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- [实用新型]晶圆缺陷检测机台-CN201320199474.4有效
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陈勇吉
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精映科技股份有限公司
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2013-04-19
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2013-09-18
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G01N21/89
- 一种晶圆缺陷检测机台包含承载平台、光学检测装置、位移机构与控制单元。光学检测装置设置于承载平台的上方。光学检测装置具有光轴,且包含光源、分光镜、起偏振片、偏振分光棱镜、物镜、检偏振片与图像传感装置。分光镜、偏振分光棱镜、物镜、检偏振片与图像传感装置均位于光轴上。起偏振片设置于光源与分光镜之间。物镜设置于偏振分光棱镜相对分光镜的一侧。检偏振片设置于分光镜相对偏振分光棱镜的一侧。位移机构设置于承载平台下,且连接承载平台。控制单元连接光学检测装置与位移机构。
- 缺陷检测机台
- [发明专利]一种单动力源驱动多棱镜的转镜系统-CN201910318957.3有效
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李安虎;邓兆军
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同济大学
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2019-04-19
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2020-08-18
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G02B7/18
- 本发明涉及一种单动力源驱动多棱镜的转镜系统,包括旋转棱镜装置、步进电机、联轴器、轴承座、底板和花键轴;旋转棱镜装置包括棱镜总成和驱动总成;步进电机控制一个或者多个旋转棱镜装置中的棱镜旋转,步进电机通过花键轴带动移动半带轮和固定半带轮旋转,移动半带轮和固定半带轮通过皮带带动从动带轮旋转,进而带动镜桶以及镜桶内的棱镜旋转;采用电缸驱动移动半带轮,调节移动半带轮与固定半带轮间距,进而挤压皮带,使皮带位于移动半带轮和固定半带轮不同的旋转半径处,实现镜体旋转的无极调速,并且通过位移传感器实时反馈位移量。与现有技术相比,本发明具有可同步精确控制多棱镜旋转、降低装置振动以及降低制造成本等优点。
- 一种动力驱动多棱镜系统
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