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[发明专利]箱式磁性复合流体抛光装置-CN201810018675.7有效
发明人：姜晨;高睿;姜臻禹;严广和;黄佳雷 -专利权人：上海理工大学
申请日： 2018-01-09 - 公布日： 2019-10-29 - 主分类号： B24B1/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种箱式磁性复合流体抛光装置，抛光箱一侧的磁性复合流体抛光液注入口与磁性复合流体抛光液回流出口之间通过抛光液通道连接，磁性复合流体抛光液注入口和磁性复合流体抛光液回流出口与外界抛光液注入装置连接，抛光液通道连接前端抛光液驻留腔和后端抛光液回流腔形成抛光液密闭循环系统；抛光盒置于抛光箱中，抛光盒的抛光液出口连通后端抛光液回流腔，抛光液喷射口与前端抛光液驻留腔之间设有球体，球体通过弹簧连接安装在抛光箱中的蜗杆本发明结构简单，不但能够对多个小口径通孔同时抛光，还提高了抛光效率和抛光后孔壁的光洁度。
抛光液复合流体抛光抛光箱增压喷射装置抛光液通道回流出口抛光装置回流腔注入口驻留腔齿轮球体蜗杆光洁度电机密闭循环系统抛光液出口小口径通孔弹簧连接脉冲信号啮合连接抛光效率注入装置传动轴喷射口后孔连通

[发明专利]一种抛光液供给装置、抛光头及抛光设备-CN202011326232.8在审
发明人：白宗权 -专利权人：西安奕斯伟硅片技术有限公司;西安奕斯伟材料技术有限公司
申请日： 2020-11-24 - 公布日： 2022-05-27 - 主分类号： B24B37/07 文献下载
摘要：本发明实施例公开了一种抛光液供给装置、抛光头及抛光设备；所述装置包括：围绕抛光头的头部主体布设于所述抛光头的外壳下部的多个抛光液供给口、为每个所述抛光液供给口提供抛光液输送通道的第一抛光液管道、以及向所述第一抛光液管道提供抛光液的抛光液供给罐；其中，每个所述抛光液供给口均能朝向抛光垫滴加抛光液；每条所述第一抛光液管道根据所述外壳的形状沿竖直方向布设。
一种抛光供给装置设备

[发明专利]针式磁性复合流体抛光装置-CN201710929788.8有效
发明人：姜晨;高睿;姜臻禹;黄佳雷;钱大兵 -专利权人：上海理工大学
申请日： 2017-10-09 - 公布日： 2019-05-24 - 主分类号： B24B1/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种针式磁性复合流体抛光装置，抛光针通过夹头和夹具连接电主轴，由电主轴带动抛光针旋转对小口径深孔进行抛光，抛光针两侧和前端均布有抛光液出口，抛光液出口连通抛光针内部的抛光液通道，使抛光液通过抛光针内部抛光液通道流向抛光液出口，内层有机玻璃环粘贴在抛光液出口之间的空隙处，磁铁环粘贴在抛光针的内层有机玻璃环上，磁铁环外部套上与之配合的定制套筒，定制套筒用于保护抛光针和磁铁环，同时便于抛光后的清洗，磁铁环将流出抛光液出口的抛光液吸附在定制套筒上，实现对不同深度小口径通孔四周和半通孔四周以及底面的抛光。本发明结构简单，可以实现对不同深度的小口径深孔实现抛光，同时可以对半通深孔底面实现抛光。
抛光抛光液出口磁铁环套筒抛光液通道小口径深孔有机玻璃环复合流体抛光装置电主轴抛光液内层粘贴针式夹具小口径通孔半通孔空隙处通深孔底面夹头均布吸附连通清洗流出外部配合

[发明专利]抛光液管路系统和上下盘研磨机构-CN201710539411.1有效
发明人：希尔维斯特·本杰明;孔满红;希尔维斯特·驹亮;希尔维斯特·昂睿 -专利权人：大连桑姆泰克工业部件有限公司
申请日： 2017-07-04 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： B24B37/34 文献下载
摘要：本发明提供了一种抛光液管路系统和上下盘研磨机构，涉及抛光设备领域。该抛光液管路系统包括供液装置和抛光液储存器，抛光液储存器设置有环形的储液槽；供液装置通过输液管向储液槽内提供抛光液；抛光液储存器上还设置有与储液槽连通的出液孔，通过出液孔向待冷却装置输送抛光液。上下盘研磨机构包括如上的抛光液管路系统，还包括第一冷却机构及第二冷却机构，第一冷却机构包括多个层叠固定连接在一起的第一冷却盘；上下相邻的两个第一冷却盘之间具有冷却通道；最下层的第一冷却盘下端面用于固定上盘研磨体，其上开设有流孔，流孔与冷却通道相连通；出液孔与冷却通道连通。本发明解决了研磨机的抛光液输送不易控制易迸溅的技术问题。
抛光管路系统下盘研磨机构

[实用新型]抛光盘及抛光系统-CN201922216053.8有效
发明人：侯晶;许乔;刘世伟;陈贤华;王健;李洁;钟波 -专利权人：中国工程物理研究院激光聚变研究中心
申请日： 2019-12-11 - 公布日： 2020-08-11 - 主分类号： B24B13/00 文献下载
摘要：本申请提供了抛光盘及抛光系统，涉及光学元件精密加工技术领域。一种抛光盘，抛光盘的内部具有用于储存抛光液的储存腔，抛光盘的抛光面开设有出液口，出液口通过设置于抛光盘内部的通道与储存腔连通。该抛光盘的储存腔内储存有抛光液，在抛光时，抛光盘的抛光层与元件紧密接触，同时抛光液通过出液口流出，实现抛光液在抛光时均匀分布在元件表面，避免多次停止抛光再喷洒抛光液，提高抛光效率。由于抛光液由储存腔经由出液口流出，使得不同出液口流出的抛光液量和压力大致相等，有助于元件表面的抛光液分布均匀。
抛光系统

[实用新型]一种抛光液冷却桶-CN202320691258.5有效
发明人：梁嘉晟 -专利权人：无锡吉致电子科技有限公司
申请日： 2023-03-31 - 公布日： 2023-08-11 - 主分类号： B24B57/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种抛光液冷却桶，包括桶体和桶盖，所述桶体的底部设置有活动轮，且桶体的筒壁内侧设置有第一冷却层，并且第一冷却层的内部设置有第一冷却液通道，同时第一冷却层内侧设置有抛光液冷却层，所述抛光液冷却层的内侧设置有第二冷却层，且第二冷却层的内部设置有第二冷却液通道，并且第二冷却层的内侧设置有储液仓，该抛光液冷却桶设置有第一冷却层和第二冷却层，可以对抛光液进行重复冷却，且第一冷却液通道通和第二冷却液通道在第一冷却层和第二冷却层内部呈螺旋状缠绕，进一步提高抛光液的冷却效率，有效提高抛光液冷却桶的实用性，同时抛光液冷却桶的底部设置有活动轮，方便工作人员对抛光液冷却桶进行移动和搬运。
一种抛光冷却

[实用新型]抛光液输送装置及研磨设备-CN202320964805.2有效
发明人：余奇;魏志杰 -专利权人：粤芯半导体技术股份有限公司
申请日： 2023-04-25 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： B24B57/02 文献下载
摘要：本申请提出了一种抛光液输送装置及研磨设备。该抛光液输送装置包括摆臂组件、驱动源和传动组件；摆臂组件包括臂体以及设置于臂体下侧的抛光液输送管，抛光液输送管用于输送抛光液并设有允许抛光液输出的第一喷嘴；传动组件建立摆臂组件与驱动源之间的连接通道，驱动源用于驱动传动组件以带动摆臂组件沿顺时针或逆时针方向摆动本申请使得摆臂的位置并非固定的，从而可以灵活调节抛光液的落点。
抛光输送装置研磨设备

[发明专利]抛光液供给系统及晶圆抛光机-CN202311005660.4在审
发明人：朱亮;曹建伟;李阳健;陈建国;王旭东;张国阳 -专利权人：浙江晶盛机电股份有限公司;浙江晶盛创芯半导体设备有限公司
申请日： 2023-08-10 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： B24B57/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种抛光液供给系统及晶圆抛光机，该抛光液供给系统应用于晶圆抛光机，该抛光液供给系统包括：中心轴，开设有进液流道；及第一转动件，转动连接于中心轴，开设有出液流道，出液流道用于连通供液通道；进液流道连通出液流道因为进液流道、出液流道均位于抛光液供给系统内，所以抛光液在流动过程中始终不会暴露于外界。因此，外界的杂质无法通过抛光液进入晶圆抛光机流入上盘，这能够避免外界的杂质对晶圆的抛光过程造成负面影响而导致晶圆的抛光品质降低。而且，因为抛光液没有暴露于外界，所以抛光液不容易挥发，晶圆抛光机上由挥发的抛光液形成的结晶便会显著减少，这能够减轻晶圆抛光机的清洁负担。
抛光供给系统抛光机

[实用新型]一种高精度铰链抛光装置-CN202123435926.8有效
发明人：俞雪军 -专利权人：平湖市雪天五金制品有限公司
申请日： 2021-12-29 - 公布日： 2022-09-27 - 主分类号： B24B31/10 文献下载
摘要：本实用新型公开一种高精度铰链抛光装置，包括抛光槽，抛光槽内通过分隔板分为抛光区和加液区，分隔板下方设有连通抛光区和加液区的通道，抛光区内设有若干间隔设置的抛光篮，加液区设有搅拌装置，在抛光槽内加入抛光液，将铰链放置在抛光篮内，通过抛光液进行抛光，只要控制抛光液的浓度以及抛光时间便能掌握抛光精度，并且通过将铰链浸入抛光液内，能够对铰链的整个表面同时抛光，提高了抛光效率。
一种高精度铰链抛光装置

[发明专利]抛光台、抛光设备和抛光方法-CN202310430857.6在审
发明人：贺云鹏;王贺 -专利权人：西安奕斯伟材料科技股份有限公司
申请日： 2023-04-21 - 公布日： 2023-05-23 - 主分类号： B24B37/10 文献下载
摘要：本公开涉及抛光台、抛光设备和抛光方法，所述抛光台包括用于供给多种抛光液的多个供液通道和被所述多个供液通道分割而形成的多个抛光区，其中，所述抛光区与所述供液通道沿所述抛光台的径向方向交替地布置，以在抛光时借助于所述抛光台旋转产生的离心力使所述多种抛光液分布在所述多个抛光区上，从而在不同的抛光区提供不同的抛光去除量。
抛光设备方法

[实用新型]一种用于化学机械抛光机抛光液的供给装置-CN201921849443.2有效
发明人：孙韬 -专利权人：宁波日晟新材料有限公司
申请日： 2019-10-30 - 公布日： 2020-08-25 - 主分类号： B24B57/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于化学机械抛光机抛光液的供给装置，包括料液箱、循环泵、进料组件和支撑架；料液箱位于抛光装置的下方；料液箱顶部与从抛光装置引出的回流管相连，回流管上设有回流阀；循环泵进口与料液箱相连，出口与进料组件相连；进料组件包括旋转盘、进料盘、电机和挡板；进料盘位于旋转盘的上方，进料盘开设有贯穿进料盘的进料通道，进料通道进口与循环管路相连，出口靠近旋转轴设置；进料盘外缘还连接有环形挡板；旋转盘通过旋转轴与电机相连本实用新型的用于化学机械抛光机抛光液的供给装置，抛光液供给质量稳定，抛光液浓度和pH值波动小，抛光液中的研磨颗粒分布均匀，抛光料液在抛光装置中分布均匀，且无气泡产生。
一种用于化学机械抛光机抛光供给装置

[发明专利]一种人工膝关节股骨髁用抛光机-CN201910648637.4在审
发明人：王鸿云;彭伟;朱伟强;方晓斌;杜永杰;郑应桃;许吉锋;方明;傅莉莉 -专利权人：浙江科惠医疗器械股份有限公司
申请日： 2019-07-18 - 公布日： 2019-10-18 - 主分类号： B24B1/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种人工膝关节股骨髁用抛光机，包括固定模具、压力泵、磁场发生器、磁流变抛光液和储存器，压力泵、固定模具、储存器通过管道相连形成循环，磁流变抛光液位于储存器和管道内，磁场发生器设置在固定模具上；固定模具内设有固定抛光件的放置腔，固定模具内还设有上通道和下通道，上通道和下通道均与放置腔相通，上通道通过管道与压力泵相通，下通道通过管道与储存器相通。本发明的优点是：注入带压力的磁流变抛光液，而由于固定模具上的磁场发生器产生磁场的影响，磁流变抛光液将转为类固态形式，对抛光件进行带压力的打磨，从而实现精细化打磨，将抛光件的表面粗糙度提升到较高的水平，符合植入人体的要求
固定模具磁流变抛光液储存器磁场发生器抛光件上通道下通道压力泵人工膝关节相通放置腔股骨髁抛光机打磨表面粗糙度固态形式精细化植入磁场

[发明专利]一种在公自转磁流变抛光中实现回转供液与回收的装置-CN201110456996.3有效
发明人：张云;王于岳;祝徐兴;冯之敬;刘向;刘文涛 -专利权人：清华大学
申请日： 2011-12-30 - 公布日： 2012-06-20 - 主分类号： B24B1/00 文献下载
摘要：一种在公自转磁流变抛光中实现回转供液与回收的装置，包括外壳、公转底座、轴承座、自转轴、抛光轮、循环系统和其他必要的辅助装置，其特征在于：循环系统中包括第一注液通道、第二注液通道、第一抽液通道、第二抽液通道、注液环形凹槽、抽液环形凹槽和密封圈。储液罐中的磁流变抛光液通过外壳上的第一注液通道进入注液环形凹槽和第二注液通道，被注液嘴加注到抛光轮上。被收集器回收的磁流变抛光液通过第一抽液通道和抽液环形凹槽进入外壳上的第二抽液通道并最终返回储液罐。该装置能够解决现有公自转磁流变抛光技术中磁流变抛光液在循环过程中易沉积和运行不流畅的现象，以及无法通过泵的运转实现自动清洗管路的问题。
一种自转流变抛光实现回转回收装置

[实用新型]一种在公自转磁流变抛光中实现回转供液与回收的装置-CN201120570338.2有效
发明人：张云;王于岳;祝徐兴;冯之敬;刘向;刘文涛 -专利权人：清华大学
申请日： 2011-12-30 - 公布日： 2012-11-21 - 主分类号： B24B13/00 文献下载
摘要：一种在公自转磁流变抛光中实现回转供液与回收的装置，包括外壳、公转底座、轴承座、自转轴、抛光轮、循环系统和其他必要的辅助装置，其特征在于：循环系统中包括第一注液通道、第二注液通道、第一抽液通道、第二抽液通道、注液环形凹槽、抽液环形凹槽和密封圈。储液罐中的磁流变抛光液通过外壳上的第一注液通道进入注液环形凹槽和第二注液通道，被注液嘴加注到抛光轮上。被收集器回收的磁流变抛光液通过第一抽液通道和抽液环形凹槽进入外壳上的第二抽液通道并最终返回储液罐。本实用新型能够解决现有公自转磁流变抛光技术中磁流变抛光液在循环过程中易沉积和运行不流畅的现象，以及无法通过泵的运转实现自动清洗管路的问题。
一种自转流变抛光实现回转回收装置

[发明专利]一种人工关节球用双螺杆双抛光通道抛光装置-CN201910648678.3有效
发明人：彭伟;王鸿云;朱伟强;方晓斌;杜永杰;方明;傅莉莉 -专利权人：浙江科惠医疗器械股份有限公司
申请日： 2019-07-18 - 公布日： 2021-08-20 - 主分类号： B24B1/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种人工关节球用双螺杆双抛光通道抛光装置，两个完全相同且对称设置的抛光主体，抛光主体内设有环形的抛光通道，左螺杆和右螺杆平行设置且同时穿过两个抛光主体的抛光通道，驱动装置驱动左螺杆和右螺杆反向旋转，每个抛光主体上均开有与抛光通道相通的注料口，注料口上设有封口器，抛光通道内设有磁流变抛光液，每个抛光主体内设有磁场发生器。本发明的优点是：通过左螺杆和右螺杆的驱动，两个抛光通道内可以同时进行抛光作业，极大的提高了抛光效率，同时抛光通道内充入磁流变抛光液，在受到磁场作用后，磁流变抛光液由液态转为类固态，形成无数的磁流变刷，对人工关节球的各个面进行均匀的抛光，使抛光成品率获得极大的提升。
一种人工关节球用双螺杆抛光通道装置

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