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[发明专利]具有图形的光罩的制造方法-CN201811608259.9在审
发明人：李传 -专利权人：中芯国际集成电路制造（上海）有限公司;中芯国际集成电路制造（北京）有限公司
申请日： 2018-12-27 - 公布日： 2020-07-07 - 主分类号： G03F1/44 文献下载
摘要：本发明提供具有图形的光罩的制造方法，包括：提供设计图形和标准测试图形；采用测试电子束光刻工艺写入所述标准测试图形，生成测试光罩，获取所述测试光罩中的测试图形与标准测试图形之间的位置偏差量；采用实际电子束光刻工艺写入所述设计图形，生成具有图形的光罩，且在所述实际电子束光刻工艺过程中，基于获取的所述位置偏差量对所述设计图形进行补偿，以抵消所述实际电子束光刻工艺中的反射电子对电子束位置造成的电子束位置偏移量。本发明提高了光罩中的图形位置精确度和形貌精确度，改善了形成的光罩的质量。
具有图形制造方法

[实用新型]一种辐射头的功率测试装置-CN202222321211.8有效
发明人：张浩;朱文学;高源 -专利权人：苏州博创医疗器械有限公司
申请日： 2022-09-01 - 公布日： 2022-11-18 - 主分类号： G01J1/44 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种辐射头的功率测试装置，包括辐射头和设置在辐射头下方的测试平台，所述的测试平台的内部安装有功率探头和安装在功率探头上端面的束光罩，所述的束光罩贯穿测试平台，且束光罩和辐射头的轴线共线；本申请中测试平台、功率探头和束光罩组成测试装置的主要部分，通过束光罩将辐射头发射的光源集中作用在功率探头上，同时在测试平台的一侧设置风扇和在功率探头的下方设置散热翅片，有效防止束光罩产生过高的温度影响功率探头的测试准确性
一种辐射功率测试装置

[实用新型]一种线束生产用UV光固机-CN202221760286.X有效
发明人：王永生;祁晓晨;王清文;张小燕 -专利权人：昆山裕莱祥电子科技有限公司
申请日： 2022-07-08 - 公布日： 2022-11-11 - 主分类号： B05D3/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种线束生产用UV光固机，包括机台、束线固化移动板、光固罩，所述机台的端面一侧架设有有固化防护框，所述机台的端面对称设有条形板，所述条形板的内侧均设有安装条板，通过气缸推动光固罩向下移动，使设置的线束固化放置板活动罩接在光固罩的内部，使其两者之间形成加热相对密闭的空间，以便于线束能够更加充分被固化，从而使加热的气体较长时间的停留在光固罩的内部对线束加热的作用，并且进一步缩短对线束加热固定的时间，提高线束加热固化的效率，进而使线束更加彻底全面的进行加热固化。
一种生产 uv 光固机

[发明专利]光发射设备和用于制造光发射设备的方法-CN201780043910.X在审
发明人： C·奥尔;B·勒泽纳;B·雅特科斯;F·格拉布迈尔 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2017-07-05 - 公布日： 2019-03-15 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本发明涉及一种光发射设备(1)，其具有：衬底(2)；光发射装置(3)，所述光发射装置布置在所述衬底(2)上并且构造用于发射激光射束(S)。在所述衬底(2)上布置有可摆动的光偏转装置(4)。加罩装置(5)布置在所述衬底(2)上并且覆盖所述光发射装置(3)和所述光偏转装置(4)，其中，所述加罩装置(5)具有第一罩区段(5a)和透明的第二罩区段(5b)。所述第一罩区段(5a)构造用于使由所述光发射装置(3)发射的激光射束(S)转向到所述光偏转装置(4)上。所述光偏转装置(4)进一步构造用于使经转向的激光射束(S)偏转，使得经偏转的激光射束(S)能够穿过所述第二罩区段(5b)出射。
光发射装置光偏转装置激光射束衬底光发射偏转罩装置发射可摆动透明的出射穿过覆盖制造

[发明专利]一种X射线源的屏蔽准直结构-CN202010246898.6有效
发明人：李德来;苏树钿;陈怀英;陈凯亮;刘庚辛 -专利权人：汕头市超声仪器研究所有限公司
申请日： 2020-03-31 - 公布日： 2020-11-13 - 主分类号： A61B6/06 文献下载
摘要：本发明采用如下技术方案：一种X射线源的屏蔽准直结构，包括X射线球管、球管屏蔽罩、限束机构、限束屏蔽罩和光野准直板，球管屏蔽罩和限束屏蔽罩首尾连接，限束屏蔽罩下端设置有容X射线射出的开口，X射线球管设置于球管屏蔽罩内，限束机构设置于限束机构内，光野准直板可移动设置于限束屏蔽罩的开口处。本发明的优点在于：通过采用具有限束屏蔽作用的限束机构，配合外部的球管屏蔽罩、限束屏蔽罩和光野准直板对X射线源处进行X射线的屏蔽和防护，使X射线源能向外发出目的性强的X射线，并同时大大降低X射线源的辐射泄露
一种射线屏蔽结构

[发明专利]激光切割机密封装置-CN201210149125.1有效
发明人：徐旦;徐惠忠;郭志斌 -专利权人：无锡洲翔重工科技有限公司
申请日： 2012-05-14 - 公布日： 2012-08-15 - 主分类号： B23K26/36 文献下载
摘要：其主要包括后立板、红光座、全反镜座、出光腔后密封罩、聚光腔后立板、聚光腔内层罩、激光发生器、基座、外层罩、聚光腔前立板、出光腔前密封罩、半反镜座、扩束镜前A罩、扩束镜前B罩、扩束镜、管夹头、扩束镜后A罩、扩束镜后B罩、全反射镜座和前立板。本发明结构简单、紧凑，合理；密封效果好，能够有效防止光泄漏；防烟尘效果好；安装调整方便；能够承受一定的高温。
激光切割机密封装置

[实用新型]激光切割机密封装置-CN201220215526.8有效
发明人：徐旦;徐惠忠;郭志斌 -专利权人：无锡洲翔重工科技有限公司
申请日： 2012-05-14 - 公布日： 2013-01-02 - 主分类号： B23K26/36 文献下载
摘要：其主要包括后立板、红光座、全反镜座、出光腔后密封罩、聚光腔后立板、聚光腔内层罩、激光发生器、基座、外层罩、聚光腔前立板、出光腔前密封罩、半反镜座、扩束镜前A罩、扩束镜前B罩、扩束镜、管夹头、扩束镜后A罩、扩束镜后B罩、全反射镜座和前立板。本实用新型结构简单、紧凑，合理；密封效果好，能够有效防止光泄漏；防烟尘效果好；安装调整方便；能够承受一定的高温。
激光切割机密封装置

[实用新型]一种可调节束光罩及具有该可调节束光罩的灯头装置-CN202123086033.7有效
发明人：张帅磊;周冬亮;舒义阳;张书超 -专利权人：河南翔宇医疗设备股份有限公司
申请日： 2021-12-09 - 公布日： 2022-06-10 - 主分类号： F21V1/08 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种可调节束光罩及具有该可调节束光罩的灯头装置，可调节束光罩包括外灯罩、螺旋转换器和内罩，外灯罩用于连接灯头，螺旋转换器连接外灯罩，且螺旋转换器的端面具有螺旋形轨道，内罩设于外灯罩内，且设于螺旋形轨道中，周向围成至少1圈以限定灯头的辐射范围，且内罩在螺旋形轨道中沿螺旋方向可滑动设置，以调节内罩的内径。当需要更改治疗范围时，通过拉动内罩在螺旋形轨道中滑动至所需位置，更改内罩的内径，从而更改灯头的辐射范围，因此可以不因治疗范围的更改而拆卸替换束光罩，提高了工作效率。
一种调节束光罩具有灯头装置

[实用新型]一种紫外光固化设备用光路系统-CN201922083549.2有效
发明人：舒勇 -专利权人：柯依努（苏州）精密光电有限公司
申请日： 2019-11-28 - 公布日： 2020-09-15 - 主分类号： B05D3/06 文献下载
摘要：一种紫外光固化设备用光路系统，包括紫外光灯以及反光罩，所述紫外光灯固定安装于所述反光罩的焦点处，位于所述反光罩前侧的对紫外光扩束的扩束镜，以及位于所述扩束镜出光一侧的对紫外光束整形的整形组件，所述整形组件上设有供紫外光穿过的整形孔本实用新型中，紫外光灯发出的紫外光经反光罩的聚焦变为平行的紫外光束，经过聚光镜的聚焦，反光镜将聚光镜出光侧的光反射到扩束镜的入光侧，扩束镜对紫外光束进行扩束并照射到整形组件上，紫外光束边缘能量不均匀的紫外光照射到整形孔的周围，紫外光束中心能量均匀的紫外光穿过整形孔照射到被固化物体上，对物体起到均匀固化的作用。
一种紫外光固化设备用光系统

[发明专利]曝光装置-CN201710559593.9有效
发明人：加藤正纪;铃木哲男;镰田刚忠;荒井正范;北纮典 -专利权人：株式会社尼康
申请日： 2013-11-05 - 公布日： 2019-07-09 - 主分类号： G03F7/24 文献下载
摘要：具备：保持反射型的光罩(M)的光罩保持筒(21)；将入射的照明光束(EL1)朝向光罩(M)反射、并且使照明光束(EL1)被光罩(M)反射而得到的投影光束(EL2)透射的分束器(PBS)；使照明光束(EL1)向分束器(PBS)入射的照明光学组件(ILM)；和将透射过了分束器(PBS)的投影光束(EL2)投影曝光至基板(P)的投影光学组件(PLM)，照明光学组件(ILM)及分束器(PBS)设于光罩(M)与投影光学组件另外，分束器(PBS)具备第1棱镜、第2棱镜和偏振膜，偏振膜(93)是将二氧化硅的第1膜体与氧化铪的第2膜体在膜厚方向层叠而成的。
曝光装置

[发明专利]偏振光分束器及使用了该偏振光分束器的基板处理装置-CN201710559592.4有效
发明人：加藤正纪;铃木哲男;镰田刚忠;荒井正范;北纮典 -专利权人：株式会社尼康
申请日： 2013-11-05 - 公布日： 2020-04-28 - 主分类号： G02B5/04 文献下载
摘要：具备：保持反射型的光罩(M)的光罩保持筒(21)；将入射的照明光束(EL1)朝向光罩(M)反射、并且使照明光束(EL1)被光罩(M)反射而得到的投影光束(EL2)透射的分束器(PBS)；使照明光束(EL1)向分束器(PBS)入射的照明光学组件(ILM)；和将透射过了分束器(PBS)的投影光束(EL2)投影曝光至基板(P)的投影光学组件(PLM)，照明光学组件(ILM)及分束器(PBS)设于光罩(M)与投影光学组件另外，分束器(PBS)具备第1棱镜、第2棱镜和偏振膜，偏振膜(93)是将二氧化硅的第1膜体与氧化铪的第2膜体在膜厚方向层叠而成的。
偏振光分束器使用处理装置

[发明专利]偏振光分束器、基板处理装置、器件制造系统及器件制造方法-CN201380067898.8在审
发明人：加藤正纪;铃木哲男;镰田刚忠;荒井正范;北纮典 -专利权人：株式会社尼康
申请日： 2013-11-05 - 公布日： 2015-09-02 - 主分类号： G03F7/24 文献下载
摘要：具备：保持反射型的光罩(M)的光罩保持筒(21)；将入射的照明光束(EL1)朝向光罩(M)反射、并且使照明光束(EL1)被光罩(M)反射而得到的投影光束(EL2)透射的分束器(PBS)；使照明光束(EL1)向分束器(PBS)入射的照明光学组件(ILM)；和将透射过了分束器(PBS)的投影光束(EL2)投影曝光至基板(P)的投影光学组件(PLM)，照明光学组件(ILM)及分束器(PBS)设于光罩(M)与投影光学组件另外，分束器(PBS)具备第1棱镜、第2棱镜和偏振膜，偏振膜(93)是将二氧化硅的第1膜体与氧化铪的第2膜体在膜厚方向层叠而成的。
偏振光分束器处理装置器件制造系统方法

[实用新型]一种蜂巢形的束光罩-CN201922394110.1有效
发明人：刘建桥 -专利权人：深圳市丰上光电科技有限公司
申请日： 2019-12-26 - 公布日： 2020-08-25 - 主分类号： F21V9/08 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种蜂巢形的束光罩，束光罩设于灯体的灯源与透光面板之间，束光罩包括多个相互平行的滤光件，多个滤光件相互贴合且布满灯体的出光口，滤光件不透光且内壁涂满吸光材料。有益效果是：本实用新型设置的束光罩设于灯体的灯源与透光面板之间，灯源的发出散光照射到滤光件的内壁上，吸光材料可吸收灯源的余光，减小灯源光线扩散，使灯源发出的光精准对着需补光的车道，在抓拍经过车辆的车牌时
一种蜂巢束光罩

[实用新型]一种汽车铝合金车轮轮辐附件-CN201320435654.8有效
发明人：邹云峰;李萍;李光宇;管建国;孔祥建 -专利权人：江苏凯特汽车部件有限公司
申请日： 2013-07-22 - 公布日： 2014-01-15 - 主分类号： B60B7/00 文献下载
摘要：一种汽车铝合金车轮轮辐附件，由轮辐螺栓、塑料装饰风叶、车轮装饰盖、透明塑料软管、光导纤维束、总电源控制开关、光导纤维束电源控制开关、电源导线、光频控制器、金属聚光罩、LED发光灯泡、装饰盖电源组成；塑料装饰风叶正面装有透明塑料软管，透明软管内装有光导纤维束，光导纤维束6-8束；车轮装饰盖与塑料装饰风叶连接区域下方有金属聚光罩，金属聚光罩内部装有LED发光灯泡；光导纤维束通过车轮装饰盖上面的圆形孔延伸到金属集光罩内部使LED呈现不同的颜色，LED利用带功率的光频控制器控制发光颜色与频率；在汽车在运行过程中由光频控制器控制可使光导纤维束间断式的发光变色，使汽车铝合金车轮更时尚靓丽。
一种汽车铝合金车轮轮辐附件

[实用新型]高速平稳斩光器机构-CN201220438177.6有效
发明人：张晓丽;强伟峰;刘景会 -专利权人：北京普析通用仪器有限责任公司
申请日： 2012-08-30 - 公布日： 2013-04-17 - 主分类号： G02B26/04 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种高速平稳斩光器机构，属于斩光器机构技术领域。本实用新型所述光调制斩光盘罩固定在光调制斩光盘罩底板上，调节套固定在驱动电机的输出轴上，光调制斩光盘粘接在调节套上，切光盘放置在调节轴上，调节轴放置在驱动电机上，驱动电机放置在电机支架上，光调制斩光盘罩底板放置在电机支架上本实用新型构紧凑、动平稳、噪声小、一个光调制斩光盘起到三个作用全反、全挡、全透。使一束光分成两束光，一束为透射光，另一束为反射光，再加一个将光束全挡（也称为光束不透也不反），透射光和反射光的光强光能量误差小，在驱动电机高速运转下带动光调制斩光盘转动时两束光误差小。
高速平稳斩光器机构

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