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[发明专利]一种针对易挥发墨水的气溶胶喷印方法及系统-CN201911030809.8在审
发明人：王晗;陈杨钟;曾景华;江文佳;辛正一 -专利权人：季华实验室
申请日： 2019-10-28 - 公布日： 2020-01-31 - 主分类号： B29C64/159 文献下载
摘要：本发明涉及气溶胶喷印技术领域，尤其涉及一种针对易挥发溶剂墨水的气溶胶喷印方法及系统。该方法包括如下步骤：S01：对鞘气气体进行加热加压处理；S02：将加热加压处理后的鞘气气体输送至用于喷墨打印的墨水内，形成饱和状态鞘气气体；S03：将饱和状态鞘气气体输送至气溶胶喷印头的鞘气通道内。该系统包括依次串联设置的鞘气气体储存容器、加热加压装置、墨水储存容器以及所述气溶胶喷印头。与现有技术相比，本发明以鞘气气体为载体，在鞘气气体进入气溶胶喷印头之前与墨水相同的溶剂进行饱和。在饱和状态的鞘气气体保护下，使得气溶胶表面溶剂不易挥发至空气中，从而气溶胶能够以溶液状态精确的沉积在衬底上，形成致密、均匀的精密薄膜。
鞘气气溶胶饱和状态喷印头墨水加热加压气体输送喷印加热加压装置墨水储存容器气体储存容器致密易挥发溶剂表面溶剂喷墨打印气体保护溶液状态依次串联溶剂沉积衬底挥发薄膜精密饱和

[实用新型]用于在沉积方法中使化学前体鼓泡的无气溶胶容器、使用其的贮器和系统-CN201820494808.3有效
发明人： C·M·比尔彻;G·维万克;S·V·伊瓦诺维;W·舍伊;T·A·斯泰德尔 -专利权人：弗萨姆材料美国有限责任公司
申请日： 2018-04-09 - 公布日： 2019-02-15 - 主分类号： C23C16/448 文献下载
摘要：本实用新型描述了用于在沉积方法中使化学前体鼓泡的无气溶胶容器、使用其的贮器和系统，以提供对用于沉积方法的贮器中前体利用的改善、以及贮器的清洁和再填充。本实用新型防止雾的形成并因此防止来自气溶胶的堵塞或晶片污染。
贮器沉积本实用新型气溶胶容器化学前体鼓泡管道堵塞晶片污染前体分解气溶胶再填充最小化阀门前体堵塞清洁

[发明专利]雾化辅助CVD薄膜沉积方法-CN201811587319.3有效
发明人：龚恒翔;冯倩;郝跃;廖飞;杨专青;马五吉 -专利权人：重庆理工大学;西安电子科技大学
申请日： 2018-12-25 - 公布日： 2020-09-25 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本发明公开一种雾化辅助CVD薄膜沉积方法，其特征在于包括如下步骤：步骤a：设计一款雾化辅助CVD薄膜沉积装置；步骤b：先将欲成膜的平面衬底放置在衬底模板上的安装孔中，再将衬底模板水平放置在下升降板上板面，并调整下升降板的位置；步骤d：反应区的温度达到预设温度后，先开启雾化源，雾化源将液体前驱体雾化成气溶胶前驱体，并利用雾化源发出的载气将气溶胶前驱体输入缓冲混合室内；步骤e:待反应区的温度接近室温或者在45℃以下时，先停止通过气相物进管和气溶胶进管向缓冲混合室内输入前驱体，再关闭抽气泵，最后打开密封盖，并将衬底模板取出，最后从衬底模板上取下衬底。本薄膜沉积方法沉积效率高，工艺安排合理，薄膜质量高。
雾化辅助 cvd 薄膜沉积方法

[发明专利]具有带直接沉积的传送材料的流体可透过加热器的加热器组件-CN202180042830.9在审
发明人： I·陶里诺 -专利权人：菲利普莫里斯生产公司
申请日： 2021-06-17 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： A24F40/46 文献下载
摘要：一种用于气溶胶生成系统的加热器组件(10)，加热器组件包括：用于加热液体气溶胶形成基质以形成气溶胶的流体可透过加热元件(12)，流体可透过加热元件包括多个孔口(16)以允许流体渗透通过加热元件(12)；以及传送材料(14)，所述传送材料包括用于将液体气溶胶形成基质输送到流体可透过加热元件(12)的多个孔口(16)的多个通道(18)；其中传送材料(14)包括陶瓷，所述陶瓷直接沉积到流体可透过加热元件(12)的流体可透过表面上；并且其中，对于超过50％的流体可透过加热元件(12)的孔口(16)，传送材料(14)包括用于将液体气溶胶形成基质输送到其相应孔口(16)的对应通道(18)。
具有直接沉积传送材料流体透过加热器组件

[实用新型]主动式自灭火的进线柜-CN202122320350.4有效
发明人：胡明;史保根;郭珈佚;徐潇 -专利权人：中航建设集团成套装备股份有限公司
申请日： 2021-09-24 - 公布日： 2022-05-24 - 主分类号： H02B1/28 文献下载
摘要：本申请公开了一种主动式自灭火的进线柜，包括：柜体、多根热敏感温线、S型热气溶胶灭火器、灭火启动开关、供电电源、安装组件；安装组件安装于柜体内顶面上；S型热气溶胶灭火器通过安装组件悬设于柜体顶面区域。该装置能实现对各监测点温度变化的有效监测，当监测点温度超过热敏感温线燃点120℃后，即可引发反应释放热气溶胶，使燃烧的温度迅速下降实现灭火，热气溶胶扩散效率较高，灭火效率较高，且无粉尘污染，清洁度较高。且热气溶胶灭火器的沉积物绝缘强度更高于干粉颗粒，在进线柜中使用安全性更高。
主动灭火进线柜

[发明专利]复合结构物的制造方法、除杂处理设备、成膜设备、复合结构物和原料粉末-CN200680014967.9无效
发明人：三好哲 -专利权人：富士胶片株式会社
申请日： 2006-09-27 - 公布日： 2008-04-30 - 主分类号： C23C24/04 文献下载
摘要：所述成膜设备包括：气溶胶生成单元(1－4)，用于将原料粉末(20)用气体分散，从而使原料粉末(20)气溶胶化；处理单元(6)，用于对通过气溶胶生成单元(1－4)产生的气溶胶化的原料粉末(20)进行处理，以便减少原料粉末(20)所附着的或者含有的杂质的量，其中所述杂质能够通过加热而生成气体；以及喷射嘴(9)，用于将经处理单元(6)处理的气溶胶化的原料粉末(20)喷向基底(30)，从而使原料粉末(20)沉积在基底
复合结构制造方法杂处设备原料粉末

[实用新型]一种表面涂覆设备-CN202020907990.8有效
发明人：张昱;刘强;高健;崔成强;叶怀宇;张国旗 -专利权人：深圳第三代半导体研究院
申请日： 2020-05-26 - 公布日： 2021-04-06 - 主分类号： B05B16/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种表面涂覆设备，所述表面涂覆设备包括纳米颗粒气溶胶制备装置、真空样品腔、样品多轴联动平台；所述纳米颗粒气溶胶制备装置包括纳米颗粒气溶胶制备腔以及与所述制备腔连接的涂覆部件；所述真空样品腔该技术可替代目前的电镀、化学镀、物理气相沉积、化学气相沉积等传统涂覆工艺，可使用任意材料的纳米气溶胶对任意形状、尺寸和结构的样品表面进行涂覆，操作简单、易实现，且具有非常广泛的普适性。
一种表面设备

[发明专利]一种基于平面芯片的暗场显微镜检测单个气溶胶纳米颗粒吸湿增长装置-CN202310167987.5在审
发明人：范泽滔;张斗国 -专利权人：中国科学技术大学
申请日： 2023-02-27 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： G01N21/84 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于平面芯片的暗场显微镜检测单个气溶胶纳米颗粒吸湿增长装置，包括：像面探测器(1)、成像管镜(2)、空气物镜(3)、控制腔(4)，平面芯片(5)、750nm滤波片(6)、750nmLED由LED光源发出的准直光束入射到平面芯片后，光束以空心的锥形光出射，照射沉积在平面芯片上的气溶胶颗粒。气溶胶颗粒的散射光被成像系统接收，形成暗场成像。当纳米气溶胶因为周围环境湿度增加而发生吸湿增长时，纳米气溶胶的散射信号会发生明显的改变，通过检测探测器上纳米气溶胶的散射强度，对颗粒的吸湿进行实时的测量。
一种基于平面芯片暗场显微镜检测单个气溶胶纳米颗粒吸湿增长装置

[发明专利]用于在衬底上沉积抗蚀剂薄层的设备和工艺-CN201280061213.4有效
发明人： G.M.丹纳;H.G.加特斯;V.S.塔拉索夫;P.E.凯恩;P.G.梅登;E.M.萨赫斯 -专利权人： 1366科技公司
申请日： 2012-10-12 - 公布日： 2017-03-22 - 主分类号： C23C18/14 文献下载
摘要：描述了一种设备，该设备用于将固体聚合物抗蚀剂转化为小颗粒的气溶胶，使颗粒带静电并将其沉积在衬底上，并且使颗粒流动为连续的层。还描述了一种设备，该设备用于通过加热抗蚀剂以形成例如适合雾化的低粘度液体并且应用射流或冲击雾化以及气溶胶颗粒定径的技术来形成气溶胶，从而将固体聚合物抗蚀剂转化为小颗粒的气溶胶。还描述了使用电离气体在气溶胶颗粒上赋予电荷以及使用一系列充电装置建立将带电颗粒流导向至衬底的电场的方法。该系列充电装置和相关联的设备导致气溶胶颗粒的高收集效率。
用于衬底沉积抗蚀剂薄层设备工艺

[实用新型]一种卷烟烟气气溶胶测试装置-CN201120031864.1无效
发明人：金勇;王诗太;李克;谭海风;范红梅;钱晓春;尹新强;谢国勇;刘琦;郭小义;赵立红;陈潜;秦亮生 -专利权人：湖南中烟工业有限责任公司
申请日： 2011-01-29 - 公布日： 2011-08-03 - 主分类号： G01N15/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种卷烟烟气气溶胶测试装置，包括由管道依次连接的烟气取样装置、稀释装置和气溶胶测试装置，本实用新型的技术效果在于：1，实现了卷烟新鲜烟气气溶胶粒径大小分布的实时测试。3，减少稀释对气溶胶测试结果的影响。4，采用这种部分流取样，减少进入稀释系统的颗粒物，使得颗粒沉积几率减少，减少稀释系统和阀的易堵的问题。
一种卷烟烟气气溶胶测试装置

[发明专利]吸入治疗二氧化碳增强-CN00818567.0无效
发明人： J·C·沃尔德莱普;J·V·奈特;N·克什基那 -专利权人：研究发展基金会
申请日： 2000-12-01 - 公布日： 2003-06-18 - 主分类号： A61K38/00 文献下载
摘要：本发明提供了提高气溶胶药物在呼吸道内沉积的方法。
吸入治疗二氧化碳增强

[发明专利]生物-光电多能场处理挥发性有机物和生物气溶胶的设备-CN202010851214.5在审
发明人：李琳;马嘉伟;韩云平 -专利权人：中国科学院生态环境研究中心
申请日： 2020-08-21 - 公布日： 2020-12-11 - 主分类号： B01D53/84 文献下载
摘要：本发明属于环境工程技术领域，涉及一种利用生物‑物化反应器协同处理气态污染物的设备，特别涉及一种生物‑光电多能场协同处理挥发性有机物和生物气溶胶的一体式设备及其应用。该设备将挥发性有机物的生物转化、光催化氧化与生物气溶胶的捕集、光电削减等多个反应过程结合，利用生物反应器转化挥发性有机物，利用电场捕集气相中的生物气溶胶，使其沉积在电极板上，从气相转移到固相表面，再利用光催化迅速杀灭沉积在电极板上的微生物将挥发性有机物的生物转化、静电沉积、光催化氧化相结合，实现挥发性有机物与生物气溶胶的有效协同处理。
生物光电多能处理挥发性有机物气溶胶设备

[发明专利]一种用于研究粉尘沉积行为的装置-CN201811435299.8有效
发明人：郭丽潇;王秀娟;邓少刚;梁栋;龚兵;张文俊;马书林;王永仙;蒋文江;梁宇;刘莹;于伟跃;林海鹏;周大为;张宇航;曹健;高亚华;杨博 -专利权人：中国辐射防护研究院;华能集团技术创新中心有限公司;华能山东石岛湾核电有限公司
申请日： 2018-11-28 - 公布日： 2023-04-14 - 主分类号： G21C17/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于研究粉尘沉积行为的装置，包括有用于存放压缩氦气的氦气储罐、氦气循环风机、氦气风机控制系统、氦气加热器、模拟件试验段、管道试验段、取样试验段、氦气冷却系统、用于产生石墨粉尘样品的气溶胶发生气囊以及气溶胶缓冲罐；本方案所提供的用于研究粉尘沉积行为的装置能够有效模拟高温气冷堆内石墨粉尘的传播及沉积行为，并同时可以对整个模拟过程中的石墨粉尘的传播和沉积过程进行监测与测量。
一种用于研究粉尘沉积行为装置

[发明专利]一种放射性气体和放射性气溶胶的在线监测方法-CN201510030680.6有效
发明人：蔡军;夏晓彬;涂传火;陈明明;洪鹏飞;马英豪;张志龙;曾志强 -专利权人：中国科学院上海应用物理研究所
申请日： 2015-01-21 - 公布日： 2017-10-27 - 主分类号： G01T1/167 文献下载
摘要：本发明涉及一种放射性气体和放射性气溶胶的在线监测系统，包括采样测量装置，惰性气体腔室和抽气泵，该采样测量装置具有流通通道、用于沉积放射性气溶胶的滤纸和用于探测放射性气溶胶的放射性气溶胶探测器，滤纸设置于该流通通道的路径上，该放射性气溶胶探测器设置于滤纸的正上方；惰性气体腔室与采样测量装置的流通通道通过连接气管连通，惰性气体腔室内设置有用于探测放射性气体的放射性气体探测器；抽气泵与惰性气体腔室连通。本发明利用放射性气溶胶探测器进行放射性气溶胶粒子的α、β射线的测量，利用放射性气体探测器进行放射性气体的β射线的测量，以完成放射性气体和放射性气溶胶的实时监测。
一种放射性气体气溶胶在线监测方法

[发明专利]获得钠燃烧过程裂变产物的迁移数据的方法-CN202210943433.5在审
发明人：王荣东;朴君;姚泽文;阿不都赛米·亚库甫;韩新梅;张显 -专利权人：中国原子能科学研究院
申请日： 2022-08-08 - 公布日： 2022-11-01 - 主分类号： G21C17/06 文献下载
摘要：本发明的实施例提供了一种获得钠燃烧过程裂变产物的迁移数据的方法，其包括如下步骤：获得液态钠；混合所述液态钠以及所述裂变产物；燃烧溶解了所述裂变产物的所述液态钠；收集所述液态钠燃烧产生的气溶胶沉积物；分析所述气溶胶沉积物获得所述裂变产物的迁移数据
获得燃烧过程裂变产物迁移数据方法