置-CN202111432918.X在审
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高村幸宏
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株式会社斯库林集团
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2021-11-29
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2022-06-03
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B05D3/04
- 本发明提供一种能够使形成在基板上表面的涂布层均匀地干燥的减压干燥装置。减压干燥装置包括腔室、载台、减压机构以及底面整流板。底面整流板位于被支撑于载台的基板与腔室的底板部之间。底面整流板沿着底板部的上表面而展开。在腔室内的减压时，基板的上表面侧的气体通过底面整流板的侧方而流向底面整流板的下方。由此，能够抑制气流集中在基板的周缘部。而且，不拘于基板的方向如何，在俯视时，底面整流板均大于基板。因此，能够抑制减压时的气体的流动因被支撑于载台的基板的方向而发生变化。因此，能够使形成在基板上表面的涂布层均匀地干燥。
- 减压干燥装置
- [实用新型]减压干燥装置-CN202122921233.3有效
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高村幸宏
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株式会社斯库林集团
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2021-11-25
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2022-05-27
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B05D3/04
- 本实用新型的课题是提供一种能够将形成在基板上表面的涂布层均匀地干燥的减压干燥装置。该减压干燥装置(1)具备腔室(10)、载物台(20)、多个排气口(16a)～(16d)、减压机构(30)和控制部(80)。减压机构(30)具有独立调节来自多个排气口(16a～16d)的排气量的多个独立阀(Va)～(Vd)。控制部(80)在腔室(10)内减压时，以每次变更多个独立阀(Va)～(Vd)中的一部分的独立阀的开闭状态或开度的方式依次对独立阀变更一部分。由此，依次切换来自多个排气口(Va)～(Vd)的排气量。通过这样做，沿基板(9)上表面形成的气流方向发生变化。结果，能够抑制由溶剂蒸气引起的干燥不均。因此，能够均匀地干燥基板(9)上表面的涂布层。
- 减压干燥装置
- [实用新型]狭缝喷嘴以及基板处理装置-CN202120361262.6有效
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安陪裕滋;高村幸宏
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株式会社斯库林集团
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2021-02-09
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2021-11-30
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B05C5/02
- 本实用新型的课题在于在狭缝喷嘴及包括所述狭缝喷嘴的基板处理装置中，确实地固定经调整的螺丝而抑制吐出口的开口宽度的变动，从而稳定地吐出涂布液。本实用新型的狭缝喷嘴包括：喷嘴本体，通过一对唇部隔开间隙地相向而形成呈狭缝状开口的吐出口；以及调整机构，使一对唇部相对地向接近方向及分离方向位移来调整吐出口的开口宽度。在至少一个唇部，在与另一个唇部为相反侧的面设有与吐出口的长边方向平行的槽，调整机构包括：调整螺丝，沿着长边方向排列多个，分别在与槽的深度方向相交的方向上跨越槽而螺合；以及施力构件，由弹性体形成，相对于喷嘴本体能够装卸地设置，对多个调整螺丝向喷嘴本体侧施力。
- 狭缝喷嘴以及处理装置
- [发明专利]清洗器具、清洗方法以及液体供给装置-CN201810631033.4有效
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安陪裕滋;高村幸宏
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株式会社斯库林集团
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2018-06-19
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2021-09-07
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B08B9/023
- 本发明涉及一种清洗器具、清洗方法以及液体供给装置，利用清洗液更良好地且在短时间内清洗联接器，所述联接器具有能够装卸于液体贮存体上的盖部和贯通设置于所述盖部的配管，通过将所述配管插入所述液体贮存体的内部，能经由所述配管取出在所述内部贮存的液体，所述清洗器具具有：容器，具有能够插入配管的开口、能够经由所述开口容纳所述配管的内部空间，以及保持部，安装于所述容器的所述开口附近，保持从所述液体贮存体卸下的所述联接器；通过使所述清洗液在间隙空间与所述配管的内部之间流通，来清洗所述配管，所述间隙空间为，所述配管容纳于所述内部空间而在所述容器的内表面与所述配管的外表面之间形成的空间。
- 清洗器具方法以及液体供给装置
- [发明专利]喷嘴清扫装置、涂敷装置和喷嘴清扫方法-CN201810448191.6有效
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安陪裕滋;高村幸宏
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株式会社斯库林集团
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2018-05-11
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2021-06-11
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B05B15/50
- 本发明涉及喷嘴清扫技术，在将喷嘴抵接构件的凹部按压于喷嘴的顶端部的状态下清扫上述顶端部，防止喷嘴抵接构件的局部性摩耗来延长喷嘴抵接构件的寿命并且减少摩擦粉的产生。喷嘴清扫装置具备：喷嘴抵接构件，设置有凹部，凹部具有能够与顶端部抵接的内侧面；以及驱动部，在喷嘴抵接构件按压于顶端部的状态下，使喷嘴抵接构件相对于顶端部在喷出口的延伸方向上移动。在喷嘴抵接构件未对顶端部施加按压的状态下，喷嘴抵接构件利用内侧面中的凹部的开口侧的端部卡止顶端部，另一方面，在喷嘴抵接构件对顶端部施加按压的状态下，顶端部与凹部彼此接近，由此使凹部弹性变形，扩展内侧面对顶端部的按压范围。
- 喷嘴清扫装置方法
- [发明专利]喷嘴清扫装置、涂敷装置和喷嘴清扫方法-CN201810449439.0有效
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安陪裕滋;高村幸宏
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株式会社斯库林集团
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2018-05-11
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2021-04-23
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B05B15/50
- 本发明在喷嘴清扫技术和使用喷嘴清扫技术的涂敷装置中提供通用性优异的喷嘴清扫技术，喷嘴清扫技术在将喷嘴抵接构件的凹部按压于喷嘴的顶端部的状态下，使喷嘴抵接构件相对于顶端部在喷出口的延伸方向上相对地移动来清扫上述顶端部。喷嘴清扫装置具备：喷嘴抵接构件，具有能够与设置有喷出涂敷液的狭缝状的喷出口的喷嘴的顶端部抵接的凹部；开口调整部，从与喷出口的延伸方向交叉的方向对喷嘴抵接构件施加应力来调整凹部的开口形状；以及驱动部，使喷嘴抵接构件在延伸方向上相对地移动，在将由开口调整部调整了开口形状的凹部按压于顶端部的状态下，驱动部使喷嘴抵接构件相对于顶端部在延伸方向上移动来清扫顶端部。
- 喷嘴清扫装置方法
- [实用新型]狭缝喷嘴及基板处理装置-CN201921053610.2有效
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安陪裕滋;高村幸宏
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株式会社斯库林集团
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2019-07-08
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2020-05-05
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B05C5/02
- 本实用新型提供一种狭缝喷嘴及基板处理装置，能够在狭缝喷嘴的吐出口的两端部扩大开口尺寸的可调整范围而提高膜厚的均匀性。狭缝喷嘴包括：第一本体部，沿吐出口的长度方向延伸设置；第二本体部，以与第一本体部相向的方式配置而形成吐出口；中央调整机构，在长度方向上的第二本体部的中央区域使第二本体部的前端部相对于第一本体部位移而调整在吐出口的中央区域的开口尺寸；以及两端调整机构，在长度方向上的第二本体部的两端区域使第二本体部的前端部相对于第一本体部位移而调整在吐出口的两端区域的开口尺寸；并且通过两端调整机构而使第二本体部的前端部位移的位移能力高于通过中央调整机构而使第二本体部的前端部位移的位移能力。
- 狭缝喷嘴处理装置
- [发明专利]涂布装置-CN201510053016.3有效
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伊藤隆介;高村幸宏;相良秀一;大宅宗明
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斯克林集团公司
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2015-02-02
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2017-09-22
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B05C5/00
- 本发明提供一种涂布装置，在利用涂布液供给管对移动的喷嘴输送涂布液的构成中，可减少从喷嘴喷出的涂布液的流量紊乱。相对地固定配置于涂布单元(50)的配管(832～834)是沿着与涂布单元(50)的移动方向(X方向)正交的YZ面内而配设。因此，可有效防止如下情况因由往返移动所引起的惯性力，而导致在配管(832～834)的内部流动的涂布液产生流路方向的压力变动。另外，因为配管(832、833)作为压力变动吸收部发挥功能，所以可吸收在所述配管的内部流动的涂布液的压力变动。如此，能够使压力变动已减少的涂布液从连接于配管(834)的喷嘴喷出。
- 装置
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