专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种光刻胶显影方法-CN202211578573.3在审
  • 王晨星;杨云春;陆原;张栓;赵利芳;王维嘉;范建国;王文正 - 北京海创微芯科技有限公司
  • 2022-12-09 - 2023-05-16 - G03F7/38
  • 本发明提供了一种光刻胶显影方法,涉及半导体制造技术领域,尤其涉及一种光刻胶显影方法。该方法包括,获取待显影晶圆,待显影晶圆为具有光刻胶膜的晶圆;根据光刻胶膜的膜厚,对待显影晶圆进行曝光;根据预设烘烤温度和预设烘烤距离,对待显影晶圆进行烘烤处理,预设烘烤温度随烘烤时间先增大后减小,预设烘烤距离随所述烘烤时间先减小后增大;对待显影晶圆执行显影工艺。该方法能够在曝光后显影过程中,改善待显影晶圆的受热方式,提升对光刻胶膜的烘烤效果,降低光刻胶膜出现缺陷的可能性,有利于避免非曝光区域的流膜率过大,并防止光刻胶膜发生大幅形变,降低图像失真的可能性,为显影图像的分辨率提供可靠保障
  • 一种光刻显影方法
  • [实用新型]一种涂胶显影机上盖清洗装置-CN202121544484.8有效
  • 马亮 - 冈隆自动化系统设备(昆山)有限公司
  • 2021-07-08 - 2021-12-07 - G03F7/30
  • 本实用新型公开了一种涂胶显影机上盖清洗装置,包括工作台,所述工作台两侧位于前表面与后表面之间中部的位置固定有固定台,所述工作台一侧固定台的上表面中心位置固定安装有清洁液注射装置。本实用新型所述的一种涂胶显影机上盖清洗装置,通过显影硅片转动台可以从涂胶显影硅片下表面靠近边缘位置带动涂胶显影硅片,让涂胶显影硅片转动,转动过程更加稳定,避免涂胶显影硅片转动过程中位置发生改变而影响清洗后的下一步骤,且显影硅片转动台与涂胶显影硅片接触面积小,橡胶圈的防滑套可更换,减小清洗后对涂胶显影硅片的污染,通过擦拭夹可以清除涂胶显影硅片表面多余的水渍与灰尘,使得清洁效果更好。
  • 一种涂胶显影机上盖清洗装置
  • [实用新型]一种自动化显影定影系统-CN202220082000.0有效
  • 杨伟;黄玉川 - 成都中科卓尔精密仪器有限公司
  • 2022-01-13 - 2022-06-10 - G03D3/00
  • 本实用新型公开了一种自动化显影定影系统,包括内置若干处置腔体的透明显影箱与对应透明显影箱设置的拍摄镜头,若干处置腔体与透明显影箱的内部之间设置有与若干处置腔体独立的注水腔,透明显影箱的一侧设置有热水循环装置与平移升降装置,热水循环装置通过进水管与回水管与透明显影箱内部的注水腔连接,平移升降装置的移动部上设置有外框夹持装置,外框夹持装置对应透明显影箱内部的若干处置腔体设置;拍摄镜头与透明显影箱之间滑动设置有光照补偿装置;本实用新型能够高效自动化进行相纸进行显影、停影、定影、烘干、拍摄作业,大大提高了相纸显影拍摄的工作效率,同时保证了相纸显影拍摄的效果
  • 一种自动化显影定影系统
  • [实用新型]一种显影-CN202220965294.1有效
  • 向昶情;王勇 - 东莞市昱朋电子科技有限公司
  • 2022-04-22 - 2022-12-06 - G03G15/08
  • 本实用新型公开了一种显影辊,包括轴芯,所述轴芯内部的两端均设置有安装槽,所述轴芯的外部套装有显影弹性层,所述组装块的一侧均安装有导向座,所述导向座的内部均设置有润滑结构,所述导向座的一侧均安装有连接头,本实用新型通过设置有安装槽、显影弹性层和安装块,显影辊使用时通过在轴芯的两端设置有安装槽,显影弹性层内部的两端安装有安装块,显影弹性层通过安装块与轴芯中的安装槽构成卡合结构,可以根据实际需求对显影辊中的显影弹性层进行一个拆装维护,实现了该显影辊便于对显影弹性层进行拆装,从而使得该显影辊的使用效果更好。
  • 一种显影
  • [发明专利]放射治疗定位显影液及定位显影标记敷贴-CN202010192515.1在审
  • 王勇;周倩柔 - 周倩柔
  • 2020-03-18 - 2020-06-16 - A61N5/10
  • 本发明涉及一种放射治疗定位显影液及显影标记敷贴,所述放射治疗定位显影液包括如下重量份数的原料组分:京尼平5~10份,黄原胶0.2~0.8份,胭脂红粉末1~10份,无水乙醇80~100份,山梨糖醇1~8份所述定位显影标记敷贴包括硬十字标绘剥离层、PU薄膜层、硅胶骨架层、粘胶层、显影液吸附层和下剥离层。本发明的放射治疗定位显影液不仅缩短了反应时长,而且大幅提高了着色效果,皮肤标记可保持15~20天。本发明的定位显影标记敷贴结构巧妙,敷贴形成的效果更为持久,而且十字标记线更笔直,不会弯弯曲曲,即使体表凹凸不平也可正常操作,不会影响患者正常活动。
  • 放射治疗定位显影液显影标记敷贴
  • [实用新型]晶片旋转显影装置-CN201720452814.8有效
  • 游佩武;裘立强;王毅 - 扬州杰利半导体有限公司
  • 2017-04-26 - 2017-12-22 - G03G15/10
  • 晶片旋转显影装置。涉及芯片加工领域,具体涉及一种晶片旋转显影装置。提供了一种显影效果好、安全性高的晶片旋转显影装置。包括显影装置本体,所述显影装置本体内设有晶片固定装置,所述晶片固定装置包括驱动块和若干设在驱动块上的晶片固定夹。所述固定夹固定设在驱动块上,所述驱动块由电机一驱动作顺时针和逆时针旋转。本实用新型结构简单,显影效果好,适用范围广。
  • 晶片旋转显影装置
  • [发明专利]显影液热交换系统-CN202111364677.X有效
  • 魏猛;李冬海;张佳男 - 沈阳芯达半导体设备有限公司
  • 2021-11-17 - 2023-07-21 - G03F7/30
  • 本发明公开了显影液热交换系统,包括底座和热循环显影液喷嘴,所述底座的顶部通过支架固定安装有恒温水槽、热浸泡罐和晶圆吸盘,所述热浸泡罐的底部通过安装座安装有显影液第一输入管和显影液第二输入管。通过热浸泡罐的设置,能够通过保温水对显影液进行加热,然后通过保暖套管的设置,能够在循环水热交换块与热循环显影液喷嘴之间对显影液进行保温,通过热交换机构的设置,能够使恒温水槽提供的保暖用水循环进行使用,并且能够对多路显影液进行保温和加热,实现了显影液温度的恒定而且不会使得回水对保温水造成影响,在显影工艺时同时使多路显影液(包括一路)自始至终控制在设定的工艺温度内,使得显影效果大幅度提高。
  • 显影液热交换系统

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