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- [实用新型]一种太阳能电池用光致化学沉积装置-CN201220432679.8有效
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夏洋
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夏洋
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2012-08-28
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2013-02-20
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C23C16/48
- 一种太阳能电池用光致化学沉积装置,包括补液系统、沉积系统,所述补液系统包括放置反应溶液的补液腔体,所述补液腔体内的底部安装有第一加热装置,其上部安装有第一在线温度监测装置,所述补液腔体上设有将液体输送至沉积系统的液体输出管道,其内在液体输出管道的上方设有过滤装置,所述液体输出管道上安装有液体流量计;所述沉积系统包括沉积反应腔体,所述沉积反应腔体的底部安装有第二加热装置、鼓泡装置、时间控制器以及循环装置,所述沉积反应腔体内安装有将硅片固定在沉积反应腔体内的真空吸附装置本实用新型的有益效果:可用于低成本,无损伤二氧化硅薄膜的沉积。
- 一种太阳能电池用光化学沉积装置
- [发明专利]沉积薄膜的装置和方法-CN201210535035.6有效
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李朝晖;宋秋明;张军;顾光一;肖旭东
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深圳先进技术研究院;香港中文大学
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2012-12-12
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2013-04-03
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B05C5/00
- 一种薄膜沉积装置,包括:沉积装置,包括上盖和衬底,所述上盖与所述衬底之间形成用于承装溶液的沉积室;加热系统,包括承载热液的热液承载装置和与所述热液承载装置相连的用于加热热液的加热装置,所述衬底固定在所述热液承载装置上,且所述热液承载装置内的热液与所述衬底的一个表面相接触;反应液供应装置,包括反应液承载装置和进料管,所述进料管的一端与所述反应液承载装置连通,另一端穿过所述上盖,用于将所述反应液承载装置中的反应液输送至所述衬底的另一个表面上在上述薄膜沉积装置中,由于镀膜只在衬底的一面进行,而另一面保持清洁,防止污染,节省了反应液,提高了反应液的利用率。本发明还提供一种薄膜沉积的方法。
- 沉积薄膜装置方法
- [发明专利]原子层沉积反应气体的制备机构及其制备方法-CN202111590788.2在审
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周向前
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周向前
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2021-12-23
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2022-05-06
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C23C16/448
- 本发明公开了一种原子层沉积反应气体的制备机构及其制备方法,制备机构包括:反应源、载气源和反应气体罐,所述反应源内可操作地储有原子层沉积反应液;所述载气源通过载气管道与所述反应源连通,所述载气管道可操作地插入所述反应液内;所述反应气体罐与所述反应源连通,所述反应气体罐能够密封。本发明提供了一种原子层沉积反应气体的制备机构,该机构包括:反应源和反应气体罐,反应源内的反应气体被载气携带进入反应气体罐内,反应气体和载气在反应气体罐内被密封。当小型实验室需要对原子层沉积反应进行实验时,可以仅仅购买一罐反应气体罐,将反应气体罐接入原子层沉积反应室上,就能够进行原子层沉积实验。
- 原子沉积反应气体制备机构及其方法
- [发明专利]一种多层沉积制备阻燃纸的方法-CN201210208179.0有效
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刘跃军;毛龙;郝宗贤;刘小超;刘亦武
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厦门理工学院
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2012-06-25
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2017-06-16
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D21H27/00
- 本发明公开的是一种利用分子沉积法多层沉积改性植物纤维,并将改性的植物纤维成型为阻燃纸或纸板的方法。具体步骤为①将植物纤维均匀分散为浆状;②取正电性沉积物和PH调节剂溶解在水中作为第一次沉积反应液;取负电性沉积物质和PH调节剂溶解在水中作为第二次沉积反应液;③将纸纤维均匀浸入第一次沉积反应液中,静置一定时间;④将③的产物取出,洗涤;⑤将④的产物均匀浸入到第二次沉积反应液中,静置一定时间;⑥多次重复第二步到第五步后,将得到的改性植物纤维进行抄纸,制备成阻燃纸。本方法可使沉积膜与植物纤维紧密结合,反应装置结构简单投资少、工艺简单易控制,成本低,无污染,可实现大批量生产,本方法制备出的阻燃纸的力学强度高阻燃性好。
- 一种多层沉积制备阻燃方法
- [发明专利]水平斜置方式逐片连续生产的化学沉积设备及方法-CN201910640220.3有效
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黄信航
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黄信航
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2019-07-16
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2023-02-28
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C23C18/16
- 一种水平斜置方式逐片连续生产的化学沉积设备及方法,使用载具将电路板采直立式承载着;由载具将电路板以斜置形态送入沉积反应槽内进行化学沉积反应,其中斜置形态指载具位置与前进方向具有斜置角度,该斜置角度为74~81度;由移动机构带动载具由沉积反应槽内的初始位置移动至最终位置,另在沉积反应槽内壁设有多个喷流模块,喷流模块在载具移动过程中对斜置的电路板表面持续喷出反应液,利用电路板在沉积反应槽内的留置时间,完成金属沉积在电路板的作业本发明采用直立斜置形态的电路板移动方式,配合反应液喷流至电路板表面和孔内壁,有效率地将金属沉积在电路板表面和孔内壁且避免气泡残留其中,另可扩大应用在各种化学沉积作业。
- 水平方式连续生产化学沉积设备方法
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