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- [发明专利]洗涤液水枪-CN201410722228.1在审
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张朝殿
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张朝殿
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2014-12-03
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2015-04-08
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B05B7/04
- 本发明公开了一种洗涤液水枪，其结构包括喷头、洗涤液喷嘴、储液罐、调节阀和进水管；所述喷头的形状与传统的水枪喷头一致，所述喷头的前方设有洗涤液喷嘴，所述喷嘴是用于喷洒洗涤液的喷嘴，所述喷头的上方设有储液罐，所述储液罐与所述洗涤液喷嘴相通，所述储液罐上设有调节阀；所述调节阀能调节洗涤液与水的混合比例；所述洗涤液依靠水枪的高压水的压力进行喷洒。本发明的有益效果是：能同时将水喝洗涤液混合喷洒。
- 洗涤液水枪
- [实用新型]火车前玻璃洗涤器-CN95237879.5无效
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谭良
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谭良
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1995-10-27
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1997-03-19
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B60S1/02
- 火车前玻璃洗涤器，包括洗涤液罐、水泵、洗涤液管和喷嘴四个部分构成的玻璃清洗装置，具有由立式齿轮泵供液的输液泵，和结构新颖独特的储液罐，其水泵设置在洗涤液罐下部中央缺口之内，其入口与洗涤液罐连通，洗涤管又与一个或多个喷嘴相连通，洗涤液经水泵抽吸，送入洗涤液管并经喷嘴喷到玻璃面上，从而可方便雨刮器将机车前玻璃面上的灰尘清洗干净，而不出现干刮现象。
- 火车玻璃洗涤器
- [发明专利]液体供给装置及基板处理装置-CN200410045947.0有效
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田中隆史;丰田浩司
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大日本网目版制造株式会社
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2004-05-25
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2005-02-02
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H01L21/027
- 本发明提供一种液体供给装置及基板处理装置，防止向基板供应的处理液中混入其它液体。在液体供给装置(30)上设置狭缝喷嘴(31)；喷嘴管道(32)；三通阀(33)；药液供给部(34)；药液管道(35)；洗涤液供给部(36)；洗涤液管道(37)及排液装置(38)。通过将由洗涤液供给部(36)供应的洗涤液从狭缝喷嘴(31)排出，在显影处理中，将附着并残留在狭缝喷嘴(31)及喷嘴管道(32)等上的显影液洗净。之后，由排液装置(38)将洗涤液从洗涤液管道(37)排液，使洗涤液管道(37)处于空的状态。进一步，控制三通阀(33)，将喷嘴管道(32)与药液管道(35)连通地连接，进行从药液供给部(34)的显影液的供应。
- 液体供给装置处理
- [发明专利]扫描系统-CN202180036042.9在审
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吴文植;金廷桓;金泰亨
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非视觉污染分析科学技术有限公司
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2021-04-19
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2023-01-31
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H01L21/67
- 本发明涉及扫描系统，更详细地，涉及一种对于进行标准试样化处理的晶圆的斜面区域进行扫描，并能够迅速地洗涤在扫描工艺中使用的斜面喷嘴的扫描系统。为此，本发明的扫描系统，包括：斜面扫描喷嘴部(10)，其在斜面喷嘴的下端侧形成有使得晶圆的斜面部分出入地贯通形成的喷嘴槽，而使用既定容量的扫描液扫描晶圆的斜面区域；及晶圆安置架(50)，其安置所述晶圆(1)使其以既定的速度旋转；喷嘴洗涤部(90)，其用于将所述斜面扫描喷嘴部(10)浸渍洗涤，包括：洗涤腔，其填满洗涤液(39)，并形成有所述洗涤液溢出的空间即洗涤液外溢部(94)；洗涤液注入口(95)，其注入向所述洗涤腔内充填的洗涤液；洗涤液排出口(98)，其将溢出的所述洗涤液向外部放流。
- 扫描系统
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