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- [发明专利]一种制备脊形聚合物光波导的方法-CN201310130948.4有效
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时尧成;金里;戴道锌
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浙江大学
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2013-04-16
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2013-07-10
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G02B6/13
- 本发明公开了一种制备脊形聚合物光波导的方法,本发明具体包括如下步骤:步骤1.采用等离子体增强型化学气相沉积在硅衬底上生长6~8μm的二氧化硅作为波导下包层;步骤2.利用旋涂工艺获得聚合物薄膜,调整旋涂转速控制聚合物薄膜的厚度;步骤3.利用光刻工艺对整个聚合物薄膜进行空曝光,通过交联反应固化形成的脊形波导平板层;步骤4.利用旋涂工艺在脊形波导平板层3上表面获得第二层聚合物薄膜,调整旋涂转速控制该层聚合物薄膜的厚度;步骤5.利用光刻工艺,通过光刻掩膜版对第二层聚合物薄膜曝光形成聚合物脊形波导脊结构部分。本发明制作工艺简单,仅用到旋涂、光刻这些常规工艺,不需要干法刻蚀等复杂的工艺即可制备脊形聚合物光波导。
- 一种制备聚合物波导方法
- [发明专利]聚合物纳米森林结构薄膜的制备方法-CN202010482264.0有效
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李银祥;刘举庆;黄维
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南京工业大学
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2020-05-29
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2022-03-11
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C08J5/18
- 本发明提供了一种聚合物纳米森林结构薄膜的制备方法。该聚合物纳米森林结构薄膜的制备方法为:首先将溶解于甲苯溶剂的TMP溶液与聚合物溶液进行一定体积比共混,通过搅拌配置成透明的TMP和聚合物的混合溶液,然后将该混合溶液在基底上旋涂,即在基底上制备一层聚合物纳米森林结构薄膜,通过调节TMP溶液与聚合物溶液的体积比,旋涂速率及旋涂的时间,调控聚合物纳米森林结构薄膜。采用本发明方法制备聚合物纳米森林结构薄膜,可适用于多种聚合物材料,具有原料广泛,普适性强,环境友好,所用设备和制备过程简单,方便快捷的特点。所得聚合物纳米柱薄膜面积较大,取向一致,形貌均匀且可控,是一种性能良好的载体材料。
- 聚合物纳米森林结构薄膜制备方法
- [发明专利]迁移试验中食品接触用聚合物薄膜的制备方法-CN201410537306.0在审
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王利兵;韩伟;于艳军
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王利兵;韩伟;于艳军;赵臣
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2015-04-24
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2015-06-24
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C08J5/18
- 本发明涉及食品接触用聚合物薄膜的制备方法,特别涉及用于食品接触材料迁移模型中迁移试验用薄膜的制备。将聚合物粒料和待检测迁移物按照一定比例加入有机溶剂中,待充分溶解后,形成有粘度的混合溶液。取一定量的混合溶液,用滴管滴在直径为2~5厘米的聚合物复合隔垫上,或将聚合物复合隔垫置于旋涂仪中,将混合溶液加入旋涂仪中后,开启旋涂仪。将表面滴有或喷涂有混合溶液的聚合物复合隔垫置于大气环境下,待混合溶液中的有机溶剂挥发干之后,含有待检测迁移物的聚合物薄膜在聚合物复合隔垫上形成。与聚合物薄膜的吹塑成型、压延成型、流延成型或拉伸成型不同,采用本发明所述的制备方法不仅可以在尺寸较小的基底上完成聚合物薄膜的制备,而且得到的聚合物薄膜厚度和其中待检测迁移物的含量分布均匀,为下一步迁移试验中的平行试验奠定了基础
- 迁移试验食品接触聚合物薄膜制备方法
- [发明专利]有机聚合物阵列波导光栅及其制作方法-CN03127171.5无效
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张大明;崔占臣;赵禹;王菲;马春生;刘式墉
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吉林大学
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2003-09-22
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2004-09-08
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G02B6/124
- 本发明属于有机聚合物阵列波导光栅及其制作方法:以单晶硅片为衬底(1),在硅片上涂覆聚合物下包层材料(2)后进行烘干,然后旋涂聚合物芯层材料(3);烘干后在芯层材料上蒸发或溅射铝膜(4),再在铝膜上涂覆光刻胶(5),用阵列波导光栅掩膜板(7)进行光刻;然后进行氧反应离子刻蚀(9);刻蚀后在聚合物芯层材料上得到阵列波导光栅的图形,再旋涂聚合物上包层材料(12),烘干后得到阵列波导光栅。本发明的器件及其制作方法不仅容易控制聚合物芯层(13)和包层材料((2)、(12))的折射率差,而且容易控制每一层材料的厚度;可灵活选择包层和芯层材料,实现优化设计,器件成本低,成品率高,适合大批量生产
- 有机聚合物阵列波导光栅及其制作方法
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