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- [发明专利]光电探测器校准装置及其校准方法-CN201110204041.9有效
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宋平;马明英
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上海微电子装备有限公司
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2011-07-20
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2013-01-23
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G03F7/20
- 一种光电探测器校准装置及其校准方法，包括分光棱镜，位于光电探测器上方，所述光电探测器位于工件台上，照明光通过所述分光棱镜分为第一测量光和第二测量光；绝对探测器，位于所述分光棱镜一侧，第二测量光入射到所述绝对探测器，第一测量光入射到光电探测器；处理单元，用于对所述绝对探测器测得的第二测量光光强和所述光电探测器测得的第一测量光光强进行计算，建立所述光电探测器和所述绝对探测器的关系，校准所述光电探测器的增益和偏置。本装置及方法操作简单、减小人为因素对光刻机内部的环境污染，提高测试准确性；绝对探测器和校准探测器测量的光为同一束光，避免了由于光源的波动性出现透过率变化的情况，从而提高了测量准确性。
- 光电探测器校准装置及其方法
- [发明专利]一种波长测量装置-CN201811639699.0有效
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罗俊;赵晗
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海思光电子有限公司
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2018-12-29
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2022-04-29
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H04B10/079
- 本申请实施例公开了一种波长测量装置，用于精确测量任意波长的波长。该波长测量装置包括：分光滤波装置、第一光电探测器、第二光电探测器、第三光电探测器和第四光电探测器以及信号处理装置；所述分光滤波装置包括输入端口、第一输出端口、第二输出端口、第三输出端口和第四输出端口；所述第一输出端口与所述第一光电探测器相连，所述第二输出端口与所述第二光电探测器相连，所述第三输出端口与所述第三光电探测器相连，所述第四输出端口与所述第四光电探测器相连；所述信号处理装置与所述第一光电探测器、所述第二光电探测器、所述第三光电探测器和所述第四光电探测器均相连
- 一种波长测量装置
- [实用新型]一种基于时间测角的新型传感器-CN202120401223.4有效
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张白;康学亮;高洋;其他发明人请求不公开姓名
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北方民族大学
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2021-02-23
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2021-10-15
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G01B11/26
- 本实用新型涉及一种基于时间测角的新型传感器，包括光波导阵列器件，对激光进行角度变化后发射至多边正棱柱和参考光电探测器；测量光电探测器，接收多边正棱柱反射的激光；参考光电探测器，接收光波导阵列器件发射的激光；处理器，记录激光入射至参考光电探测器的时间和入射至测量光电探测器的时间，根据时间差计算出多边正棱柱的相对角度，作为被测物体在时间段内的旋转角度；多边正棱柱搭载被测物体进行旋转，将光波导阵列器件发射的激光反射至测量光电探测器通过光波导阵列器件实现激光入射角的高频改变，通过激光入射至参考光电探测器与测量光电探测器的时间差确定出多边正棱柱的相对旋转角度，角度测量精度将与时间测量精度相关。
- 一种基于时间新型传感器
- [实用新型]四探测器偏振光计-CN201520297159.4有效
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王灵浩
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王灵浩
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2015-05-04
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2016-04-27
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G01J4/04
- 本实用新型涉及一种四探测器偏振光计，主要包括按照光路依次设置的光源(1)、第一光电探测器(2)、第二光电探测器(3)、第三光电探测器(4)和第四光电探测器(5)，第一光电探测器(2)、第二光电探测器(3)和第三光电探测器(4)相对于光线倾斜放置，所述第四光电探测器(5)相对于光线呈垂直放置。与传统偏振光系统或偏振光计相比，本实用新型提供的四探测器偏振光计没有移动部分和调制部分，机械稳定性好，可以完成待测光的瞬时测量，测量速度仅由探测器的响应速度决定，在系统定标时，不需要对每个光学部件的Muller矩阵进行测量，而是将整个系统视为一个整体，只需求出系统整体的仪器矩阵，降低了误差的级数。
- 探测器偏振光
- [发明专利]一种海水体散射多光谱船载走航测量装置-CN202210506096.3有效
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胡连波;陈树果
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中国海洋大学
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2022-05-11
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2022-08-30
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G01N21/27
- 本发明公开了一种海水体散射多光谱船载走航测量装置，属于多光谱测量技术领域，包括：外壳，其内部具有密闭的容纳腔；椭圆反射镜；流通管；参考光电探测器；全光谱光源，其用于发射全光谱的入射光线；滤光组件；准直部件；分光部件；光电探测阵列；处理模块，其分别与所述参考光电探测器和光电探测阵列连接，用于根据所述参考光电探测器和光电探测阵列测量海水体散射光谱强度。本发明通过设置全光谱光源配合滤光组件，能够产生不同光谱成分和强度的光束，通过光电探测阵列测量水体的多光谱体散射；本装置采用椭圆反射镜，无需将探测器转动，以及无需设置多个探测器，能够提高所测量的体散射角度分辨率
- 一种海水散射光谱船载走航测装置
- [发明专利]一种目标辐射测量背景实时扣除的方法-CN201010238090.X无效
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王先起
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上海闻泰电子科技有限公司
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2010-07-27
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2012-02-01
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G01J5/06
- 本发明公开了一种目标辐射测量背景实时扣除的方法，该方法通过目标、背景、光学系统、扫描振镜、第一光电探测器、第二光电探测器、信号处理系统和计算机来完成，光学系统对目标成像，当扫描振镜作振动时，目标依次在第一光电探测器和第二光电探测器上成像，目标在第一光电探测器上成像时，第二光电探测器上对背景成像，目标在第二光电探测器上时，第一光电探测器上对背景成像，通过信号处理系统将第一光电探测器和第二光电探测器的信号实时相减，实时有效地扣除背景对目标辐射测量的影响本发明目标辐射测量采用的实时背景扣除方法与事后背景扣除方法相比具有较好的实时性，可以实时反映目标辐射强度的变化。
- 一种目标辐射测量背景实时扣除方法
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