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[发明专利]一种氨气浓度均匀性及气流均匀性检测装置-CN202111549636.8在审
发明人：张易非;南征;刘海涛;张秋实;赵庆良;华伦 -专利权人：清华大学苏州汽车研究院（吴江）;清华大学
申请日： 2021-12-17 - 公布日： 2022-02-11 - 主分类号： G01N33/00 文献下载
摘要：本发明涉及汽车尾气处理检测设备技术领域，公开了一种氨气浓度均匀性及气流均匀性检测装置。氨气浓度均匀性及气流均匀性检测装置包括筒体、底座组件、氨气浓度采集管及两个抱箍，其中筒体的两端分别用于与载体和尿素喷淋装置端部抵接，底座组件与筒体的侧壁连接，氨气浓度采集管，穿设底座组件及筒体的内壁，以部分伸入筒体内本发明的氨气浓度均匀性及气流均匀性检测装置，能灵活检测沿周向各个位置处的氨气浓度且操作效率高。
一种氨气浓度均匀气流检测装置

[实用新型]一种氨气浓度均匀性及气流均匀性检测装置-CN202123182324.6有效
发明人：张易非;南征;刘海涛;张秋实;赵庆良;华伦 -专利权人：清华大学苏州汽车研究院（吴江）;清华大学
申请日： 2021-12-17 - 公布日： 2022-06-10 - 主分类号： G01N33/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及汽车尾气处理检测设备技术领域，公开了一种氨气浓度均匀性及气流均匀性检测装置。氨气浓度均匀性及气流均匀性检测装置包括筒体、底座组件、氨气浓度采集管及两个抱箍，其中筒体的两端分别用于与载体和尿素喷淋装置端部抵接，底座组件与筒体的侧壁连接，氨气浓度采集管，穿设底座组件及筒体的内壁，以部分伸入筒体内本实用新型的氨气浓度均匀性及气流均匀性检测装置，能灵活检测沿周向各个位置处的氨气浓度且操作效率高。
一种氨气浓度均匀气流检测装置

[发明专利]改善气流均匀性的进气喷嘴-CN200510130650.9无效
发明人：张宝峰 -专利权人：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
申请日： 2005-12-16 - 公布日： 2006-10-11 - 主分类号： B05B1/14 文献下载
摘要：本发明涉及一种改善气流均匀性的进气喷嘴，所述喷嘴具有中心进气孔和在中心进气孔的周围布置又均匀分布的4－10个有一定发散角度的进气孔。该进气喷嘴的优点和积极效果在于：本发明所述的进气喷嘴改善了工艺气体在晶片上方从中心到边缘的分布均匀性，从而使得在晶片表面上中心与边缘的刻蚀速率更加均匀。即使随着晶片尺寸的增大，该技术方案也能很好的控制从晶片中央到边缘的刻蚀速率和均匀性。
改善气流均匀喷嘴

[发明专利]均匀气流装置-CN201410235427.X在审
发明人：杨宏超;金一诺;张怀东;王坚;王晖 -专利权人：盛美半导体设备(上海)有限公司
申请日： 2014-05-30 - 公布日： 2015-12-16 - 主分类号： B01F5/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种均匀气流装置，可以提供分散均匀的刻蚀气体。其技术方案为：均匀气流装置包括位于顶部的中心孔、位于中心孔之下的第一筛孔板、以及位于第一筛孔板之下的第二筛孔板，第一筛孔板中的孔径大于第二筛孔板中的孔径。
均匀气流装置

[发明专利]均匀气流装置-CN201410366171.6有效
发明人：杨宏超;V·纳其;金一诺;张怀东;王坚;王晖 -专利权人：盛美半导体设备(上海)有限公司
申请日： 2014-07-29 - 公布日： 2019-12-20 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明揭示了一种均匀气流装置，包括：导气管，导气管中空形成气体腔，在导气管的侧壁和底端开有出气孔，出气孔与气体腔连通，气体腔连接到气体输送管道，导气管沿高度方向具有数个安装槽，每两个安装槽之间为一段，每一段中具有不同数量的出气孔数个引导片，分别安装在导气管的外壁上的安装槽中，数个引导片具有不同的面积，引导片引导从导气管的不同的段中输出的气流，沿不同的引导片流至引导片的边缘之后向下，由不同的段中输出的气流在该均匀气流装置的下方形成各自的气流区域，气流区域的正投影面积与对应段中出气孔的数量相关。
均匀气流装置

[发明专利]提高气流分布均匀性的气体喷嘴-CN200510126306.2无效
发明人：陈鹏 -专利权人：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
申请日： 2005-12-05 - 公布日： 2006-10-25 - 主分类号： B05B1/14 文献下载
摘要：本发明的提高气流分布均匀性的气体喷嘴包括圆柱本体，在圆柱本体内设有气体主流道，其中气体主流道呈锥筒形状，其末端部形成中心喷气孔。本发明的提高气流分布均匀性的气体喷嘴的优点和积极效果在于：本发明中，由于气体主流道为锥筒形状，所以流经该气体主流道的气体非常容易由与之相通的圆柱体壁上的各个喷气孔中喷出，有利于提高反应室中气体的均匀性，
提高气流分布均匀气体喷嘴

[实用新型]提高气流均匀性的窗格装置-CN201220001638.3有效
发明人：罗恩·穆勒;徐俊成 -专利权人：北京七星华创电子股份有限公司
申请日： 2012-01-04 - 公布日： 2012-09-05 - 主分类号： E06B7/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及半导体制造领域，公开了一种提高半导体洁净室气流均匀性的窗格装置，包括：叠装一起的第一层过滤网和第二层过滤网，及用于固定所述第一层过滤网和第二层过滤网的边缘的框架；所述第一层过滤网的网孔和第二层过滤网的网孔呈交叉排列该窗格装置采用网孔呈交叉排列的双层过滤网结构，该窗格结构空气背压低，气流填充效果好，大大地提高了微小颗粒的过滤效果，提高了半导体洁净室内气体流动的均匀性，进而改善了气流中所携带微小颗粒在硅片表面沉积的情况
提高气流均匀装置

[实用新型]一种气流均匀性好的沉降室-CN201921415060.4有效
发明人：黄秋芳;黄锦明;曹敏杰 -专利权人：无锡益明玻璃纤维有限公司
申请日： 2019-08-28 - 公布日： 2020-06-23 - 主分类号： D04H1/732 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种气流均匀性好的沉降室，属于沉降室领域，其技术方案要点是包括机架，所述机架中安装有沉降室本体，沉降室本体的顶部设置有罩壳，沉降室本体的下方安装有与沉降室本体连通的负压室，所述负压室的两侧均设置有第一出风管外壳上设置有第二出风管，第二出风管连接有回风管，回风管的端部连接有出风罩，出风罩位于罩壳的内腔顶面上，第一出风管、抽气机和回风管形成循环风路，出风罩中设置有导风件若干，本实用形型的优点在于风在沉降室中分布更加均匀，使玻璃纤维分布更加均匀。
一种气流均匀沉降

[发明专利]基于提高干燥热气流均匀性的系统-CN201610744815.X在审
发明人：赵丹;黄维;魏新 -专利权人：成都欧林生物科技股份有限公司
申请日： 2016-08-29 - 公布日： 2017-02-01 - 主分类号： F26B21/00 文献下载
摘要：本发明公开了基于提高干燥热气流均匀性的系统，包括壳体，壳体上设置有进风口、出风口，壳体内部下方设置有输送机构，壳体内部在进风口上方设置有加热装置，壳体内部设置有聚风筒，聚风筒的侧壁设置有与加热装置配合的入风口本发明解决了现有干燥系统的干燥效果与干燥热气流分散的分散均匀性无法兼顾问题。
基于提高燥热气流均匀系统

[发明专利]用于改进底部净化气流均匀性的挡板实现-CN202080041335.1在审
发明人： N·帕塔克;K·沙阿;A·K·班塞尔;T·A·恩古耶;J·C·罗查;D·伯拉尼克 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2020-06-02 - 公布日： 2022-01-07 - 主分类号： C23C16/54 文献下载
摘要：本公开内容总体上涉及用于改进处理气体的压力分布的方位角均匀性的设备。在一个示例中，处理腔室包括盖、侧壁、和基板支撑件以界定处理体积。底部碗、腔室基底、和壁界定净化体积。
用于改进底部净化气流均匀挡板实现

[发明专利]一种扩散炉的气流均匀性检测装置-CN201310174386.3有效
发明人：刘良玉;龙辉;范迎新;禹庆荣;吴得轶 -专利权人：中国电子科技集团公司第四十八研究所
申请日： 2013-05-13 - 公布日： 2013-08-21 - 主分类号： G01N33/00 文献下载
摘要：本发明涉及太阳能电池片工艺中使用的扩散炉的气流均匀性检测装置，扩散炉的炉体内装有硅片，炉体长度方向的两端分别为炉口和炉尾，该气流均匀性检测装置包括风速测量仪和置于炉体后方并沿炉体长度方向做直线运动的直线运动机构本发明所述气流均匀性检测装置能精确测量炉体内的气流均匀性，整个检测装置结构简单，操作方便。
一种扩散气流均匀检测装置

[发明专利]改善腔体气流均匀性的薄膜沉积装置及方法-CN202110269674.1有效
发明人：刘镇颉;柳雪 -专利权人：拓荆科技股份有限公司
申请日： 2021-03-12 - 公布日： 2022-11-15 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本发明是关于一种改善腔体气流均匀性的薄膜沉积装置及方法，该薄膜沉积装置包括腔体包括第一室和第二室，设置于第一室和第二室上方的进气口，设置于腔体下部中心处的泵抽气口，泵抽气口连通第一室和第二室，并与泵连接该薄膜沉积装置使泵排气流速可控，使腔体内压力和气流均匀，优化薄膜的均匀性，提高泵排气流速减少残留物。
改善气流均匀薄膜沉积装置方法

[实用新型]烟道均匀气流机械装置-CN201820440951.4有效
发明人：王海洋 -专利权人：昆山莫帝斯科燃烧技术仪器有限公司
申请日： 2018-03-29 - 公布日： 2018-11-20 - 主分类号： F15D1/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种烟道均匀气流机械装置，其特征是，所述装置包括气流进口、气流出口以及混流板，所述气流进口的面积大于气流出口的面积，所述混流板主要包括进气分散板、混合板以及出气汇集板，所述进气分散板由两块相同的弧形板组成，两块弧形板一端相互固定并设在气流进口的中部，其中一块弧形板弧面向左，另一块弧形板弧面向右；所述出气汇集板也为两块弧形板，这两块弧形板对称设在气流出口的两侧，且弧面均向下设置；所述混合板包括若干对称的设在进气分散板和出气汇集板之间的直板优点：能够不影响气流速率的情况下混合进入烟道的烟气，从而保证测试的准确性，而且在原有烟道的基础上添加混流板，并改进进口和出口结构简单，成本低。
弧形板烟道气流出口气流进口出气汇集板混流板机械装置均匀气流混合板对称本实用新型进口和出口向下设置影响气流弧面烟气直板测试改进保证

[实用新型]均匀气流染色机-CN201621068534.9有效
发明人：宋东海;陈丹;张江平;何国炎 -专利权人：浙江华越印染有限公司
申请日： 2016-09-21 - 公布日： 2017-05-17 - 主分类号： D06B1/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种均匀气流染色机，包括染色室、气流雾化装置和若干气流喷嘴，若干气流喷嘴分为若干组，所述染色室内沿其长度方向布设有若干滑轨，所述滑轨的长度方向沿染色室的宽度方向布置，所述滑轨滑动连接有滑块，每个滑块与一组气流喷嘴连接，每组气流喷嘴的长度均小于染色室的宽度，所述染色室内设有驱动滑块在滑轨内滑动的驱动装置，本实用新型通过若干组气流喷嘴的滑动实现均匀染色。
均匀气流染色

[实用新型]台车面导流支墩-CN202222948118.X有效
发明人：张国新;单广;靳宏雷;邱伟平 -专利权人：浙江华顺炉业有限公司
申请日： 2022-11-07 - 公布日： 2023-03-21 - 主分类号： C21D9/00 文献下载
摘要：本实用新型提供了台车面导流支墩，包括：车架；若干组以向心摆放方式设在所述车架顶部的导向组件；以及设在每组所述导向组件中心处的中心通道；所述导向组件中均布有供气流流动的气流通道；通过在车架上设置向心分布的导向组件，在工件的底部留出供气流均匀向外流动的气流通道，提高了气流的流动性和均匀性，从而提高了炉温均匀性，通过将第一导向柱和第二导向柱设置为直边和弧面相结合的结构，弧面将气流引向气流通道内，确保气流向外均匀扩散流动，通过设置隔离带对相邻的两组扩散气流进行分割，以减少两组扩散气流接触后产生的碰撞和干涉，进一步提高气流的流动均匀性。
台车导流

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