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专利名称
农业 化学；冶金 建筑 机械工程 区域搜索
主分类
A 农业
B 作业；运输
C 化学；冶金
D 纺织；造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]硅通孔深孔填充工艺-CN201310750385.9有效
  • 侯珏 - 北京北方华创微电子装备有限公司
  • 2013-12-31 - 2020-04-28 - H01L21/768
  • 本发明提供了一种硅通孔深孔填充工艺，用于提高硅通孔深孔填充的薄膜覆盖率，工作步骤如下：步骤A1，向磁控溅射设备中通入工艺气体；步骤A2，用第一射频功率、第一气压对硅通孔进行薄膜沉积；步骤A3，用第二射频功率、第二气压对硅通孔进行薄膜沉积，重复步骤A2和A3，直至硅通孔内部薄膜覆盖率均匀，且达到所需的厚度。本发明的硅通孔深孔填充工艺，工艺设计简单合理，通过采用第一射频功率与第二射频功率交替进行薄膜沉积，提升了硅通孔深孔填充的薄膜覆盖率，可以完美的支持后续的电镀工艺，提高产能。
  • 硅通孔深孔填充工艺
  • [发明专利]双面压件的制造方法及双面压件-CN202010114721.0在审
  • 李志先;石红桃 - 竞华电子（深圳）有限公司
  • 2020-02-25 - 2021-09-10 - H05K3/46
  • 本发明公开了双面压件的制造方法及双面压件，包括如下步骤：将多张芯板压合形成多层板；在多层板上开设第一定深孔；在多层板上开设通孔，通孔的直径小于第一定深孔的直径，通孔的轴向与第一定深孔的轴向相同，在通孔的轴向方向上，通孔的投影面在第一定深孔的投影面内；在第一定深孔和通孔的内壁镀铜；在多层板上开设第二定深孔，第二定深孔的直径大小在通孔的直径和第一定深孔的直径之间，第二定深孔的轴向与通孔的轴向相同，在通孔的轴向方向上，通孔的投影面在第二定深孔的投影面内，第二定深孔的投影面在第一定深孔的投影面内，第二定深孔的深度小于通孔的高度。双面压件制作过程中只需要一次压合，工艺更加的简单，无需担心将胶压至通孔内。
  • 双面制造方法
  • [发明专利]深微导通孔的制作方法-CN202010294593.2在审
  • 马洪伟;姜寿福;宗芯如 - 江苏普诺威电子股份有限公司
  • 2020-04-15 - 2020-07-14 - H05K3/00
  • 本发明公开了一种深微导通孔的制作方法，包括以下步骤：准备双面覆铜基板；对双面覆铜基板的两张铜箔层进行减铜作业；对两张铜箔层进行镭射开窗作业、形成相对设置的第一窗口和第二窗口；对辅助基板正反两面上并分别与第一窗口和第二窗口相对应的裸露区域共进行三次激光打孔作业，得到孔径＜0.1mm、且孔深≥0.2mm的深微导通孔雏形；对深微导通孔雏形依次进行化学沉铜和电镀工艺处理，以实现在深微导通孔雏形内镀满导通铜，制得深微导通孔。该深微导通孔的制作方法简单、易操作，可有效克服现有诸多加工局限，很好的实现了对孔径＜0.1mm、且孔深≥0.2mm的深微导通孔的加工量产。
  • 深微导通孔制作方法
  • [发明专利]一种木质保健床-CN201510495299.7在审
  • 孙园园 - 孙园园
  • 2015-08-13 - 2017-02-22 - A47C31/00
  • 一种木质保健床，包括床侧板、床端板、床面板、床头板，其特点是在床面板内开有横向通孔和纵向通孔，横向通孔和纵向通孔相通；床侧板和床端板内均开有竖向深孔和平向通孔，竖向深孔和平向通孔相通，床侧板与床端板之间的平向通孔相通；床侧板上竖向深孔的上端与横向通孔连通，床端板上竖向深孔的上端与纵向通孔连通，竖向深孔的下端成封闭状；床头板内开有外通孔，外通孔的下端与床端板上平向通孔相通，外通孔的上端在床头板的上沿面留有孔口。
  • 一种木质保健
  • [发明专利]木质保健床-CN201610965538.5在审
  • 吴相云 - 吴相云
  • 2016-11-01 - 2018-05-08 - A47C19/00
  • 一种木质保健床，包括床侧板、床端板、床面板、床头板，其特点是在床面板内开有横向通孔和纵向通孔，横向通孔和纵向通孔相通；床侧板和床端板内均开有竖向深孔和平向通孔，竖向深孔和平向通孔相通，床侧板与床端板之间的平向通孔相通；床侧板上竖向深孔的上端与横向通孔连通，床端板上竖向深孔的上端与纵向通孔连通，竖向深孔的下端成封闭状；床头板内开有外通孔，外通孔的下端与床端板上平向通孔相通，外通孔的上端在床头板的上沿面留有孔口。
  • 木质保健
  • [实用新型]木质保健床-CN201420148069.4有效
  • 朱作顺;朱夏玉 - 青岛顺福木业有限公司
  • 2014-03-31 - 2014-08-06 - A47C17/00
  • 一种木质保健床，包括床侧板、床端板、床面板、床头板，其特点是在床面板内开有横向通孔和纵向通孔，横向通孔和纵向通孔相通；床侧板和床端板内均开有竖向深孔和平向通孔，竖向深孔和平向通孔相通，床侧板与床端板之间的平向通孔相通；床侧板上竖向深孔的上端与横向通孔连通，床端板上竖向深孔的上端与纵向通孔连通，竖向深孔的下端成封闭状；床头板内开有外通孔，外通孔的下端与床端板上平向通孔相通，外通孔的上端在床头板的上沿面留有孔口。
  • 木质保健
  • [发明专利]硅通孔的深孔底部开窗刻蚀方法-CN201410336706.5有效
  • 周娜;蒋中伟 - 北京北方华创微电子装备有限公司
  • 2014-07-15 - 2018-08-24 - H01L21/768
  • 本发明提供了一种硅通孔的深孔底部开窗刻蚀方法，包括如下步骤：沉积金属铝在晶圆表面和深孔侧壁的电隔离层上；进行深孔底部电隔离层的干法刻蚀，包括如下两步：氧化步骤，进行金属铝氧化反应形成三氧化二铝；刻蚀步骤，采用工艺气体进行刻蚀；重复氧化步骤和刻蚀步骤，直至完全去除深孔底部的电隔离层；去除晶圆表面的电隔离层上剩余的三氧化二铝和铝。本发明的硅通孔的深孔底部开窗刻蚀方法，方法设计简单合理，采用简单的薄膜沉积，氧化和刻蚀技术，获得很高的电隔离层/掩膜刻蚀选择比。
  • 硅通孔底部开窗刻蚀方法
  • [实用新型]一种批量化添加磁珠的装置-CN202121418511.7有效
  • 黄磊;王高华;段芳;廖明义 - 武汉艾迪晶生物科技有限公司
  • 2021-06-24 - 2022-03-01 - C12M1/42
  • 该装置设有自上而下相互贴合的第一板和第二板，所述第一板可以在所述第二板上往复滑动，所述第一板和第二板上分别设有与深孔板的深孔数量相同的第一通孔和第二通孔；所述第一通孔和第二通孔的初始位置不共轴，所述第二通孔的初始位置与所述深孔共轴需要向深孔中添加磁珠时，先使磁珠落入第一通孔，通过滑动第一板使第一通孔和第二通孔共轴，磁珠就会通过第二通孔落入深孔中。本实用新型提供的装置可以快速、准确、简便地一次性向深孔板所有深孔中添加定量的磁珠，省时省力，大幅度提高工作效率。
  • 一种批量添加装置
  • [实用新型]电动刮鳞机-CN201720577519.5有效
  • 邢红英 - 邢红英
  • 2017-05-23 - 2018-01-02 - A22C25/02
  • 一种电动刮鳞机，包括壳体、开关，所述壳体呈筒状，所述开关具有用于控制所述开关通断的操作部，其中，所述壳体的内部设有深孔结构，所述深孔结构的后端开放，且所述深孔结构的延伸方向和所述壳体的长度方向一致；所述开关自所述深孔结构的后端嵌入所述深孔结构中，所述壳体的侧壁上设有通孔，所述通孔与所述深孔结构的内部贯通；当所述开关嵌入所述深孔结构时，所述开关的所述操作部对应于所述通孔，便于用户操作所述操作部。
  • 电动刮鳞机
  • [发明专利]一种高纵横比阶梯背钻制作方法-CN202011238446.X在审
  • 韩启龙;李军;唐先渠;刘禹琦 - 奥士康科技股份有限公司
  • 2020-11-09 - 2021-05-04 - H05K3/00
  • 本发明公开了一种高纵横比阶梯背钻制作方法，包括以下步骤：步骤一、在PCB板上打出通孔定位孔；步骤二、使用通孔钻咀钻出导通孔，通孔钻咀的直径为b minl；步骤三、以通孔定位孔作为控深钻的定位孔，使用控深钻咀进行控深钻得到控深孔；步骤四、电镀将控深孔与通导通孔电镀上铜导通；步骤五、做外层线路及图形电镀；步骤六、反面背钻，背钻时的定位孔，采用通孔定位孔镜像后的孔作为背钻定位孔；背钻定位孔采用背钻Pin钉定位；背钻时的背钻钻咀与控深钻咀的直径相同
  • 一种纵横阶梯制作方法
  • [发明专利]通信电源机柜自动散热装置-CN202210931662.5在审
  • 吴鸿;罗棚;罗正岳;陈宗友;何思奇 - 中国铁塔股份有限公司合川分公司
  • 2022-08-04 - 2022-10-14 - H02B1/56
  • 本发明属于通信机柜技术领域，具体公开了一种通信电源机柜自动散热装置，包括柜体和设置在柜体侧壁上的若干通孔，通孔一侧设有放置槽，放置槽内滑动连接有用于遮挡通孔的挡板，挡板位于放置槽内的一端与放置槽内侧壁间设有第一弹性件，挡板远离放置槽的一端固定连接有推杆，挡板远离放置槽的一侧设有深孔，推杆伸入深孔内且与深孔密封滑动连接，推杆伸入深孔的一端与深孔内壁形成的空间内置有热胀冷缩气体，深孔的侧壁设有吸热材料。采用本技术方案，利用挡板结构，对通孔进行自动遮挡或暴露，根据温度自动调整通孔的大小，利于散热和防尘。
  • 通信电源机柜自动散热装置
  • [发明专利]一种深Si通孔结构-CN201711319901.7在审
  • 陈一峰 - 成都海威华芯科技有限公司
  • 2017-12-12 - 2018-04-20 - B81B7/00
  • 本发明公开了一种深Si通孔结构，包括带有通孔的Si衬底、位于所述通孔中的第一金属粘附层、位于所述第一金属粘附层中间的金属Ag、以及将金属Ag封闭于所述通孔内部的位于Si衬底上下表面的第一厚金属。本发明采用金属Ag替代传统金属Cu填充工艺，并在表面通过电镀厚金属，使其与含O2环境隔离，从而实现金属化良好的深Si通孔。其中，金属Ag优选为采用纳米银浆固化技术实现。
  • 一种si结构
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