“测量基片”专利关键词查询_检索下载_查询列表_检索列表_行业专利分布_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果982041个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]一种海水温度和压力集成的片式传感器芯片-CN201710886925.4有效
发明人：张洪泉;刘秀杰;张凯;姜宗泽 -专利权人：哈尔滨航士科技发展有限公司;哈尔滨工程大学;上海航士海洋科技有限公司;北京航士科技发展有限公司
申请日： 2017-09-26 - 公布日： 2019-09-17 - 主分类号： G01L9/12 文献下载
摘要：一种海水温度和压力集成的片式传感器芯片，包括压力陶瓷基片；压力陶瓷基片的一面上印刷有感压电极图形，温度陶瓷基片的一面上印刷有热敏电阻图形，感压电极图形和热敏电阻图形上分别设置有两组引线接点；压力陶瓷基片上的感压电极图形外围设置有圆形玻璃烧结料环，圆形玻璃烧结料环与玻璃环连接，玻璃环还与衬底陶瓷基片连接，衬底陶瓷基片与温度陶瓷基片印有热敏电阻图形的一面连接；本发明传感器芯片结构紧凑，小型便携，灵敏精确，将温度和压力传感器集成在一起，能同时测量两个参数并降低生产成本，在海水中下潜速度快，测量效率高。
一种海水温度压力集成传感器芯片

[发明专利]基片横向位移监测和横向对准系统和方法-CN202111374376.5在审
发明人：陈学文;林树培 -专利权人：华中科技大学
申请日： 2021-11-19 - 公布日： 2022-03-08 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本发明涉及基片横向位移测量和横向对准领域，提供一种基于干涉散射显微技术，通过对基片表面进行显微成像，记录基片表面的散斑信息，获取不同时刻基片的位置信息，实现基片的横向位移监测。进一步地，根据监测的基片横向位移信息，将基片移动到指定位置，实现基片横向对准。其特点在于不依赖标记物，且对照明稳定性要求低，可实现亚纳米级精度的基片横向位移监测和横向对准。
横向位移监测对准系统方法

[发明专利]一种氮氧化物气体传感器-CN201710503874.2在审
发明人：陈强 -专利权人：陈强
申请日： 2017-06-28 - 公布日： 2018-01-30 - 主分类号： G01N27/26 文献下载
摘要：本发明公开了一种氮氧传感器，氮氧传感器从上到下依次包含五层基片。在第二层基片上包含四个腔室依次为原始气体腔室、两个泵氧腔室和一个测量腔室，四个腔室之间分别通过扩散障层隔开。在第一层基片、第二、第三腔室的上、下两侧以及第四腔室的下侧分别存在一个电极。其中第二腔室上侧、第三腔室上侧的电极分别与第一基片上的电极构成第一、第二泵氧电极。第二腔室下侧电极为对电极。第四腔室含有一个测量电极。第三层基片中含有一个与大气相连的参考气体腔室。在第三基片和第四基片之间存在一个测量电极的参考电极。在第四基片下侧存在一个加热电极。
一种氧化物气体传感器

[发明专利]一种基于声表面波的小波变换式纱线张力传感器-CN201010022680.9无效
发明人：卢文科;朱长纯;吕晓洲 -专利权人：东华大学
申请日： 2010-01-12 - 公布日： 2010-06-30 - 主分类号： G01L5/10 文献下载
摘要：本发明涉及一种基于声表面波的小波变换式纱线张力传感器，包括第一基片、第二基片、输入叉指换能器、输出叉指换能器、两个反馈放大器、混频器和低通滤波器，所述的第一基片采用一端固定，另一端加载力的悬臂梁结构：在第一基片下方有与其相同的第二基片；第一基片和第二基片上表面均制有输入叉指换能器和输出叉指换能器；两个基片表面的换能器分别通过各自的放大器与混频器相连，最后信号经过低通滤波器以后输出。本发明主要应用于纱线张力的测量，具有测量精度高、灵敏度高的特点，并且由于它具有小波变换的功能，所以抗干扰性能强。
一种基于表面波变换纱线张力传感器

[发明专利]一种同时测量氮氧化物和氨气的传感器芯片及其制作方法-CN202210706178.2在审
发明人：廖清林;谢光远;王典;朱旭;吕俊涛 -专利权人：武汉科技大学
申请日： 2022-06-21 - 公布日： 2022-09-20 - 主分类号： G01N27/41 文献下载
摘要：本发明涉及一种同时测量氮氧化物和氨气的传感器芯片及其制作方法，在传感器芯片中；第二基片上通过冲孔形成有第一腔室和第二腔室对，第二腔室对包括相对第一腔室对称设置的两个第二腔室，第一腔室与第二腔室对中的两个第二腔室之间均预留有狭缝扩散通道；第一基片的上面印刷有公共外电极，第一基片的下面且与第一腔室对应的位置上印刷有非活性电极，第一基片的下面或第三基片的上面且与两个第二腔室对应的位置上分别印刷有活化电极和催化电极。本发明不仅可以用NOx传感器的原理测量氨气，而且两种测量功能单元集成在一起，实现了测量精度和结构紧凑的统一，解决了之前分离测量传感器结构复杂的问题。
一种同时测量氧化物氨气传感器芯片及其制作方法

[发明专利]一种氮氧传感器陶瓷芯体-CN201910780043.9在审
发明人：李可;贾广平;陈可;张宁宁;郑智 -专利权人：深圳顺络电子股份有限公司
申请日： 2019-08-22 - 公布日： 2019-11-29 - 主分类号： G01N27/407 文献下载
摘要：本发明提供一种氮氧传感器陶瓷芯体，包括：第一基片的上表面设有加热电极，加热电极包裹在加热电极绝缘层中；第二基片的上表面设有参考电极和泄压孔，第三基片设有参考气体通道，上表面依序设置一级泵电极的下泵电极、二级泵电极的下泵电极和测量电极；第四基片上依序设置五个空腔，空腔之间设置屏障层，第五基片的下表面依序设置一级、二级泵电极的上泵电极，上表面设置公共电极；第三空腔的一级泵电极的上下泵电极通过第四基片的半通孔相连形成一级泵电极；第四空腔的二级泵电极的上下泵电极通过第四基片的半通孔相连形成所述二级泵电极。避免二级泵电极中贵金属金的挥发导致的测量电极污染、测量精度高且灵敏度好。
电极二级泵上表面空腔加热电极一级泵测量电极半通孔上下泵下泵绝缘层参考气体通道测量精度高传感器陶瓷参考电极公共电极贵金属灵敏度屏障层下表面泄压孔氮氧挥发上泵芯体污染

[实用新型]一种氮氧传感器陶瓷芯体-CN201921372332.7有效
发明人：李可;贾广平;陈可;张宁宁;郑智 -专利权人：深圳顺络电子股份有限公司
申请日： 2019-08-22 - 公布日： 2020-08-04 - 主分类号： G01N27/407 文献下载
摘要：本实用新型提供一种氮氧传感器陶瓷芯体，包括：第一基片的上表面设有加热电极，加热电极包裹在加热电极绝缘层中；第二基片的上表面设有参考电极和泄压孔，第三基片设有参考气体通道，上表面依序设置一级泵电极的下泵电极、二级泵电极的下泵电极和测量电极；第四基片上依序设置五个空腔，空腔之间设置屏障层，第五基片的下表面依序设置一级、二级泵电极的上泵电极，上表面设置公共电极；第三空腔的一级泵电极的上下泵电极通过第四基片的半通孔相连形成一级泵电极；第四空腔的二级泵电极的上下泵电极通过第四基片的半通孔相连形成所述二级泵电极。避免二级泵电极中贵金属金的挥发导致的测量电极污染、测量精度高且灵敏度好。
一种传感器陶瓷

[实用新型]医用电极-CN201220108711.7有效
发明人：朱韻;李皓 -专利权人：常州市第一人民医院
申请日： 2012-03-22 - 公布日： 2012-11-07 - 主分类号： A61B5/0492 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种医用电极，包括基片，基片的下部固定有粘结层，基片的上部固定有弹性层，所述基片上具有孔，孔上穿装有导电端子，其创新点在于：所述基片与粘结层均上下对应开有豁口，且导电端子四周充装有导电膏本实用新型具有粘结牢固，测量效果好的特点。
医用电极

[发明专利]度量、光刻、加工装置、度量方法及器件制造方法-CN200610100135.0有效
发明人： H·P·M·佩勒曼斯;A·J·登博夫;W·M·科尔贝杰;H·范德兰 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2006-06-29 - 公布日： 2007-01-10 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种用于测量基片上的显微结构的参数的度量装置，该装置包括设置成可产生测量光束的超连续光谱光源、设置成可将该测量光束导引到该基片上的光学系统以及用于探测被该结构反射和/或衍射的辐射的传感器。
度量光刻加工装置方法器件制造

[实用新型]一种爆炸箔组件厚度测量工装-CN201520325550.0有效
发明人：王丽玲;叶芸;李海军;赵胜超 -专利权人：中国工程物理研究院化工材料研究所
申请日： 2015-05-19 - 公布日： 2015-11-18 - 主分类号： G01B21/08 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种爆炸箔组件厚度测量工装，涉及冲击片雷管装配领域。一种爆炸箔组件厚度测量工装，它是长方体结构，在长方体的顶面有两个向下凹陷深度不同且相邻的凹槽，分别是电缆定位槽和基片定位槽。所述电缆定位槽和基片定位槽的长度之和与所述长方体顶面的长边边长相等；所述基片定位槽凹陷的深度大于电缆定位槽凹陷的深度；在所述基片定位槽上有一个继续向下凹陷的凹槽，该凹槽是铜薄膜让位槽。本实用新型装置通过将待测物放置在工装中，测量简单，操作方便，测量误差较小、结果更准确。且通过铜薄膜让位槽的设置，能有效保护焊带及铜薄膜不被压坏或划伤。
一种爆炸组件厚度测量工装

[实用新型]一种用于固定的推力计垫块装置-CN202221540217.8有效
发明人：周东平;张鑫;徐倩 -专利权人：镇江晶鼎光电科技有限公司
申请日： 2022-06-20 - 公布日： 2022-10-04 - 主分类号： G01L25/00 文献下载
摘要：本实用新型提供的一种用于固定的推力计垫块装置，其结构简单，设计合理，操作方便，使基片稳定放置在装置上，大大减小了基片的晃动，且能够有效防止推力测量时基片发生掉落的情况，同时稳定的机构大大减少了测量中误差发生的可能，使推力的测量更加稳定准确，并且能够有效减少基片在测量时的磨损。
一种用于固定推力垫块装置

[实用新型]一种薄膜制造装置-CN201020523541.X无效
发明人：朱奎 -专利权人：朱奎
申请日： 2010-08-31 - 公布日： 2011-04-13 - 主分类号： C23C16/50 文献下载
摘要：本使用新型公开了一种薄膜制造装置，其特征是包括进气管、出气管、真空测量器、基片、基台、电极、直流电源、容器壁。进气管管径为150～300mm，出气管管径80～150mm，真空测量计带报警器，基片位于铜电极下方10～15cm，基片放置在基台上，基片边缘与容器壁间隙为3～5cm，铜电极与直流电源联接。
一种薄膜制造装置

[实用新型]用于激发高纯度横波模式的压电超声换能器-CN201220038620.0有效
发明人：邓明晰;吕霞付 -专利权人：中国人民解放军后勤工程学院
申请日： 2012-02-08 - 公布日： 2012-09-05 - 主分类号： G01N29/34 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种用于激发高纯度横波模式的压电超声换能器，包括作厚度剪切振动的压电基片和电极，压电基片为矩形基片，电极由等厚的金属膜构成，其中一个电极为盒状，另一个电极为矩形薄片状，盒状电极紧贴压电基片且包覆矩形基片的下底面、四个侧面以及上底面的四条等宽边缘，矩形薄片状电极贴于压电基片的上底面，矩形薄片状电极的长度大于宽度的两倍，矩形薄片状电极与盒状电极上底面边缘之间的间隙相等于盒状电极上底面四条边缘的宽度。采用本实用新型的结构，可激发出高纯度的横波模式，从而对于采用横波方式测量的场合，会更加有利于波形的观察和测量，提高检测和测量效果。
用于激发纯度模式压电超声换能器

[发明专利]基片处理装置、基片处理方法和存储介质-CN201910026268.5在审
发明人：野中纯;丸山裕隆;福田喜辉;池田义谦;谷口裕树 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2019-01-11 - 公布日： 2019-07-23 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明能够检测干燥处理后的基片背面的残留液。实施方式的基片处理装置包括保持部、喷嘴、检测部和控制部。保持部保持基片并使其旋转。喷嘴向基片的背面排出处理液。检测部测量对象区域内的物体的温度。控制部控制保持部控制，在进行了干燥处理后，根据检测部的检测结果，判断在基片的背面有无处理液的残留液，其中该干燥处理使基片旋转以从基片甩去处理液来使基片干燥。
干燥处理处理液基片处理装置检测喷嘴残留液背面测量对象区域存储介质基片处理基片干燥检测结果排出

[实用新型]一种应用于无人机的平面集成式微波测高雷达-CN201820980190.1有效
发明人：陈振华 -专利权人：南京信息工程大学
申请日： 2018-06-25 - 公布日： 2019-01-25 - 主分类号： G01S13/08 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种应用于无人机的平面集成式微波测高雷达，包括微波基片、第一基片和第二基片，所述微波基片、第一基片、第二基片从上至下顺序叠放，微波基片的上表面设有射频收发前端、发射天线、接收天线、第一滤波器、第二滤波器和混合环，第二基片的底部设有频率合成器、电源管理模块、通讯接口模块和控制处理电路。构成全天时进行精确稳定的高度测量的雷达传感器。
微波基片滤波器测高雷达平面集成微波电源管理模块控制处理电路通讯接口模块本实用新型雷达传感器频率合成器从上至下发射天线高度测量接收天线射频收发顺序叠放混合环全天时上表面应用