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- [发明专利]一种电动扳手-CN201410684417.4在审
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不公告发明人
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重庆安详信息技术有限公司
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2014-11-25
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2016-06-22
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B25B21/02
- 本发明公开了一种电动扳手,所述第一传动件朝向所述第二传动件的端面上沿径向对称地设置有一对第一凸台,所述第二传动件朝向所述第一传动件的端面上相应地设置有一对第二凸台,第一凸台和第二凸台随第一传动件和第二传动件的相对旋转而互相接触,所述第一传动件朝向所述第二传动件的端面上沿径向非对称地设置有第一凸台和第二凸台,所述第二传动件朝向所述第一传动件的端面上相应设置第三凸台和第四凸台,随第一传动件和第二传动件的相对旋转,第一凸台仅能与第三凸台接触,第二凸台仅能与第四凸台接触。
- 一种电动扳手
- [实用新型]一种半接触贴膜平台装置-CN202221626133.6有效
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刘晓辉;孙锦洋
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成都海威华芯科技有限公司
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2022-06-24
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2022-10-14
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H01L21/67
- 本实用新型公开了一种半接触贴膜平台装置,包括平台适配基座和位于平台适配基座上方的定位平台;定位平台包括外围的环形凸台和中部的支撑凸台,环形凸台和支撑凸台之间形成凹槽;环形凸台上的外侧部设置有若干定位凸台,支撑凸台上设置有硅胶垫,具有硅胶垫的支撑凸台的高度与环形凸台的高度相同;平台适配基座和环形凸台设置有由下至上贯穿的真空孔。本实用新型通过真空吸附晶圆的边缘无效区以固定晶圆,中心的支撑凸台作为支撑,仅有有限位置与晶圆接触,其它有效区非接触,尤其针对Ⅲ‑Ⅴ族化合物晶圆,减少了表面划伤等废品,提高了产品的贴膜良率;同时改善了贴膜过程中
- 一种接触平台装置
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