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[发明专利]沉积设备-CN202310062326.6在审
发明人：韩种馩;李珠熙;郑石源;韩尚辰 -专利权人：三星显示有限公司
申请日： 2023-01-18 - 公布日： 2023-07-21 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：本公开涉及一种沉积设备和清洁所述沉积设备的方法。所述沉积设备包括：工艺腔室；残余气体分析仪，连接到所述工艺腔室；清洁气体供应器，连接到所述工艺腔室；以及驱动器，连接到所述残余气体分析仪与所述清洁气体供应器，并控制所述残余气体分析仪与所述清洁气体供应器
沉积设备

[发明专利]具备清洁功能的半导体工艺设备及其清洁方法-CN201910709772.5有效
发明人：金亨源;郑明教;郑熙锡 -专利权人：吉佳蓝科技股份有限公司
申请日： 2019-08-02 - 公布日： 2020-11-06 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明涉及具备清洁功能的半导体工艺设备及其清洁方法，包括：腔室，在内部提供基板处理空间；第一排气部，从所述腔室内部排放工艺气体；第一供气部，向所述腔室内部供应惰性气体；第二供气部，向所述腔室内部供应清洁气体而在所述腔室内部产生烟气；以及，第二排气部，从所述腔室内部排放所述惰性气体、所述清洁气体、所述烟气或者混合气体，所述混合气体混合有所述惰性气体、所述清洁气体和所述烟气。
具备清洁功能半导体工艺设备及其方法

[发明专利]用于过滤气体-固体混合物的系统和方法-CN201580085502.1有效
发明人：王国强;C-K.黄;L.扎尔曼 -专利权人：气体产品与化学公司
申请日： 2015-12-23 - 公布日： 2021-06-25 - 主分类号： B01D46/00 文献下载
摘要：一种用于过滤气体‑固体混合物的系统(300)，其包括：壳体(302)；分隔本体，其将壳体(302)分成原始气体室(310)和清洁气体室(312)，原始气体室(310)可经由用于气体‑固体混合物的入口而进入且清洁气体室(312)包括用于排出清洁的气体的出口；从所述分隔本体悬置的多个过滤元件；过滤元件的下端连接至支持格栅(360)，支持格栅(360)包括多个臂；一个或多个清洁元件(380)，其设置在支持格栅(360)的臂上，以对其进行清洁。
用于过滤气体固体混合物系统方法

[发明专利]用于车辆的传感器清洁系统-CN202011024177.7在审
发明人：托马斯·古尔德;克里斯蒂安·沙伊贝;拉尔夫·布勒 -专利权人：悦马塑料技术有限公司
申请日： 2020-09-25 - 公布日： 2021-03-26 - 主分类号： B60S1/56 文献下载
摘要：本发明涉及用于清洁传感器的传感器清洁系统和附属方法，具有用于容纳清洁液体的液体储存器、用于操控切换单元的控制单元和用于喷洒至少一个传感器的至少一个喷嘴，切换单元设置在液体储存器和喷嘴之间，在液体储存器与切换单元之间设置有液体管路，并且在切换单元与喷嘴之间设置有至少一条喷嘴管路，其特征在于，设置有与液体储存器流体连接的用于容纳清洁气体的气体储存器，在气体储存器与切换单元之间设置有气体管路，清洁液体和清洁气体在运行中被加压，使得清洁液体和/或清洁气体能够传送到相应的喷嘴，并且切换单元设置为使得至少一个传感器能够经由至少一条喷嘴管路利用从喷嘴出来的清洁液体和/或从喷嘴出来的清洁气体被清洁。
用于车辆传感器清洁系统

[发明专利]过滤设备-CN201410089856.0有效
发明人： U·屈肯肖纳 -专利权人：埃德尔过滤技术有限公司
申请日： 2014-03-12 - 公布日： 2014-09-17 - 主分类号： B01D46/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种过滤设备（1），该过滤设备具有一个未处理气体区域（2）和一个清洁气体区域（3）以及一个将未处理气体区域（2）与清洁气体区域分开的软管板（4）。软管板（4）具有多个在其面上分布的开孔（41），一些过滤元件特别是过滤软管或过滤管从所述开孔开始延伸进入到未处理气体区域（2）。此外还设置有一个清洁装置，经由该清洁装置可以将清洁剂引入到未处理气体区域（2）中。为此在软管板（4）中在空间上与开孔（41）分开地设置有指向未处理气体区域的清洁剂注射器（50）。所述清洁装置具有嵌入到软管板（4）中或集成到软管板（4）中的清洁剂输送通道（42），这些清洁剂输送通道将清洁剂引导至清洁剂注射器（50）。
过滤设备

[发明专利]使用气体分离喷头清洁腔室的装置-CN200710003197.4有效
发明人：裵根鹤;金京洙;金昊植;尹荣培;金德珍;李来应 -专利权人：韩商奥拓股份有限公司
申请日： 2007-02-28 - 公布日： 2007-09-12 - 主分类号： C23C16/00 文献下载
摘要：本发明提供一种使用气体分离型喷头来清洁腔室的装置。所述装置包括：气体供应模块，第一和第二气体通过气体供应模块被单独提供；气体分离模块，所述第一和第二气体通过气体分离模块被单独分散；和气体注入模块，其包括多个孔，所述被单独分散的第一和第二气体通常通过所述孔注入到所述腔室，其中所述第一和第二气体至少之一的气体包括电离的第一清洁气体，所述电离的第一清洁气体包括含有氟(F)成分的气体，且其中所述第一和第二气体至少之一的气体包括非电离的第二清洁气体，所述非电离的第二清洁气体包括基于氮氧的气体
使用气体分离喷头清洁装置

[发明专利]诱导处理腔室清洁气体的紊流的方法及设备-CN201180028838.6有效
发明人：仲华;董希子;基奥温·貌;塙広二;姜圣元;戴维·H·夸;唐纳德·J·K·奥尔加多;戴维·布尔;许伟勇;亚历山大·塔姆;常安中;萨姆埃德霍·阿卡赖亚 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2011-06-13 - 公布日： 2013-02-13 - 主分类号： H01L21/205 文献下载
摘要：本发明的实施例一般涉及利用清洁板来清洁腔室部件的设备与方法。清洁板用以在清洁工艺期间定位在基板支架上，且清洁板包含多个紊流诱导结构。当清洁板在清洁工艺期间旋转时，紊流诱导结构会诱导出清洁气体的紊流。清洁板增加了清洁气体在清洁期间中在喷头附近的停留时间。此外，清洁板降低了清洁板内的浓度梯度，以提供更有效的清洁。所述方法包含定位所述清洁板为与喷头相邻，以及将清洁气体引入至喷头与清洁板之间的空间中。接着，沉积在喷头表面的材料会被加热，且在存在清洁气体的同时汽化，然后被排出处理腔室。
诱导处理清洁气体紊流方法设备

[发明专利]等离子体处理腔室的清洁方法-CN201310745043.8在审
发明人：周军;李江;孙海辉 -专利权人：中微半导体设备（上海）有限公司
申请日： 2013-12-30 - 公布日： 2015-07-01 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供了一种等离子体处理腔室的清洁方法，其中，通过等离子体处理腔室的气体喷淋头向腔室内部通入清洁气体，然后施加射频能量将清洁气体激发成等离子体对腔室内部进行清洁，在所述等离子体处理腔室的冷却气体供应管道内持续供应冷却气体至清洁结束本发明提供的等离子体处理腔室的清洁方法，能够在清洁的过程中保证氦气供应管道不会受到污染，不会因为清洁过程而在管道内壁沉积污染物，甚至被堵塞。
等离子体处理清洁方法

[实用新型]一种具有气体清洁功能的冰箱出风装置-CN201821370091.8有效
发明人：赵彩明 -专利权人：嘉兴市昭图电器有限公司
申请日： 2018-08-24 - 公布日： 2019-07-12 - 主分类号： F25D17/04 文献下载
摘要：本实用新型提供一种具有气体清洁功能的冰箱出风装置，安装于冰箱背部出风口，包括：清洁部、出风部，清洁部连接出风部，清洁部包括：清洁盒体、锁定部、过滤板、隔板、消毒灯；锁定部包括：固定件、弹簧、锁芯、锁体，出风部包括出风外壳、叶片、滑轮、弹簧、牵引绳、活动杆、限位器；该装置可通过清洁部将冰箱中排出的气体进行净化，清洁部中的过滤板内填充的活性炭将气体初步净化，气体之后经过隔板分离的紫外灯消毒区，通过紫外灯照射光触媒涂覆层对空气中的异味气体进行分解，再经过可调节出风方向的出风部将气体排放至冰箱外部，此装置能较好地清洁异味气体，使冰箱排出的气体不污染环境，对人员身体健康不产生影响。
冰箱清洁部出风部出风隔板出风装置气体清洁异味气体过滤板弹簧锁定本实用新型紫外灯消毒紫外灯照射活性炭初步净化气体排放人员身体清洁出风口固定件光触媒活动杆可调节牵引绳清洁盒涂覆层限位器消毒灯滑轮排出锁体锁芯填充叶片分解净化外部健康

[实用新型]一种半导体设备零部件的清洁装置-CN202223335557.X有效
发明人：丁伟;姜勇 -专利权人：中微半导体设备（上海）股份有限公司
申请日： 2022-12-12 - 公布日： 2023-05-30 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种半导体设备零部件的清洁装置，用于清洁所述零部件上的待清洁物，其包括：反应炉，所述零部件在所述反应炉内被清洁；加热单元，用于对所述反应炉进行加热；气体供应装置，向所述反应炉供应清洁气体；其特征在于，所述反应炉分为多个相互独立的清洁区域，每一所述清洁区域均用于保持所述零部件，且每一所述清洁区域设置有独立的进气通道和排气通道，所述进气通道用于通入清洁气体，所述排气通道用于排出所述清洁气体和待清洁物的反应生成物或待清洁物本实用新型能够提高清洁零部件的效率，提升清洁气体的利用率，降低清洁成本。
一种半导体设备零部件清洁装置

[实用新型]一种具有远程报警功能的气体检测箱-CN201821757753.7有效
发明人：王成闪 -专利权人：艾科思电子科技（常州）有限公司
申请日： 2018-10-29 - 公布日： 2019-06-18 - 主分类号： G01N33/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种具有远程报警功能的气体检测箱，包括气体检测箱本体，还包括清洁机构和固定机构，所述气体检测箱本体包括气体检测箱体和气体检测箱体表面的显示屏，所述清洁机构安装在显示屏的顶部，所述清洁机构包括显示屏顶部的清洁刮板和清洁刮板顶部的固定顶板，所述固定顶板的内部设置有卷轴卡槽，所述卷轴卡槽的内部设置有内卡卷轴，可以通过滑动显示屏上方固定清洁刮板进行全面清洁，操作非常简单，而且不会出现清洁死角，清洁非常干净；而在气体检测箱出现故障时，只需要将气体检测箱从墙面的卡座向上移动即可拆卸
气体检测清洁刮板清洁机构卷轴墙面显示屏远程报警功能固定顶板内部设置箱本体卡槽本实用新型滑动显示屏固定机构卡合安装清洁死角全面清洁箱体表面向上移动卡座内卡拆卸清洁

[实用新型]一种便携式气体采样及检测装置-CN201921818986.8有效
发明人：敬志明;丁洪兰;刘旭;刘亮;朱春兰 -专利权人：四川良测检测技术有限公司
申请日： 2019-10-28 - 公布日： 2020-06-19 - 主分类号： G01N33/00 文献下载
摘要：一种便携式气体采样及检测装置，包括：集样箱，集样箱外壁设有气体检测仪，气体检测仪的探头位于集样箱内，集样箱顶部侧壁连通进气管和排气管，进气管设有进气阀，进气管连接气泵，排气管设有排气阀，集样箱底部设有加热板，集样箱侧壁贯穿有温度传感器和压力传感器，集样箱底部连通清洁管，清洁管连接清洁泵出气口，清洁泵进气口连通清洁气瓶，清洁管设有清洁阀。本实用新型气体检测时，外界气体通过进气管进入集样箱内，通过压力传感器和温度传感器监测温度和压力变化，利用气体检测仪进行气体检测，检测完毕利用洁净气体对集样箱内进行清洁，无需更换集样箱，检测成本低，且能满足特殊气体温度要求
一种便携式气体采样检测装置

[发明专利]热气体过滤系统和再生所述系统的方法-CN201310060682.0有效
发明人： S·海登雷希;W·哈格 -专利权人：帕尔公司
申请日： 2013-02-27 - 公布日： 2013-09-11 - 主分类号： B01D46/24 文献下载
摘要：本发明涉及一种热气体过滤系统和用于再生该热气体过滤系统的方法，所述热气体过滤系统包括：过滤容器；管板，其将过滤容器的内部分成清洁气体区段和未净化气体区段；和多个过滤元件。布置成两组或更多组的所述过滤元件通过清洁端被连接至管板且通过未净化气体部分伸入未净化气体区段。两个或更多个增压室被容纳在清洁气体区段且以成组的方式容纳过滤元件的清洁气体端，每个所述增压室包括气体交换开口，该气体交换开口提供与清洁气体区段的直接流体连通。所述热气体过滤系统还包括反吹装置，该反吹装置包括反吹气体容器和用于每组过滤元件的反吹气管，所述反吹气管具有布置在过滤容器的所述清洁气体区段中的出口，反吹气管的所述出口在增压室的气体交换开口出被引导，所述反吹气管的所述出口具有的空截面为所述气体交换开口的空截面的约
气体过滤系统再生方法

[发明专利]气体供应装置-CN202310189369.0在审
发明人：徐东源;李奎范;千珉镐 -专利权人：韩华株式会社
申请日： 2023-03-02 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：一种气体供应装置，包括：清洁气体供应源，用于供应清洁气体；工程气体供应源，用于供应工程气体；第一流路，可供所述清洁气体流动；闸式阀，通过安装在所述第一流路内的第一位置而对所述第一流路进行开闭，从而使得所述清洁气体通过或阻断；第二流路，可供所述工程气体流动并在与所述第一位置相比处于下游的第二位置与所述第一流路汇流；以及，喷淋头单元，用于将通过所述闸式阀的清洁气体或所述工程气体喷射到腔室内部。
气体供应装置

[发明专利]MOCVD设备的清洁方法-CN201210082876.6有效
发明人：尹志尧;杜志游;孟双;朱班 -专利权人：中微半导体设备（上海）有限公司
申请日： 2012-03-26 - 公布日： 2012-08-01 - 主分类号： B08B7/00 文献下载
摘要：一种MOCVD设备的清洁方法，包括：向所述MOCVD设备的反应腔内通入清洁气体；利用等离子体处理装置将所述清洁气体等离子体化；将反应腔内壁的温度上升至50℃～250℃，在所述温度下利用清洁气体的等离子体清洁所述反应腔内壁利用所述清洁方法既能自动地清除MOCVD反应腔内壁的残余沉积物，所述清洁气体的等离子体不会对所述MOCVD反应腔内壁造成损伤，且所述清洁所耗费的时间短。
mocvd 设备清洁方法