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[发明专利]一种宽光谱物镜波像差的测算方法及系统-CN202210021978.0有效
发明人：马骏;闫力松;赵润川;方斌 -专利权人：上海精积微半导体技术有限公司
申请日： 2022-01-10 - 公布日： 2022-08-16 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：本发明的宽光谱物镜波像差的测算方法包括：搭建物镜的波像差实测光路并获取物镜在标准波长处的波像差实测值；基于物镜的实际光学结构参数搭建物镜的波像差理论仿真光学系统并计算出物镜在标准波长处和待测波长处的波像差的理论差值；基于物镜在标准波长处的波像差实测值以及物镜在标准波长处和待测波长处的波像差的理论差值获取物镜在待测波长处的波像差等效实测值。本发明通过先搭建基于标准波长的物镜波像差实测光路获取物镜在标准波长处的波像差实测值，再基于实际光学结构参数搭建物镜波像差理论仿真光学系统从而获取物镜在标准波长处和待测波长处的波像差的理论差值，进而间接求得物镜在待测波长处的波像差等效实测值
一种光谱物镜波像差测算方法系统

[发明专利]一种波像差校正系统与方法-CN201010155819.7有效
发明人：段立峰;马明英 -专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日： 2010-04-27 - 公布日： 2011-11-09 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种波像差校正系统和利用该系统进行波像差校正的方法。所述系统包括投影物镜和与投影物镜相结合的波像差校正装置，其中，投影物镜具有多个折射镜和多个反射镜，该多个反射镜中具有一个或多个变形反射镜，波像差校正装置具有波像差测量系统、信号处理系统和一个或多个驱动单元，投影物镜对位于物面处的波像差测量图形进行成像，波像差测量系统在像面处测量投影物镜的波像差，信号处理系统对波像差测量系统测得的波像差进行处理且能产生控制信号，所述一个或多个驱动单元与投影物镜中的一个或多个变形反射镜相结合并根据控制信号驱动变形反射镜的不同点产生不同的位移，所述波像差测量系统、信号处理系统、驱动单元和投影物镜形成闭环回路，实现对投影物镜波像差的实时校正。
一种波像差校正系统方法

[发明专利]一种软X射线-真空紫外光学系统的设计方法及光学系统-CN202310036674.6在审
发明人：曹一青 -专利权人：莆田学院
申请日： 2023-01-10 - 公布日： 2023-05-09 - 主分类号： G02B27/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种软X射线‑真空紫外光学系统的设计方法及光学系统，包括以下步骤：步骤一：基于软X射线‑真空紫外光学系统像差理论，分别计算系统中两个光学元件的场曲波像差、彗差波像差、球差波像差、像散波像差和畸变波像差并建立总波像差表达式；步骤二：应用光学元件2的波像差来平衡光学元件1的波像差，建立系统的场曲、彗差、球差、像散及畸变总波像差平衡方程式；步骤三：构建光学系统总的波像差平衡方程式作为系统成像质量评价目标函数；步骤四：应用自适应变异概率改进的遗传算法对目标函数进行求解
一种射线真空紫外光学系统设计方法

[发明专利]一种波像差检测系统及测量方法-CN201711244709.6在审
发明人：孙慧慧 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2017-11-30 - 公布日： 2019-06-07 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种波像差测量方法，包括：使用球面波照射波像差测量装置，通过波像差测量装置获得未安装投影物镜时像方参考光斑对应的第一波前信息；安装投影物镜，使球面波经过投影物镜后，入射至波像差测量装置；调节波像差测量装置使得像点阵列和参考光斑的位置对准；根据波像差测量装置获得像点阵列的波前倾斜，并获得第二波前信息；根据第二波前信息和第一波前信息获得投影物镜的波像差信息。本发明实施例提供了一种波像差检测系统及测量方法，利用波像差测量装置可实现多视场点的同时探测，在保证测量精度的同时，提高测试效率。
波像差测量装置波前信息投影物镜波像差检测光斑测量球面波像点波像差测量测试效率位置对准参考波像差入射视场像方照射探测保证

[发明专利]波像差校正装置及方法-CN201110051545.1有效
发明人：段立峰;李映笙;马明英 -专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日： 2011-03-03 - 公布日： 2012-09-05 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种波像差校正装置及方法。所述校正装置包括波像差测量系统，测量投影物镜的波像差；信号处理系统，对所述投影物镜的波像差进行处理并输出驱动电压信号；液体镜头，根据所述驱动电压信号产生形变进行投影物镜的波像差校正。校正方法包括波像差测量系统在像面测量波像差，计算所述投影物镜的波像差与要求值的偏差，拟合为波前误差，将所述波前误差发送到信号处理系统；所述信号处理系统将接收到的波前误差转换为液体镜头的形变偏差，根据所述液体镜头的形变偏差输出驱动直流电压所述波像差校正装置及校正方法能够实现校正投影物镜波像差，该校正装置结构简单、成本低、操作容易、使用寿命长。
波像差校正装置方法

[发明专利]波像差测量模块的畸变测量装置和畸变校正方法-CN201410582052.4有效
发明人：卢云君;唐锋;王向朝 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2014-10-27 - 公布日： 2017-12-01 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种波像差测量系统的畸变测量装置和畸变校正方法，该装置包含光源、标准模板、波像差测量模块、精密调节台和数据处理单元，波像差测量模块由傅立叶透镜和图像采集元件共同组成，标准模板用于波像差测量模块的畸变测量中本发明通过在光源和波像差测量模块之间放置标准模板，标准模板上制作有位置已知的高精度定位标记，由图像采集元件采集图像并输出至数据处理单元中。数据处理单元对图像进行定位标记的图像识别，然后进行畸变的映射计算，并对波像差测量结果进行畸变的位置校正和波像差数据的修正，提高波像差测量精度，对于干涉法和非干涉法的波像差测量模块的畸变测量都适用。
波像差测量模块畸变装置校正方法

[发明专利]一种波像差测量方法、波像差测量装置及光刻机-CN201910551270.4在审
发明人：董冠极;马明英 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2019-06-24 - 公布日： 2020-12-25 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明涉及一种波像差测量方法、波像差测量装置及光刻机，所述波像差测量方法包括：步骤(1)设置测量标记，所述测量标记包括位于投影物镜两端的物面光栅和像面光栅；步骤(2)提供一检测光束，使所述检测光束经所述物面光栅后被投影至所述像面光栅处，得到波像差测试图；步骤(3)改变所述物面光栅与所述像面光栅的相对位置，得到不同相移条件下的多个波像差测试图及测量标记的多个位置坐标；步骤(4)根据所述测量标记的多个位置坐标，计算所述测量标记的多个实际相移量；步骤(5)求解投影物镜的波前相位；步骤(6)计算得到投影物镜的波像差。本发明在测量波像差时，通过测量标记的实际位置求解波像差，提高了波像差的测量精度。
一种波像差测量方法测量装置光刻

[发明专利]像差校正器件及激光显微镜-CN201380025759.9有效
发明人：松本健志;田边绫乃;桥本信幸;栗原诚;横山正史 -专利权人：西铁城时计株式会社
申请日： 2013-03-15 - 公布日： 2017-08-15 - 主分类号： G02B21/06 文献下载
摘要：像差校正器件(3)对包含配置于从相干光源(1)射出的光束的光路中的物镜(4)的光学系统所产生波像差进行校正。为此，像差校正器件(3)包括对称性像差校正元件(3a)，其校正在光路中产生的波像差之中的、作为相对于光轴对称的波像差的对称性像差；非对称性像差校正元件(3a)，其校正对于斜入射到物镜(4)而产生的、作为相对于光轴而非对称的波像差的非对称性像差
校正器件激光显微镜

[发明专利]一种微缩投影系统波像差检测系统及波像差检测方法-CN201510962446.7在审
发明人：谢耀;于杰;王丽萍;郭本银;王辉;周烽;金春水 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2015-12-21 - 公布日： 2017-01-18 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种微缩投影系统波像差检测系统及波像差检测方法，其中，微缩投影系统波像差检测系统包括点衍射干涉仪、微缩投影系统以及与点衍射干涉仪处于同一光路上的球面反射系统，所述微缩投影系统置于点衍射干涉仪和球面反射系统之间同时，该发明提供了一种基于上述微缩投影系统波像差检测系统的波像差检测方法。本发明提供的微缩投影系统波像差检测系统，对机械结构的变化反应敏感、装调过程能快速收敛并且波像差检测精确。
一种微缩投影系统波像差检测方法

[发明专利]显微镜物镜计算机辅助装调方法-CN201810907506.9有效
发明人：孙长胜;李伸朋;杨召兵 -专利权人：宁波舜宇仪器有限公司
申请日： 2018-08-10 - 公布日： 2021-01-05 - 主分类号： G02B27/62 文献下载
摘要：本发明涉及一种显微镜物镜计算机辅助装调方法，包括：S1、根据物镜光学设计软件建立并训练多重神经网络回归模型，确定物镜制造装配误差与物镜波像差的对应关系；S2、测量物镜的实际波像差，若所述实际波像差满足预定阈值，结束装调操作；S3、若所述实际波像差在所述预定阈值范围之外，则将所述实际波像差代入所述多重神经网络回归模型，由所述多重神经网络回归模型给出装调预测误差；S4、依据所述装调预测误差调整所述物镜，并再次测量所述物镜的实际波像差，若所得实际波像差满足所述预定阈值，结束装调操作；否则重复所述步骤S3‑S4，直至所述实际波像差满足所述预定阈值。
显微镜物镜计算机辅助方法

[发明专利]一种空间位置变化前后两次检测波像差残差的计算方法-CN202011434660.2有效
发明人：罗倩;李志炜;邵俊铭;吴时彬 -专利权人：中国科学院光电技术研究所
申请日： 2020-12-10 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：本发明公开一种空间位置变化前后两次检测波像差残差的分析方法，计算出加工前后波像差变化量。在被测镜上任意位置作三个标记，加工前后检测波像差，两次检测的波像差上找出三个标记没有数据的区域，计算出中心点的位置坐标，这三个点坐标为标记点位置。加工前后检测的波像差上的三个标记点连成两个三角形，两者的空间位置发生了三种几何变换：旋转、平移和缩放，解出两个三角形的变换矩阵T，根据变换矩阵T，计算出加工后的波像差矩阵变换成跟加工前同样空间位置且同等大小的三维矩阵数据，将其与加工前的波像差相减得到残差，分析这两次检测的波像差变化。解决两次检测波像差由于空间位置改变且采样像素不同不能点对点相减的问题。
一种空间位置变化前后两次检测波像差残差计算方法

[发明专利]利用刀口作为检测标记的波像差检测系统及检测方法-CN201610115183.0有效
发明人：方伟;唐锋;王向朝;朱鹏辉;李杰 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2016-03-01 - 公布日： 2018-04-17 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：一种利用刀口作为检测标记的波像差检测系统及基于刀口测试技术和扫描相干衍射成像(Ptychography)技术的波像差检测方法。该波像差检测系统包括相干点光源，作为检测标记的刀口图形，固定刀口图形的检测标记调节位移台和二维光电传感器。利用本发明的波像差检测系统检测待测投影物镜的波像差，可以简化系统结构，减少观测面图样的采集次数，提高系统的检测速度和精度。
利用刀口作为检测标记波像差系统方法

[发明专利]一种光刻成像系统波像差优化方法、装置、设备及介质-CN202210094255.3在审
发明人：陈知枢;韦亚一;董立松 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2022-01-26 - 公布日： 2023-08-04 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开一种光刻成像系统波像差优化方法、装置、设备及介质，涉及半导体制造和光刻工艺开发技术领域，用于解决现有技术中无法对波像差分布进行可靠优化的问题。包括：获取光刻成像系统光刻曝光的目标性能指标；将目标性能指标输入构建完成的映射关系模型中，得到光刻成像系统中表征波像差的目标泽尼克项；基于目标泽尼克项，采用确定性筛选设计方法对光刻成像系统的波像差进行优化其中通过确定性筛选设计方法建立的表征波像差的泽尼克项与光刻成像性能指标之间关系的模型，既可以实现波像差对光刻成像性能影响的快速正向分析，也可以根据光刻成像性能的指标要求实现投影系统波像差的优化，可以为投影物镜像差的快速调整提供评估依据
一种光刻成像系统波像差优化方法装置设备介质

[发明专利]一种波像差测量标记及波像差测量方法-CN201210183465.6有效
发明人：马明英;段立峰 -专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日： 2012-06-06 - 公布日： 2013-12-25 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提出一种波像差测量物面标记，形成在光刻机系统的掩模上，其特征在于该物面标记包括光栅标记和小孔标记，光栅标记和小孔标记分别在标记面上排成列，每个光栅标记和每个小孔标记构成一组标记并且排成一行。同时还提出了使用该物面标记测量波像差的方法。由于本发明的波像差测量物面标记既包括光栅标记，又包括小孔标记，在通过剪切干涉条纹测量波像差的同时，通过小孔标记测量剂量，从而提高了波像差测量精度，减小了光强不均匀性对波像差检测精度的影响。
一种波像差测量标记测量方法

[发明专利]自适应光学系统、曝光系统、波像差调节方法及设备-CN202311111061.0在审
发明人：何军;盛乃援;马卫民 -专利权人：光科芯图（北京）科技有限公司
申请日： 2023-08-31 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明涉及光刻技术领域，公开了一种自适应光学系统、曝光系统、波像差调节方法及设备。本发明在变形镜对第一光束的相位进行调整得到第二光束之后，首先由波前检测模块检测第二光束的波前图形，然后由图像处理模块基于第二光束的波前图形与预标定的波前图形得到波像差。当波像差不满足预设曝光条件时，不断调整变形镜，直至波像差满足预设曝光条件时，利用第二光束完成曝光。本发明仅通过波前检测模块即可完成波像差的检测工作，结构简单且独立。而且，在波像差补偿的过程中，本方案直接通过图像处理模块调整波前检测模块即可实现对波像差的补偿，其补偿方式简便，且补偿时长短，从而使成像质量和效率提高。
自适应光学系统曝光系统波像差调节方法设备

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