|
|
钻瓜专利网为您找到相关结果 119675个，建议您 升级VIP下载更多相关专利
- [发明专利]静电卡盘和工艺腔室-CN201810579971.4有效
-
郭士选;李一成
-
北京北方华创微电子装备有限公司
-
2018-06-07
-
2022-06-14
-
H01L21/683
- 接口盘和支撑组件；基座包括相对设置的第一表面和第二表面，第一表面用于承载晶圆，第二表面连接接口盘；支撑组件包括相连接的顶针结构和驱动结构，顶针结构可移动地穿设在基座中，至少部分驱动结构固定在接口盘中；接口盘通过电荷释放组件选择性地与接地端电连接，当顶针结构升起并与晶圆接触时，接口盘能够将晶圆和基座上的残余电荷释放到接地端。本发明的静电卡盘，当晶圆经吸附‑释放工艺后，即便晶圆和基座存在残余电荷，当顶针结构与晶圆接触时，仍然可以将该部分残余电荷传递至接地端，可以将晶圆和基座的残余电荷接地消除，避免晶圆发生粘片现象。
- 静电卡盘工艺
- [发明专利]减少面板残余静电的方法与结构-CN200410034876.4无效
-
黄淑云
-
华生科技股份有限公司
-
2004-04-16
-
2005-10-19
-
G02F1/133
- 本发明涉及一种减少面板上残余静电的方法和结构，其中该方法包含以下步骤：在一面板上设置一接地电路；以多个条状配线遮蔽面板上会露光的部分，其中该条状配线为矩形；利用多个导线以尖端放电的方式，将该条状配线的残余电荷导至该接地电路；以及利用该接地电路将该条状配线的残余静电导出该面板。本发明的减少面板上残余静电的结构包含：一接地电路；多个矩形的条状配线；以及多个导线，该金属导线以尖端放电的方式将该条状配线的残余电荷导至该接地电路进而导出一面板。根据本发明的减少面板上残余静电的方法和结构，能够将面板上的残余电荷予以排除，防止静电发生，确保整个面板的正常操作。
- 减少面板残余静电方法结构
|
