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[发明专利]液处理装置和液处理方法-CN201710600092.0有效
发明人：佐竹圭吾;小宫洋司;小仓康司 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2017-07-21 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：能够减少对向基板供给的液体的流量进行调整时的流量调整机构的动作次数。液处理装置具备：基板处理部，其对基板供给流体；供给线，其向基板处理部供给流体；流量计，其测量在供给线中流动的流体的流量；流量调整机构，其对在供给线中流动的流体的流量进行调整；以及控制部，其基于流量计的测量结果来控制流量调整机构控制部以第一周期接收流量计的测量结果。另外，在流量计的测量结果表示在供给线中流动的流体的流量包含在预先设定的范围中的情况下，控制部以时间间隔比第一周期的时间间隔长的周期通过流量调整机构对在供给线中流动的流体的流量进行调整。
处理装置方法

[实用新型]用于需求侧的流体介质管理装置-CN202120341747.9有效
发明人：谷洪群 -专利权人：和晟嘉信（北京）科技有限公司
申请日： 2021-02-06 - 公布日： 2021-08-27 - 主分类号： G05D7/06 文献下载
摘要：本申请涉及一种用于需求侧的流体介质管理装置，其包括用于向生产设备供应流体介质的供应管路、在供应管路上沿其内部流体介质流动方向依次设置的调节阀和数字流量计以及控制器；控制器的输入端连接数字流量计的输出端，控制器的输出端连接调节阀，控制器用于接收数字流量计测得的供应管路内流体介质的实际流量值，并根据实际流量值和参考流量值调节调节阀的开度，使得实际流量值等于参考流量值。本申请具有能够对需求侧的流体介质的供应进行动态调控，减少资源浪费的效果。
用于需求流体介质管理装置

[实用新型]一种物联网流量计控制器-CN202121700144.X有效
发明人：王向乔;郑章勇 -专利权人：重庆乔松信息技术有限公司
申请日： 2021-07-26 - 公布日： 2022-01-04 - 主分类号： H04Q9/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种物联网流量计控制器包括：通讯模块、控制器、物联接口模块以及阀门控制模块；所述通讯模块与所述主控单元通信连接，使用时还与外部流量计相连，用于采集外部流量计的流量累计量信号和流量脉冲信号；所述主控单元用于根据所述流量累计量信号和流量脉冲信号，发出相应的控制信号；所述阀门控制模块与所述控制器通信连接，使用时还与流体通道相连，用于接收所述控制信号，根据所述控制信号，控制所述流体通道的开关状态本实用新型提供了一种物联网流量计控制器，通过主控单元根据获取流量计的信号，实现了对流体通道内流体的通断进行远程控制，满足了用户需求。
一种联网流量计控制器

[发明专利]工艺腔室压力控制装置-CN202010778501.8在审
发明人：陈正堂;赵迪;郑文宁 -专利权人：北京七星华创流量计有限公司
申请日： 2020-08-05 - 公布日： 2020-11-03 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本申请实施例提供了一种工艺腔室压力控制装置。该压力控制装置与半导体工艺设备的工艺腔室连接，其包括：流体通道具有进气口及出气口；流量传感器与流体通道连通，并且靠近进气口设置，用于检测流体通道内的气流量；压力传感器与流体通道连通，并且靠近出气口设置，用于检测流体通道内的气压值；流量调节机构与流体通道连接，并且位于流量传感器及压力传感器之间，用于调节流体通道的开合度；控制器与用于根据流量传感器检测到的气流量和/或压力传感器检测到的气压值，控制流量调节机构调节流体通道的开合度
工艺压力控制装置

[实用新型]流量稳定性检验系统-CN201821926378.4有效
发明人：刘闯宇;匡德志;柳立新;宋婷;李华;黄明 -专利权人：湖南科霸汽车动力电池有限责任公司
申请日： 2018-11-22 - 公布日： 2019-09-20 - 主分类号： G01N1/14 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种流量稳定性检验系统，流体抽取装置的工作与停止通过马达控制，流体抽取装置的进料端连接流体储存装置，流体抽取装置的出料端连接输送管道，输送管道上设置有流量计，流量计用于测量流体的质量流量，输送管道将流体流至容器中，容器放置在测定秤上，测定秤每隔一定时间测量一次容器内流体的重量，测定秤将测得的流体重量数据、流量计将测得的流体质量流量数据传输至操作机上，操作机根据接收到的流体重量数据、流体质量流量数据进行处理，操作机控制马达的启动与停止以及马达的转速。本实用新型的流量稳定性检验系统，结构简单，使用方便，可快速检验流体抽取装置的流体抽取稳定性，且可验证流量计的测量准确性。
流量计流体抽取装置流量稳定性检验系统输送管道流体流体质量流量本实用新型重量数据操作机流体储存装置测量流体控制马达快速检验流体抽取马达控制容器放置时间测量数据传输质量流量出料端次容器进料端流体流马达测量验证

[发明专利]半导体制造装置和半导体制造方法-CN200480004339.3有效
发明人：冈部庸之;金子健吾 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2004-07-14 - 公布日： 2006-03-22 - 主分类号： G05D7/06 文献下载
摘要：本发明的半导体制造装置具有：用于对基板进行处理而在基板上制造半导体装置的处理部；用于向所述处理部供给所述基板的处理所需要的流体的流体供给通路；输出与所述流体的设定流量对应的设定电压的设定电压输出部；设置在所述流体供给通路中、根据所述设定电压调整所述流体的流量的质量流量控制器；设置在所述流体供给通路中的所述质量流量控制器的上游侧的第一遮断阀；和设置在所述流体供给通路中的所述质量流量控制器的下游侧的第二遮断阀。所述质量流量控制器具有：检测所述流体的实际的流量而输出对应的检测电压的检测部；将所述设定电压与所述检测电压比较而输出操作信号的比较部；和根据所述操作信号调整流体的流量的流量调整部。设置了存储所述第一遮断阀和所述第二遮断阀关闭时从所述质量流量控制器的所述检测部输出的检测电压的存储部。设置了根据所述存储部存储的检测电压，按照补偿所述流体的实际流量为零时的检测电压的变化的方式修正所述设定电压的设定电压修正部。
半导体制造装置方法

[发明专利]光刻机及光刻机的基底表面液膜蒸发功率测量方法-CN202110872056.6在审
发明人：戴思雨 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2021-07-30 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： G01N25/20 文献下载
摘要：本发明提供了一种光刻机，包括照射系统、掩模、投影系统、基底和基底表面液膜蒸发功率测量装置，所述基底表面液膜蒸发功率测量装置包括基底承载单元、流体传输单元、流体流量控制单元、流体温度控制单元以及流体温度测量单元，所述基底承载单元用于承载基底，所述基底承载单元为中空结构；所述流体传输单元用于向所述基底承载单元中通入流体介质，所述流体介质为气体，所述流体流量控制单元用于控制和测量流入所述基底承载单元的流体介质的流量，所述流体温度测量单元用于测量流入与流出所述基底承载单元的流体介质的温度差。采用气体作为流体介质，可以明显降低对流量控制精度和温度测量精度的要求。
光刻基底表面蒸发功率测量方法

[发明专利]装有流量监测器的流体管道-CN201310411701.X无效
发明人：徐福昌 -专利权人：无锡苏南异型钢管有限公司
申请日： 2013-09-11 - 公布日： 2013-12-18 - 主分类号： F17D3/01 文献下载
摘要：本发明公开了一种装有流量监测器的流体管道，包括：流体管、流量监测器、控制仓、仓盖和管体连接器，所述流体管表面开有控制仓，所述控制仓内设有流量监测器，所述控制仓与仓盖通过轴杆连接，所述流量监测器由传感器和信号装置组成，所述流体管两端设有管体连接器。通过上述方式，本发明装有流量监测器的流体管道，结构简单，安装方便，具有流量监测器，使用稳定高效，能直观反应出管道内部的工作情况。
装有流量监测器流体管道

[实用新型]流体流量控制装置和燃气灶-CN202020168636.8有效
发明人：朱运波;韩杰 -专利权人：佛山市顺德区美的洗涤电器制造有限公司
申请日： 2020-02-13 - 公布日： 2020-12-08 - 主分类号： F16K11/14 文献下载
摘要：本实用新型涉及流体流量控制技术领域，公开一种流体流量控制装置和燃气灶。流体流量控制装置包括：驱动装置包括第一移动轴段和第二移动轴段；第一流体阀包括第一阀体和第一阀芯，第一阀体包括第一内腔、第一流体入口和第一流体出口，第一阀芯能够移动地设置在第一内腔内，第二流体阀包括第二阀体和第二阀芯，第二阀体包括第二内腔、第二流体入口和第二流体出口，第二阀芯能够移动地设置在第二内腔内；第一移动轴段能够驱动第一阀芯移动，第二移动轴段能够驱动第二阀芯移动，以避免流体流量控制装置产生摩擦损耗而出现泄露，提升流体密封可靠性，同时能够实现流体流量控制装置具有更大流量调节范围。
流体流量控制装置燃气灶

[发明专利]采用重力驱动浮子和阀的流体流量控制系统-CN202180094016.1在审
发明人： M·L·夫瑞普;斯蒂芬·M·格雷奇;I·艾尔马拉瓦尼 -专利权人：哈利伯顿能源服务公司
申请日： 2021-04-22 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： E21B43/12 文献下载
摘要：本公开提供了一种流体流量控制系统和一种井系统。一方面，所述流体流量控制系统包括阀，所述阀具有可操作以接收流体的流体入口、可操作以接收控制流体的控制入口和可操作以将所述流体传送至所述油管的流体出口，所述阀被构造成基于所述控制流体打开或关闭所述流体出口根据该方面的所述流体流量控制系统进一步包括密度控制阀，所述密度控制阀具有可操作以接收所述流体的入口导管和联接到所述阀的所述控制入口的出口导管，所述密度控制阀可操作以将所述控制流体发送到所述阀以基于所述流体的密度打开或关闭所述流体出口
采用重力驱动浮子流体流量控制系统

[发明专利]温度感知型流量控制阀-CN98116032.8无效
发明人：上原豊彦 -专利权人：日本恒温装置株式会社
申请日： 1998-07-15 - 公布日： 1999-06-09 - 主分类号： F16K3/22 文献下载
摘要：一种温度感知型流量控制阀,通过加工其活塞杆的外周部位,可实现流体的高精度小流量控制。其中的流量控制机构,通过使位于阀体10与连通设置于流体流路7的流体流入口2b之间的活塞杆6的轴径d加大或变窄,在所述阀体10的开阀后或开阀前,对在所述流体流路7中流动的流体进行流量控制。
温度感知流量控制

[发明专利]调节比例阀精准开度比例的控制方法及其流体比例阀-CN201910865372.3在审
发明人：黎斌 -专利权人：中山市杰希特电气科技有限公司
申请日： 2019-09-12 - 公布日： 2019-12-27 - 主分类号： F16K1/32 文献下载
摘要：本发明公开了一种调节比例阀精准开度比例的控制方法，在流体流通件内设有流体流通道，流体流通道内设有流量控制孔，流量控制孔的正下方固定有电子测距装置；流量控制孔的正上方固定有电动控制驱动装置，伸缩轴的底端连接有流量控制塞，流量控制孔的孔口与流量控制塞之间形成有流体控制间隙；电动控制驱动装置、电子测距装置通过导线连接控制器；在控制器上设定流量控制塞的塞体最低处作为测距点，电子测距装置至塞体最低处之间的距离为被检测距离，通过控制器控制伸缩轴升降、控制电子测距装置检测流量控制塞的塞体最低处与电子测距装置之间的距离，通过测得它们之间的距离值得出流体控制间隙的开度比例。
电子测距装置流量控制孔流量控制塞体流体控制间隙流体流通道电动控制驱动装置伸缩轴开度导线连接控制器测距调节比例阀控制器控制检测距离流体流通控制器底端孔口升降检测

[发明专利]温度控制装置-CN201880048457.6有效
发明人：关笃史 -专利权人：伸和控制工业股份有限公司
申请日： 2018-07-20 - 公布日： 2023-08-15 - 主分类号： H01L21/3065 文献下载
摘要：一种温度控制装置，其遍及多个阶段地控制温度控制对象的控制温度。由第一流量控制用三通阀(103)将从第一供给组件(101)供给的低温侧流体和从第二供给组件(102)供给的高温侧流体混合，作为温度控制用流体向温度控制对象输送，由第二流量控制用三通阀(108)分配从温度控制对象返回的温度控制用流体由第三流量控制用三通阀(112)使从第一供给组件不向第一流量控制用三通阀供给的低温侧流体经旁通流路与由第二流量控制用三通阀分配的温度控制用流体一起向第一供给组件回流。另一方面，由第四流量控制用三通阀(116)使从第二供给组件不向第一流量控制用三通阀供给的高温侧流体经旁通流路与由第二流量控制用三通阀分配的温度控制用流体一起向第二供给组件回流。
温度控制装置

[发明专利]自动流入控制阀流入特性测试装置-CN201610804121.0在审
发明人：刘合;俞佳庆;郑立臣 -专利权人：中国石油天然气股份有限公司
申请日： 2016-09-05 - 公布日： 2016-12-21 - 主分类号： G01M13/00 文献下载
摘要：本申请提供了一种自动流入控制阀流入特性测试装置，其用于测试自动流入控制阀的流入特性，包括：储罐、控制阀、压力测试单元、以及流量测试单元。储罐与自动流入控制阀相连通，其用于储存具有第一预设压力的待测流体。控制阀与储罐相连接，控制阀用于调节待测流体的流量。压力测试单元用于测试流体流过自动流入控制阀的压力。流量测试单元用于测试流体流过自动流入控制阀的流量。本发明的自动流入控制阀流入特性测试装置通过对不同流体进行试验，用于测试自动流入控制阀对不同黏度流体的压力‑流量关系特性，进而可以根据实际井况需要，对不同的自动流入控制阀进行合理选择，指导实践。
自动流入控制特性测试装置

[发明专利]流量控制阀-CN201310250036.0有效
发明人： K·T·皮尔 -专利权人：柯勒米拉有限公司
申请日： 2013-06-21 - 公布日： 2020-04-10 - 主分类号： F16K11/10 文献下载
摘要：一种流量控制阀，其包括：阀门入口，其被构造来接收流体；阀门出口，其被构造来输出所述流体；和阀门构件总成，其用于控制穿过所述流量控制阀的所述流体流量；其中所述阀门构件总成和所述阀门入口被构造使得在使用时流过所述流量控制阀的流体实质上不施加净力在所述阀门构件总成上
流量控制