专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]均匀气流装置-CN201410366171.6有效
  • 杨宏超;V·纳其;金一诺;张怀东;王坚;王晖 - 盛美半导体设备(上海)有限公司
  • 2014-07-29 - 2019-12-20 - H01L21/67
  • 本发明揭示了一种均匀气流装置,包括:导气管,导气管中空形成气体腔,在导气管的侧壁和底端开有出气孔,出气孔与气体腔连通,气体腔连接到气体输送管道,导气管沿高度方向具有数个安装槽,每两个安装槽之间为一段,每一段中具有不同数量的出气孔数个引导片,分别安装在导气管的外壁上的安装槽中,数个引导片具有不同的面积,引导片引导从导气管的不同的段中输出的气流,沿不同的引导片流至引导片的边缘之后向下,由不同的段中输出的气流在该均匀气流装置的下方形成各自的气流区域,气流区域的正投影面积与对应段中出气孔的数量相关。
  • 均匀气流装置
  • [实用新型]均匀气流染色机-CN201621068534.9有效
  • 宋东海;陈丹;张江平;何国炎 - 浙江华越印染有限公司
  • 2016-09-21 - 2017-05-17 - D06B1/02
  • 本实用新型公开了一种均匀气流染色机,包括染色室、气流雾化装置和若干气流喷嘴,若干气流喷嘴分为若干组,所述染色室内沿其长度方向布设有若干滑轨,所述滑轨的长度方向沿染色室的宽度方向布置,所述滑轨滑动连接有滑块,每个滑块与一组气流喷嘴连接,每组气流喷嘴的长度均小于染色室的宽度,所述染色室内设有驱动滑块在滑轨内滑动的驱动装置,本实用新型通过若干组气流喷嘴的滑动实现均匀染色。
  • 均匀气流染色
  • [发明专利]气流分布均匀的刻蚀装置-CN200510130652.8有效
  • 孙亚林 - 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
  • 2005-12-16 - 2006-10-11 - H01L21/00
  • 本发明气流分布均匀的刻蚀装置包括反应室和下电极支撑装置,其中下电极支撑装置由偶数个对称布置的连接套管组成。本发明的积极效果是:由于连接套管是对称布置的,所以气流受到的阻碍也是对称的,于是在晶片上方的气流也具有良好的对称性;另外由于连接套管安装在静电卡盘的下端部位置,气流受阻碍的位置在静电卡盘侧壁与反应室侧壁形成的环形区域内,而在静电卡盘上表面边缘位置处几乎不受到阻碍气流的影响,所以在晶片上方的气流也几乎不会受到影响,这就使得在晶片上方的气流分布非常均匀,这样对等离子体形成均匀场有很好的促成作用,使化学反应速度、刻蚀速率具有较好的均匀
  • 气流分布均匀刻蚀装置
  • [实用新型]一种鞘层气流均匀气流道结构-CN201420450286.9有效
  • 郑高峰;姜佳昕;余兆杰;孙玲玲;赵扬 - 厦门大学
  • 2014-08-11 - 2014-12-03 - D01D5/00
  • 一种鞘层气流均匀气流道结构,涉及静电纺丝的供气装置。设有辅助气体进出气口、分流管道、缓冲气室、辅助气流通道、气流缓冲腔、鞘气气孔阵列、纺丝针头与喷嘴;辅助气体进气口与分流管道连接,各分流管道均布在辅助气体进气口四周,每个分流管道与各一级缓冲气室对接;各一级缓冲气室上分别均匀地设有复数个一级辅助气流通道并连接至二级缓冲气室;二级缓冲气室上分别均匀设有复数个二级辅助气流通道并连接至气流缓冲腔;复数个鞘气气孔阵列均布在气流缓冲腔下方,鞘气气孔阵列连接到辅助气体出气口;气流缓冲腔内设有纺丝针头,纺丝针头的数量与鞘气气孔阵列中气孔的数量一一对应
  • 一种气流均匀结构
  • [实用新型]气流均匀加剂装置-CN201320448836.9有效
  • 鲍金胜 - 浙江鑫盛永磁科技有限公司
  • 2013-07-24 - 2014-01-08 - B02C23/00
  • 本实用新型涉及气流磨加剂装置,公开了一种气流均匀加剂装置,包括气流磨(1),所述的气流磨(1)下端设置出料管(11),出料管(11)上设有料剂喷头(5)。本实用新型通过在气流磨下端的出料管上设置料剂喷头,使料罐在收集料粉的同时,通过料剂喷头加入料剂,避免了粉料氧化以及粉料与剂混合不匀的缺点,大大缩短加剂后混料的时间,提高了生产效率。
  • 气流磨均匀装置
  • [实用新型]气流均匀的箱式烤版机-CN202121220353.4有效
  • 曹玉峰 - 定州市新华印刷有限公司
  • 2021-06-02 - 2021-11-19 - G03F7/40
  • 本实用新型公开了一种气流均匀的箱式烤版机,包括带有箱门的主体,主体内壁的顶部通过轴承铰接有旋转盘;旋转盘的边缘啮合有传动齿轮,传动齿轮固定连接电机;旋转盘上固定连接置线杆,置线杆的另一端固定连接烘烤灯;本实用新型中热气流均匀、版材受热均匀,能对主体内进行及时的散热,提高了版材的质量,也提高了工作的效率。
  • 气流均匀箱式烤版机

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