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[发明专利]一种测量数据校准方法、装置及电子设备-CN202310721938.1在审
发明人：张延;夏浩;沈国斌 -专利权人：上海蜂鸟即配信息科技有限公司
申请日： 2023-06-16 - 公布日： 2023-09-12 - 主分类号： G01L27/00 文献下载
摘要：本发明公开一种测量数据校准方法、装置、存储介质及电子设备。该方法包括：分别获得第一设备和第二设备在目标位置测量目标参数所得到的测量数据；获得测量数据校准函数；根据第一测量数据、第二测量数据以及测量数据校准函数，获得第一设备、第二设备的测量数据校准参数值；根据已校准设备的测量数据校准参数值对已校准设备后续测量目标参数所得到的测量数据进行校准；或者，根据已校准设备的测量数据校准参数值以及测量数据校准函数，获得未校准设备的测量数据校准参数值。通过上述过程实现已校准设备测量数据的校准处理，或者，未校准设备的测量数据校准参数值的校准处理，处理过程误差传播小、数据精准度高、可信度好。
一种测量数据校准方法装置电子设备

[发明专利]一种测量装置的校准方法-CN201910881135.6有效
发明人：缪亮 -专利权人：苏州华兴源创科技股份有限公司
申请日： 2019-09-18 - 公布日： 2022-06-17 - 主分类号： G01R35/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种测量装置的校准方法。所述测量装置的校准方法包括：将待校准测量装置调节为预设状态，依次将待校准测量装置的输出值调节至n个不同的输出值，每调节至一个输出值后，采用数字万用表测量获得待校准测量装置的一个实际输出值，同时采用待校准测量装置的测量端测量获得待校准测量装置的一个实际测量值；根据n个输出值以及n个实际输出值，获取待校准测量装置的输出校准参数；根据n个实际输出值和n个实际测量值，获取待校准测量装置的测量校准参数；根据输出校准参数和测量校准参数，对待校准测量装置的预设状态进行校准本发明实施例提供的技术方案，实现了对测量装置进行高效、高精度、低成本的校准。
一种测量装置校准方法

[发明专利]校准测量装置、校准测量方法及电子设备-CN202310223026.1在审
发明人：陈凯 -专利权人：芯海科技（深圳）股份有限公司
申请日： 2023-02-28 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： G01G23/01 文献下载
摘要：本申请涉及芯片及电子设备技术领域，具体涉及一种校准测量装置、校准测量方法及电子设备。本申请实施例提供的校准测量装置、校准测量方法及电子设备，开启后即可进入该校准处理流程，检测到用户执行了校准测量操作后，再对电子设备是否符合校准测量条件进行检测，当检测到电子设备符合校准测量条件时，根据第二处理信号获取校准测量数据，由于配置了校准处理流程，按照用户无需强制等待一个预设时长，有利于提高校准测量的速度；同时，由于在校准处理流程中用户执行了校准测量操作，能够避免校准测量数据是电子设备处于悬空或倾斜等非平放状态时采集的，能够有效降低校准测量的误差。
校准测量装置测量方法电子设备

[实用新型]校准片-CN202120612767.5有效
发明人：张朝前;马砚忠;李少雷;谢煜华;白园园;陈鲁;张嵩 -专利权人：深圳中科飞测科技股份有限公司
申请日： 2021-03-25 - 公布日： 2021-12-28 - 主分类号： G01R35/00 文献下载
摘要：本申请公开了一种校准片。校准片包括本体，在本体上设置有至少两个校准区域，至少两个校准区域用于校准光学测量系统的对焦位置、校准光学测量系统的反射率检测精度、校准光学测量系统检测的光斑、校准光学测量系统的关键尺寸、校准光学测量系统的台阶检测精度、校准光学测量系统的膜厚检测精度、及校准光学测量系统的偏差检测精度中的至少两个。本申请实施方式的校准片由于本体设置了至少两个校准区域，以使校准片能够校准光学测量系统的对焦位置、反射率检测精度、检测的光斑、关键尺寸、台阶检测精度、膜厚检测精度及偏差检测精度中的至少两个，从而减少了在对光学测量系统进行校准工作时，需要校准片的数量，以降低校准光学测量系统的成本。
校准

[发明专利]一种光学关键尺寸OCD测量设备的校准方法-CN202011507757.1有效
发明人：马力超;孟胜伟;周毅;范石根;李大鹏;鲍琨;王光毅 -专利权人：长江存储科技有限责任公司
申请日： 2020-12-18 - 公布日： 2022-12-06 - 主分类号： G01B11/00 文献下载
摘要：本申请实施例公开了一种光学关键尺寸OCD测量设备的校准方法，所述方法包括：提供待测样品，所述待测样品具有暴露的待测量层；通过OCD测量设备对所述待测样品的待测量层进行测量，得到OCD测量数据；从校准数据库中确定与所述待测样品的待测量层对应的校准样品的待测量层、并根据所确定的校准样品的待测量层获取对应的校准数据；其中，所述校准数据库包括对应校准样品不同待测量层的校准数据；根据所述校准数据和所述OCD测量数据，对所述OCD测量设备进行校准。
一种光学关键尺寸 ocd 测量设备校准方法

[发明专利]一种带钢在线测宽与校准多工位装置及方法-CN202211494592.8在审
发明人：汪素娟;丁健;江淼;汪洋;何可;程志;王晶 -专利权人：武汉钢铁有限公司
申请日： 2022-11-25 - 公布日： 2023-03-07 - 主分类号： B21B38/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种带钢在线测宽与校准多工位装置及方法，包括转动装置、第一激光测量校准板、第二激光测量校准板及第三激光测量校准板；转动装置包括底座、分别安装在底座两支撑杆上的固定板、可转动地安装在两个固定板之间的横梁及驱动横梁转动的电机；第一激光测量校准板、第二激光测量校准板及第三激光测量校准板沿圆周方向均固定在横梁上，且第一激光测量校准板与第二激光测量校准板、第二激光测量校准板与第三激光测量校准板均呈垂直布置，第一激光测量校准板与第三激光测量校准板呈解决了现有技术中带钢宽度离线测量及单一校准板的技术缺陷，实现了不同宽度要求带钢的激光测宽精确校准，及宽度的在线测量。
一种带钢在线校准多工位装置方法

[发明专利]一种长距离平面或导轨的测量方法-CN201310461500.0有效
发明人：徐仲维;江清波;吕敬高;徐天艺;文比强 -专利权人：湘潭电机股份有限公司
申请日： 2013-09-30 - 公布日： 2013-12-18 - 主分类号： G01B11/27 文献下载
摘要：本发明公开了一种长距离平面或导轨的测量方法，首先将两台双轴光电自准直仪制成测量校准仪和校准仪，将基点反射镜和测量校准仪置于待测量的平台上，选取水平和纵向定位基准轴线，调整基点反射镜或测量校准仪使测量校准仪的界面上十字光标X、Y轴校零；在待测量平台首端和测量校准仪之间移动检测反射镜，对工件进行测量；在待测量平台手段与测量校准仪之间安装校准仪，调整校准仪使测量校准仪界面上的十字光标X、Y轴校零，然后后移测量校准仪并调整测量校准仪使其界面上十字光标X、Y轴校零，移出校准仪，并在该区域内移动检测反射镜，对工件进行施工测量。本发明的量程可达几百米以上，且可以确保测量精度，测量精度为≤10微米。
一种长距离平面导轨测量方法

[发明专利]校准分析测量设备的方法和校准分析测量设备的测量点-CN202010721166.8有效
发明人：托尔斯滕·佩希施泰因;迈克尔·汉克;达格玛拉·卡舒巴;埃里克·亨宁斯;托马斯·普福希;斯特凡·尤格特;延斯·费特曼 -专利权人：恩德莱斯和豪瑟尔分析仪表两合公司
申请日： 2020-07-24 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： G01N27/30 文献下载
摘要：本发明涉及校准分析测量设备的方法和校准分析测量设备的测量点。方法包括：关闭出口阀使得过程介质无法通过出口阀排放到排放口；关闭入口阀使得额外的过程介质无法从第一入口进给到测量点中并且预定量的过程介质位于测量点中；将预定量的校准介质从第二入口通过入口阀进给到测量点中；通过泵来循环校准介质使得产生流动回路并且校准介质流向分析测量设备。通过泵来设定校准介质的预定流速；通过分析测量设备来检测第一测量值用于校准；至少一次重复：将预定量的校准介质进给到测量点中、通过泵循环校准介质、检测另一测量值以校准分析测量设备；评估第一测量值和后续测量值，并基于第一测量值和后续测量值的评估来执行对分析测量设备的校准。
校准分析测量设备方法

[发明专利]一种同轴度校准方法及装置-CN202111104879.0有效
发明人：张孝平;乔中涛;丁德甲;尚允坤 -专利权人：深圳市大成精密设备股份有限公司
申请日： 2021-09-22 - 公布日： 2022-06-28 - 主分类号： G01B11/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种同轴度校准方法及装置，同轴度校准方法包括X轴方向的校准和Y轴方向的校准。本同轴度校准方法分别进行X轴方向的校准和Y轴方向的校准，X轴方向的校准过程中分别对沿着Y轴倾斜±α度的校准片进行测量，再通过两个测量值沿着X轴调整上测量头和下测量头的位置；Y轴方向的校准过程中分别对沿着X轴倾斜±β度的校准片进行测量，再通过两个测量值沿着Y轴调整上测量头和下测量头的位置，经过X轴方向和Y轴方向的校准后上下检测头将沿着Z轴对齐，实现同轴度的校准，本校准方法简单有效，能够高效准确的实现校准
一种同轴校准方法装置

[发明专利]校准方法、校准设备和测量设备-CN201310050706.4有效
发明人：伊沃特·布兰德斯玛;马丁·克里斯蒂安·佩宁;艾利·阿莫尔·边赫迪;蒂莫·范雷蒙德 -专利权人： NXP股份有限公司
申请日： 2013-02-08 - 公布日： 2013-08-21 - 主分类号： G01D18/00 文献下载
摘要：根据本发明的一个方面，构想了一种用于校准测量设备的方法，其中：使校准设备接近所述测量设备，使得在所述测量设备与所述校准设备之间建立数据通信链路；其中在所述校准设备与所述测量设备彼此接近的同时执行下述步骤：所述校准设备执行至少一种物理现象的测量；所述测量设备执行相同物理现象的测量；将所述测量设备的测量结果与所述校准设备的测量结果进行比较；以及基于所述测量设备的测量结果与所述校准设备的测量结果之间的差异计算校准参数
校准方法设备测量

[发明专利]电压测量设备的校准系统-CN201810697348.9有效
发明人： R.斯托伊尔 -专利权人：弗兰克公司
申请日： 2018-06-29 - 公布日： 2022-06-24 - 主分类号： G01R35/00 文献下载
摘要：本发明题为“电压测量设备的校准系统”。本文提供了用于校准电压测量设备的系统和方法。所述电压测量设备生成参考电流信号并感测被测导体中的所述参考电流信号。校准系统可控制校准电压源以在校准导体中选择性地输出校准电压。所述校准系统可从所述电压测量设备获得由所述电压测量设备在测量所述校准导体时捕获的数据。此类数据可包括一个或多个参考电流测量结果、一个或多个电压测量结果等。所述校准系统利用所获得的测量结果生成校准数据，所述校准数据可存储在所述电压测量设备上以便在后续操作中使用。所述校准数据可包括一个或多个查找表、用于一个或多个数学公式的系数等。
电压测量设备校准系统

[发明专利]用于电力系统的测量数据校准方法和装置-CN201910144004.X有效
发明人：王飞;曹祯;赵吉生;秦雷鸣 -专利权人：西门子电力自动化有限公司
申请日： 2019-02-26 - 公布日： 2021-12-28 - 主分类号： G01R35/00 文献下载
摘要：本发明提供了用于电力系统的测量数据校准方法和装置，该用于电力系统的测量数据校准方法包括：获取测量设备测量出的原始测量数据；采集所述测量设备所处环境的环境温度；根据预先设定的校准参数生成模型和所述环境温度，获得与所述环境温度相对应的目标校准参数，其中，所述校准参数生成模型根据所述测量设备的校准参数与温度的对应关系而创建；根据所述目标校准参数对所述原始测量数据进行校准，获得校准测量数据。本方案能够降低在温度波动较大环境中进行数据测量的成本。
用于电力系统测量数据校准方法装置

[发明专利]三维点云模型校准方法、装置、存储介质和计算机设备-CN201710445125.9有效
发明人：邱纯鑫;刘乐天 -专利权人：深圳市速腾聚创科技有限公司
申请日： 2017-06-12 - 公布日： 2020-01-21 - 主分类号： G01S7/497 文献下载
摘要：本发明涉及一种三维点云模型校准方法、装置、存储介质和计算机设备，通过获取从测量光线发射点向周围发射测量光线测得的测量点所形成的三维点云模型，获取三维点云模型中测量点的坐标和测量光线发射点的坐标，根据静态校准量确定测量点校准后的坐标，将测量点校准后的坐标构成校准后的三维点云模型。通过发射测量光线测得的测量点，将测量点分布在三维坐标系中，可以以点云的形式形成三维模型。而且通过静态校准量来校准测量点的坐标，可以简化校准过程，减少校准的计算量，从而快速地校准测量点的坐标，进而快速地校准测量点形成的三维点云模型。
三维模型校准方法装置存储介质计算机设备

[发明专利]用于校准测量装置的校准量规以及校准测量装置的方法-CN02151590.5有效
发明人： P·乔尔迪尔;A·扎尼尔;C·－H·祖菲里 -专利权人：布朗和沙普·特萨有限公司
申请日： 2002-12-11 - 公布日： 2003-06-18 - 主分类号： G05B19/401 文献下载
摘要：用于校准测量装置的校准量规，它的校准尺度可通过它的内尺寸进行测量，也可通过外尺寸进行测量，因此可使该校准尺度小于15毫米，甚至用于校准安装了探针头大于该尺寸的测量装置。依赖这样一校准量规的该校准方法在某种特定情况下包括测量一凸出量的两个外表面之间的该校准测量。
用于校准测量装置量规以及方法

[发明专利]阻抗测量仪器校准方法及装置-CN201610950039.9在审
发明人：韩雪竹;韩卫合 -专利权人：北大方正集团有限公司;珠海方正科技高密电子有限公司
申请日： 2016-10-26 - 公布日： 2018-05-04 - 主分类号： G01R35/00 文献下载
摘要：本发明实施例提供一种阻抗测量仪器校准方法及装置。该方法包括获取阻抗测量仪器测量标准阻抗条的阻抗得到的阻抗测量值；根据所述阻抗测量值与所述标准阻抗条的阻抗的标准值，判断所述阻抗测量仪器是否需要校准；若需要校准，则对所述阻抗测量仪器进行校准处理。本发明实施例通过测量标准阻抗条的阻抗得到的阻抗测量值，确定所述阻抗测量仪器是否需要校准，若需要校准时，对所述阻抗测量仪器进行校准处理；若所述阻抗测量仪器无需进行校准时，可以直接投入使用，而无需使用标准空气棒进行校准，减少了标准空气棒的使用次数，节省了使用标准空气棒进行校准的时间，从而可以减少标准空气棒的耗损，降低了校准成本。
阻抗测量仪器校准方法装置

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