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- [发明专利]图案描绘装置-CN202010601959.6有效
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小宫山弘树
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株式会社 尼康
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2016-06-17
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2023-06-16
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G03F7/20
- 本发明的图案描绘装置及图案描绘方法,稳定地维持描绘超详细图案所需的扫描线的配置精度或光学性能。图案描绘装置(EX),使基板(P)上所聚光的光点(SP)沿着描绘线(SL)进行主扫描,并且使基板(P)进行副扫描,藉此于基板(P)上描绘既定图案;该图案描绘装置(EX)使由多面镜(PM)反射的第1光束(LBa)聚光并作为光点(SPa)而投射至第1描绘线(SLa)上,并且使由多面镜(PM)反射的第2光束(LBb)聚光并作为光点(SPb)而投射至第2描绘线(SLb)上。上述两条描绘线(SLa、SLb)于基板(P)上位于副扫描方向上的相同位置,且于主扫描方向上错开。
- 图案描绘装置
- [发明专利]曝光装置-CN201880053913.6在审
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米泽良
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株式会社V技术
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2018-08-28
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2020-04-17
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G03F7/20
- 能够进行高精度的描绘。通过读取部,对描绘了包含被排列成二维状的多个十字位置的修正用基板图案的修正用基板,在初始状态、从所述初始状态旋转了大致90度、大致180度以及大致270度的状态的每一个状态下,进行读取,并根据该读取的结果来制作对描绘信息进行修正的修正表并且,在描绘处理中,根据修正表来修正描绘信息,并且,一边通过驱动部使掩模保持部移动,一边从光照射部向模板照射光,根据由相机摄像的图像来取得光照射部的第一方向的位置偏移以及第二方向的位置偏移,根据第一方向的位置偏移以及第二方向的位置偏移、与所述模板修正表,来修正描绘信息,并且对向光照射部输出的信号的定时进行调整。
- 曝光装置
- [发明专利]描绘装置及描绘方法-CN201780085286.X有效
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长尾竜也;乘光良直;中井一博;北村清志
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株式会社斯库林集团
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2017-11-30
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2021-08-27
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G03F7/20
- 描绘装置(1)的光调制部(46)对来自光源(43)的光进行调制。扫描机构(2)在基板(9)上扫描通过光调制部(46)而调制的光。控制部(6)根据描绘数据控制光调制部(46)及扫描机构(2),以执行对基板(9)的描绘。控制部(6)具备存储部及数据生成部。关于显示基板(9)的来自基准状态的伸缩程度的多个伸缩率,存储部预先存储对以各伸缩率伸缩的基板(9)进行描绘的情况的图像的行程长度数据(run‑length data)而作为多个初始描绘数据。数据生成部利用选择描绘数据生成所述描绘数据,该选择描绘数据是根据基板(9)的实际伸缩率而自多个初始描绘数据中选出的一个初始描绘数据。由此,可迅速且精度良好地对产生伸缩的基板(9)进行描绘。
- 描绘装置方法
- [发明专利]标印装置-CN201680052982.6有效
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森英治;佐桥敬一;北村慎章;梅田英知
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东丽工程株式会社
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2016-09-07
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2020-03-03
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B23K26/00
- 提供标印装置,其能够以简单结构实现高速且微细地描绘。,标印装置(1)具有:激光加工部(3),其按照第1点径(303)和点径比第1点径(303)小的第2点径(304)对膜(100)进行标印;致动器(71),其对激光加工部(3)的点径进行变更;以及作为部分描绘图案登记部的装置PC(7),其对第1描绘图案(115)和第2描绘图案(117)进行登记,所述第1描绘图案(115)按照第1点径(303)描绘,是构成整体描绘图案(113)的一部分的图案,所述第2描绘图案(117)按照第2点径(304)描绘,是构成整体描绘图案(113)的一部分的图案。
- 装置
- [实用新型]一种静电场描绘仪-CN200820010462.1无效
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胡广兴;赵利鹏;刘静;程显中;严雪琴;董丽娜;王翀;石路
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东北大学
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2008-01-24
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2008-12-17
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G09B23/18
- 本实用新型属于一种静电场描绘仪,包括电源机箱、静电场描绘两部分,电源机箱的面板上设有电压输出端(1)、电位调节(2)、电位指示(3)、电源开关(4)、插座(5),电源机箱中设有自动检测电路、同步打印电路,电源面板上的电位调节(2)可以预置电压,将预置电压信号通过自动检测电路和同步打印电路传输给静电场描绘部分;静电场描绘部分分单层静电描绘或者双层静电描绘。本实用新型的有益效果是,实现了单层描绘,消除了不同轴误差,实现自动检测同步打印,提高了描绘效率;双层描绘实现自动检测等位点,用继电器打印到普通坐标纸上,实现同步打印,提高了描绘效率。
- 一种静电场描绘
- [发明专利]描绘装置以及描绘装置的描绘控制方法-CN201510025775.9有效
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山崎修一
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卡西欧计算机株式会社
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2015-01-19
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2018-04-06
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A45D29/00
- 描绘装置及描绘控制方法。描绘装置具备载置部,其具有载置印刷对象物的载置面,该印刷对象物具有沿一个方向弯曲的印刷对象面;描绘头,其装备至少1个在一端具有前端部的描绘用具,所述前端部具有以第1轴线作为中心轴的形状,使所述前端部与载置于所述载置面的所述印刷对象物的所述印刷对象面的描绘位置相接触来实施描绘;和控制部,其对应于所述印刷对象面的所述描绘位置,选择性地使装备于所述描绘头的所述描绘用具的所述前端部的所述第1轴线向第1倾斜方向和第2倾斜方向当中的任意一方倾斜,所述第1倾斜方向是从与所述载置面垂直的方向即垂直方向向所述一个方向的一侧倾斜的方向
- 描绘装置以及控制方法
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