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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]基板支承装置及基板支承方法-CN201010141873.6有效
发明人：中野征二;松下道明;饭田成昭;榎木田卓;森川胜洋 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2010-03-31 - 公布日： 2010-12-01 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明提供基板支承装置及基板支承方法。该基板支承装置能够防止由于由与基板的接触引起的磨损及由基板带来的药品的化学性侵蚀而无法正常地支承基板。该基板支承装置包括：支承构件，其具有支承基板背面的背面支承部；位置限制部，其设置于该支承构件上，包围被上述背面支承部支承的基板的侧面，用于限制基板的位置；上述背面支承部及上述位置限制部中的至少一个由基材和保护膜构成该基板支承装置例如还包括支承上述支承构件的基体和用于使支承构件相对于上述基体移动的驱动机构，构成为基板输送装置。上述支承构件例如构成为用于对基板进行加热或冷却的温度调整板。
支承装置方法

[发明专利]基板支承装置、基板处理装置及基板支承方法-CN201010122181.7有效
发明人：马岛和之;御所窪玄 -专利权人：佳能安内华股份有限公司
申请日： 2010-03-02 - 公布日： 2010-09-08 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本发明提供一种基板支承装置、基板处理装置及基板支承方法，能够确保托盘保持的可靠性及动作的可靠性，提高生产性。基板支承装置具有：用于搭载基板(12)的托盘(8)；用于在托盘为铅垂姿态的状态下保持托盘径向两端部的托盘两端保持机构；用于保持托盘中心部以使托盘能够旋转的托盘中央保持机构(13)；用于使装置主体移动的移动机构托盘两端保持机构从托盘的板厚方向两侧把持托盘径向两端部，在移动过程中，托盘两端保持机构保持托盘；在从托盘两端保持机构向托盘中央保持机构交接时，由两保持机构保持托盘，在基板处理时，由托盘中央保持机构保持托盘的中心部以使托盘能够旋转
支承装置处理方法

[发明专利]壳体和基板向壳体的设置方法-CN201880013704.9有效
发明人：田头毅 -专利权人：川崎重工业株式会社
申请日： 2018-02-26 - 公布日： 2021-01-15 - 主分类号： H05K7/14 文献下载
摘要：本发明提供一种能够应对多种基板的壳体和基板向壳体的设置方法。壳体在内部具备基板支承部和基板支承体。基板支承部具有能够在壳体内的第1基板支承位置支承第1基板的第1支承部。基板支承体具有能够在第1基板支承位置支承第2基板的第2支承部。
壳体设置方法

[发明专利]基板支承单元-CN201980060672.2在审
发明人：金宗焕 -专利权人： TES股份有限公司
申请日： 2019-08-29 - 公布日： 2021-04-23 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明涉及基板支承单元，更详细地涉及能够当将支承基板的基座接地时扩大接地面积来解决断线问题并且当利用等离子体对基板执行处理工艺时缩减等离子体引起的薄膜损伤的基板支承单元。
支承单元

[发明专利]支承玻璃基板-CN202080054588.2在审
发明人：长野干雄;稻叶诚二;斋藤泰成;玉井喜芳;小野和孝;小林悠波 -专利权人： AGC株式会社
申请日： 2020-06-05 - 公布日： 2022-03-18 - 主分类号： C03C3/068 文献下载
摘要：支承玻璃基板(10)的杨氏模量(GPa)相对于密度(g/cm3)的比率为37.0(GPa·cm3/g)以上，且是大于比率算出值的值这里，Vi为支承玻璃基板10中所含的金属氧化物的填充参数，Gi为支承玻璃基板(10)中所含的金属氧化物的解离能，Mi为支承玻璃基板(10)中所含的金属氧化物的分子量，Xi为支承玻璃基板10中所含的金属氧化物的摩尔比。
支承玻璃

[发明专利]支承玻璃基板-CN201980098843.0在审
发明人：稻叶诚二;斋藤康成;玉井喜芳;小野和孝;小林悠波 -专利权人： AGC株式会社
申请日： 2019-07-29 - 公布日： 2022-03-22 - 主分类号： C03C3/091 文献下载
摘要：本发明的支承玻璃基板实现挠曲的抑制和轻量化。支承玻璃基板(10)的杨氏模量(GPa)相对于密度(g/cm3)的比率为32.0(GPa·cm3/g)以上，且是大于比率算出值的值这里，Vi为支承玻璃基板(10)所含的金属氧化物的填充参数，Gi为支承玻璃基板10所含的金属氧化物的解离能，Mi为支承玻璃基板(10)中所含的金属氧化物的分子量，Xi为支承玻璃基板10中所含的金属氧化物的摩尔比。
支承玻璃

[发明专利]基板支承结构-CN201410474841.6有效
发明人：中谷淳司 -专利权人：光洋热系统株式会社
申请日： 2014-09-17 - 公布日： 2019-01-04 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明提供一种基板支承结构，即使输送精度、装置的安装精度、支承位置的精度等存在误差，也能防止基板从支承部脱落或接触到不可接触范围。本发明的基板支承结构(1)具备基板支承构件(2)和保持构件(3)。基板支承构件(2)从基端侧向前端侧延伸，利用形成在上侧的支承部(2C)支承被处理基板(W)。保持构件(3)在基板(W)的支承位置的两侧处将基板支承构件(2)保持成支承部(2C)从基端(2A)侧朝向前端(2B)侧向下方倾斜。
支承结构

[发明专利]基板支承结构-CN201810869433.9有效
发明人：中谷淳司 -专利权人：光洋热系统株式会社
申请日： 2014-09-17 - 公布日： 2022-12-16 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本发明提供一种基板支承结构，即使输送精度、装置的安装精度、支承位置的精度等存在误差，也能防止基板从支承部脱落或接触到不可接触范围。本发明的基板支承结构(1)具备基板支承构件(2)和保持构件(3)。基板支承构件(2)从基端侧向前端侧延伸，利用形成在上侧的支承部(2C)支承被处理基板(W)。保持构件(3)在基板(W)的支承位置的两侧处将基板支承构件(2)保持成支承部(2C)从基端(2A)侧朝向前端(2B)侧向下方倾斜。
支承结构

[发明专利]基板支承装置-CN201911146063.7有效
发明人：福西勇太;小野寺胜也;西冈昌浩 -专利权人：捷太格特热系统株式会社
申请日： 2019-11-21 - 公布日： 2023-08-15 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：提供基板支承装置。在具有用于对被处理基板进行支承的基座的基板支承装置中，能够可靠地抑制基座的相对于对基座进行支承的支承体的位置偏移，并且能够容易且廉价地进行基座的更换作业。基板支承装置(6)具有：基座(14)，其载置被处理基板(100)；支承体(13)，其能够通过使基座(14)沿着装卸方向(X1)移动来装卸基座(14)；板(11、12)，其固定有支承体(13)；以及移动限制部件移动限制部件(15L、15R)是为了允许被处理基板(100)相对于基座(14)出入且限制基座(14)相对于支承体(13)移动而设置的，并且，移动限制部件(15L、15R)能够相对于板(11、12)装卸，以使基座(14)相对于支承体(13)进行装卸。
支承装置

[发明专利]基板支承装置-CN201110393902.2无效
发明人：沈承德 -专利权人：上海广联电子有限公司
申请日： 2011-12-01 - 公布日： 2013-06-05 - 主分类号： H05K3/34 文献下载
摘要：本发明公开了一种基板支承装置，所述基板支承装置包括一基体，所述基体具有多个指向基板的导向槽，每个导向槽中均设置有能够沿所述导向槽的指向方向伸缩的一可伸缩机构；其中所有所述可伸缩机构用于共同支承基板，而且所述可伸缩机构在支承基板时处于压缩状态，并在未支承基板时处于伸展状态；所述基板支承装置还包括用于锁定所述可伸缩机构的压缩状态的一锁定机构。本发明的基板支承装置通过采用可伸缩机构来自适应的与基板表面的形状匹配，并通过锁定机构固定各个可伸缩机构德尔压缩程度，从而起到对基板的支承作用，从而有效地防止基板在印锡过程中的弯曲，提高了印刷锡膏的质量。
支承装置

[发明专利]基板支承装置-CN200410005098.6无效
发明人：田中康英;砥川真一;藤原宏之 -专利权人：欧姆龙株式会社
申请日： 2004-02-17 - 公布日： 2004-10-06 - 主分类号： H05K7/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种基板支承装置，其支承安装有声音发生部件(13f～13k)的基板(13)，该声音发生部件产生不需要的声音，在上述基板外周上的3个或3个以上的固定点上，分别嵌入有相同形状的弹性部件(14)，上述基板通过该弹性部件被弹性地支承于壳体上。由于通过弹性部件阻挡声音发生部件产生的声音，该声音不传递到容纳该基板的壳体，故可抑制刺耳的声音，由于可将弹性部件嵌入基板的固定点，故可改善弹性部件的组装方便性。
支承装置

[发明专利]基板支承构件-CN200710087509.4无效
发明人：和田武人;杉山真也 -专利权人：东京应化工业株式会社
申请日： 2007-03-16 - 公布日： 2007-09-26 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明提供一种在基板上不会残留起因于温度不均匀的销的痕迹的基板支承构件。本发明结构为支承销(7)，为了在载置台(1)上支承基板(W)，其前端部(8)可从在载置台(1)上形成的通孔(5)中出入，支承销(7)的前端部(8)被穿过杆的前端部(11a)的螺旋弹簧(12)支承，在未载置基板(W)的状态下，前端部(8)的前端从载置台突出1～2mm左右，支承销(7)的前端部(8)利用基板(W)的自重而收缩，且前端部(8)的前端平面部与载置台(1)齐平。
支承构件

[发明专利]基板支承销-CN200510104739.8无效
发明人：山口和伸;谷本恒夫 -专利权人：东京応化工业株式会社;龙云株式会社
申请日： 2005-12-16 - 公布日： 2006-08-09 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本发明提供一种不会在基板上留下因温度不均而引起的销痕迹的支承销。基板支承销(20)的尖端部(22)可更换地安装在本体部(21)上，尖端部(22)的上表面形成球面状。因此，在销尖端部不会积累热量，和基板的接触部就不会产生温度差。
基板支承销

[发明专利]基板支承部件-CN201680089194.4在审
发明人：冈史贵 -专利权人：堺显示器制品株式会社
申请日： 2016-09-15 - 公布日： 2019-04-26 - 主分类号： G09F9/00 文献下载
摘要：在支承经由膜状的连接部件(P3)而与显示面板(P1)电连接的基板(P2)的基板支承部件中，具备载置上述基板(P2)的载置部(10)、和保持该载置部(10)并可装卸地安装于所述显示面板(P1)的保持部(20)，通过装卸保持部(20)，能够根据需要支承基板(P2)，在由作业员进行搬运时，事先防止因基板(P2)由于自重垂下而引起的不良情况的发生。
基板基板支承部件显示面板载置部可装卸地连接部件支承基板电连接膜状载置支承搬运装卸

[发明专利]处理基板的装置和方法-CN202011203513.4在审
发明人：裴文炯;白惠斌;安迎曙;李银卓;朴珉贞;李承汉;李政炫 -专利权人：细美事有限公司
申请日： 2020-11-02 - 公布日： 2021-05-04 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明构思提供一种用气体处理基板的装置和方法。所述装置包括：具有在其中处理基板的加工空间的腔室；在加工空间中支承基板的基板支承单元；将疏水性气体供应到支承在基板支承单元上的基板上的气体供应单元；以及控制基板支承单元和气体供应单元的控制器。基板支承单元包括在其上放置基板的支承板以及将基板抬离支承板或将基板下降到支承板上的销组件，并且控制器通过调节销组件来控制基板表面的疏水化程度。
处理装置方法

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